一种光定向沉积池及其使用方法

    公开(公告)号:CN111575765A

    公开(公告)日:2020-08-25

    申请号:CN202010335914.9

    申请日:2020-04-25

    Inventor: 余兴 林枞 李德俊

    Abstract: 本发明涉及电泳沉积技术领域,尤其是涉及一种光定向沉积池及其使用方法,包括垫层,所述垫层上开设有贯穿自身的沉积槽,垫层的两侧面设置有对沉积槽进行密封的第一导电玻璃和第二导电玻璃,第一导电玻璃与垫层可拆卸连接,第一导电玻璃和第二导电玻璃分别与同一电源的负极、正极相连,第一导电玻璃靠近垫层的侧面上与沉积槽对应的位置上设置有光敏涂层,第一导电玻璃远离光敏涂层的侧面上放置有掩模,具有能够形成图案化的沉积层,并且可以进行组分差异化沉积的优点。

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