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公开(公告)号：CN102253028B
公开(公告)日：2013-05-29
申请号：CN201110076714.7
申请日：2011-03-29
Applicant: 钢铁研究总院
Abstract: 一种用于在线实时溅射深度测量的格林辉光放电光源，属于金属材料分析-辉光光谱分析技术领域。包括阳极筒、阴极盘、放电腔和石英窗、气路、光纤装置五部分。与激光位移传感器联用，进行在线实时测量样品溅射深度；产生辉光放电的部分是尾部为锥形、头部为筒形阳极和杯形阴极；放电腔用石英玻璃密封，作为观测光谱信号的窗口；放电腔有一个氩气充气通道和两个抽气通道，形成的两个气体回路用来保持腔体内气压稳定和降低样品表面与阳极端面之间的气压；激光位移传感器将安装在光源石英窗的后方，正对样品溅射坑测量溅射深度；采用光纤装置传导辉光光谱信号。优点在于，既可用于激光三角测距，又能保证辉光光源良好的溅射效果和深度分辨率；溅射效果良好。
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公开(公告)号：CN102829732A
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：CN201110161110.2
申请日：2011-06-15
Applicant: 钢铁研究总院
Abstract: 本发明属于利用放电来测试材料领域，具体提供了一种用于辉光放电溅射深度测量的双激光器在线实时测量装置及方法。本发明采用两台激光位移传感器(A、B)和Grimm辉光放电光源(GDS)构成在线实时深度测量装置，能够在辉光放电光谱仪进行金属样品分析的同时，实时准确测得样品的溅射深度测量曲线和准确的溅射深度测量结果，为传统辉光深度分析方法中对深度估算不准确的问题提供有效解决方案。
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公开(公告)号：CN102253028A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN201110076714.7
申请日：2011-03-29
Applicant: 钢铁研究总院
Abstract: 一种用于在线实时溅射深度测量的格林辉光放电光源，属于金属材料分析-辉光光谱分析技术领域。包括阳极筒、阴极盘、放电腔和石英窗、气路、光纤装置五部分。与激光位移传感器联用，进行在线实时测量样品溅射深度；产生辉光放电的部分是尾部为锥形、头部为筒形阳极和杯形阴极；放电腔用石英玻璃密封，作为观测光谱信号的窗口；放电腔有一个氩气充气通道和两个抽气通道，形成的两个气体回路用来保持腔体内气压稳定和降低样品表面与阳极端面之间的气压；激光位移传感器将安装在光源石英窗的后方，正对样品溅射坑测量溅射深度；采用光纤装置传导辉光光谱信号。优点在于，既可用于激光三角测距，又能保证辉光光源良好的溅射效果和深度分辨率；溅射效果良好。
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