一种光机电振动角速率传感器

    公开(公告)号:CN102854331A

    公开(公告)日:2013-01-02

    申请号:CN201210336635.X

    申请日:2012-09-12

    Abstract: 本发明公开一种光机电振动角速率传感器,涉及传感器技术领域。该传感器振动系统由驱动臂,敏感臂以及位于交叉点处的质量块构成,光驱动系统通过悬浮于驱动臂上方的光纤组辐射光脉冲驱动振动臂振动,进而带动质量块摆动,最终产生沿驱动方向的线动量,光学检测系统采用相干检测技术,该传感器在输入轴方向有输入角速度时,由于哥氏力的作用将在敏感臂上产生相应的振动。该振动通过光学检测系统进行数据采集,进而转变为输入角速度。该传感器兼顾了MEMS陀螺仪小体积易集成和光学陀螺仪高精度的特点,同时还具有零位稳定性高,无轴间干扰,抗电磁干扰等优点。

    采用无接触光纤组检测哥氏振动的角速率传感系统

    公开(公告)号:CN102809663A

    公开(公告)日:2012-12-05

    申请号:CN201210296220.4

    申请日:2012-08-20

    Abstract: 本发明涉及微型测量仪器技术领域,特别涉及采用无接触光纤组检测哥氏振动的角速率传感系统,该角速率传感器包括驱动系统、振动结构系统和光纤组检测系统,所述光纤组检测系统包括光源、至少3对检测光纤组合、光隔离器、第一级Y型光耦合器、第二级Y型光耦合器、光电检测装置和光电处理系统;本发明利用了哥氏定理,通过双光干涉检测振梁敏感面的振动幅值来检测角速率效果;由于采用无接触光纤组检测哥氏振动来实现角速率传感,实现了光学和机械振动学的结合,因此抗电磁干扰能力更好,同时避免了接触式检测方式引入的测量误差,而且光纤检测对温度不敏感,因此检测精度和检测灵敏度更高,同时还降低了角速率传感器的生产成本、减少角速率传感器的体积。

    一种光机电振动角速率传感器

    公开(公告)号:CN102854331B

    公开(公告)日:2014-07-09

    申请号:CN201210336635.X

    申请日:2012-09-12

    Abstract: 本发明公开一种光机电振动角速率传感器,涉及传感器技术领域。该传感器振动系统由驱动臂,敏感臂以及位于交叉点处的质量块构成,光驱动系统通过悬浮于驱动臂上方的光纤组辐射光脉冲驱动振动臂振动,进而带动质量块摆动,最终产生沿驱动方向的线动量,光学检测系统采用相干检测技术,该传感器在输入轴方向有输入角速度时,由于哥氏力的作用将在敏感臂上产生相应的振动。该振动通过光学检测系统进行数据采集,进而转变为输入角速度。该传感器兼顾了MEMS陀螺仪小体积易集成和光学陀螺仪高精度的特点,同时还具有零位稳定性高,无轴间干扰,抗电磁干扰等优点。

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