一种光定向沉积池及其使用方法

    公开(公告)号:CN111575765A

    公开(公告)日:2020-08-25

    申请号:CN202010335914.9

    申请日:2020-04-25

    Inventor: 余兴 林枞 李德俊

    Abstract: 本发明涉及电泳沉积技术领域,尤其是涉及一种光定向沉积池及其使用方法,包括垫层,所述垫层上开设有贯穿自身的沉积槽,垫层的两侧面设置有对沉积槽进行密封的第一导电玻璃和第二导电玻璃,第一导电玻璃与垫层可拆卸连接,第一导电玻璃和第二导电玻璃分别与同一电源的负极、正极相连,第一导电玻璃靠近垫层的侧面上与沉积槽对应的位置上设置有光敏涂层,第一导电玻璃远离光敏涂层的侧面上放置有掩模,具有能够形成图案化的沉积层,并且可以进行组分差异化沉积的优点。

    用于在线实时溅射深度测量的格林辉光放电光源

    公开(公告)号:CN102253028A

    公开(公告)日:2011-11-23

    申请号:CN201110076714.7

    申请日:2011-03-29

    Abstract: 一种用于在线实时溅射深度测量的格林辉光放电光源,属于金属材料分析-辉光光谱分析技术领域。包括阳极筒、阴极盘、放电腔和石英窗、气路、光纤装置五部分。与激光位移传感器联用,进行在线实时测量样品溅射深度;产生辉光放电的部分是尾部为锥形、头部为筒形阳极和杯形阴极;放电腔用石英玻璃密封,作为观测光谱信号的窗口;放电腔有一个氩气充气通道和两个抽气通道,形成的两个气体回路用来保持腔体内气压稳定和降低样品表面与阳极端面之间的气压;激光位移传感器将安装在光源石英窗的后方,正对样品溅射坑测量溅射深度;采用光纤装置传导辉光光谱信号。优点在于,既可用于激光三角测距,又能保证辉光光源良好的溅射效果和深度分辨率;溅射效果良好。

    用于在线实时溅射深度测量的格林辉光放电光源

    公开(公告)号:CN102253028B

    公开(公告)日:2013-05-29

    申请号:CN201110076714.7

    申请日:2011-03-29

    Abstract: 一种用于在线实时溅射深度测量的格林辉光放电光源,属于金属材料分析-辉光光谱分析技术领域。包括阳极筒、阴极盘、放电腔和石英窗、气路、光纤装置五部分。与激光位移传感器联用,进行在线实时测量样品溅射深度;产生辉光放电的部分是尾部为锥形、头部为筒形阳极和杯形阴极;放电腔用石英玻璃密封,作为观测光谱信号的窗口;放电腔有一个氩气充气通道和两个抽气通道,形成的两个气体回路用来保持腔体内气压稳定和降低样品表面与阳极端面之间的气压;激光位移传感器将安装在光源石英窗的后方,正对样品溅射坑测量溅射深度;采用光纤装置传导辉光光谱信号。优点在于,既可用于激光三角测距,又能保证辉光光源良好的溅射效果和深度分辨率;溅射效果良好。

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