一种具有双辅助栅的SiC MOSFET器件
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119997562A

    公开(公告)日:2025-05-13

    申请号:CN202510348022.5

    申请日:2025-03-24

    Abstract: 本发明涉及一种双辅助栅的SIC MOSFET器件,属于半导体技术领域。该器件中集成了栅极辅助沟槽栅、源极辅助沟槽栅,并设置P‑connect区,形成了受栅极辅助沟槽栅调控的P型势垒区。在器件正向导通时,栅极辅助沟槽栅和源极辅助沟槽栅共同将P型势垒区中的P‑connect耗尽夹断,断开P+源区与P‑well的连接,使P‑well浮空,降低了比导通电阻;在阻断状态时,P‑connect未被夹断,P‑well与P+源区之间势垒几乎为0,形成良好接地。在器件反向续流时,源极辅助沟槽栅旁引入了低势垒的反向导通沟道,通过该反向导通沟道对体二极管的抑制作用消除了双极退化效应,提高了器件的反向恢复速率。

    一种集成双自偏置MOS的SiC MOSFET器件

    公开(公告)号:CN119947191A

    公开(公告)日:2025-05-06

    申请号:CN202510348021.0

    申请日:2025-03-24

    Abstract: 本发明涉及一种集成双自偏置MOS的SiC MOSFET器件,属于半导体技术领域。该器件结构上呈现对称状态,包括主MOS、自偏置PMOS和自偏置NMOS,其中,在主MOS的两侧均集成有自偏置PMOS和自偏置NMOS。本发明通过集成自偏置PMOS实现了在正向导通时,自偏置PMOS关断,P‑well区域的浮空,降低了器件的导通电阻;在阻断情况下,自偏置PMOS实现导通,对P‑well区域实现了钳位,相比完全浮空器件有效地保护了器件的栅氧化层。通过集成自偏置NMOS实现了第三象限的续流功能,且该条件下,P‑well处于浮空状态,体二极管不可能被导通,完全避免了双极退化效应。

    一种具有快恢复和低功耗特性的SiC MOSFET器件

    公开(公告)号:CN119300405A

    公开(公告)日:2025-01-10

    申请号:CN202411415649.X

    申请日:2024-10-11

    Abstract: 本发明涉及一种具有快恢复和低功耗特性的SiC MOSFET器件,属于半导体技术领域。该器件包括:漏极金属接触;形成于漏极金属接触表面的衬底;形成于衬底表面的漂移区;形成于漂移区表面的N_CSL;形成于N_CSL表面的第一P_base;形成于第一P_base表面的第一源区;形成于漂移区表面的第二P_well;形成于第二P_well表面的第二P+区;形成于漂移区表面的第一P‑well;形成于第一P_well表面的第一P+区;形成于第二P‑well表面的MOS沟道二极管;形成于MOS沟道二极管和N_CSL表面的L型分裂栅;以及形成于器件顶部的源极金属接触。

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