一种基于长程等离子波导的表面增强拉曼光流体芯片

    公开(公告)号:CN108693160A

    公开(公告)日:2018-10-23

    申请号:CN201810290195.6

    申请日:2018-04-03

    CPC classification number: G01N21/658 B01L3/5027

    Abstract: 本发明涉及一种基于长程等离子波导的表面增强拉曼光流体芯片,耦合光栅(1)、介质波导、表面等离子波导、微流体结构和硅基底(2);介质波导由波导上包层(3)、波导下包层(4)和波导芯层(5)组成;波导上包层(3)设置在波导芯层(5)的上表面,耦合光栅(1)分布在波导芯层(5)的上表面,且耦合光栅(1)未与波导上包层(3)接触;硅基底(2)、波导下包层(4)和波导芯层(5)的外表面齐平,波导上包层(3)、表面等离子波导芯层(9)和微流体通道(8)的外表面齐平。本发明的基于长程等离子波导的表面增强拉曼光流体芯片,结构简单、尺寸很小,可在单一芯片上制作阵列式结构,提高检测灵敏度。

    一种基于长程等离子波导的表面增强拉曼光流体芯片

    公开(公告)号:CN108693160B

    公开(公告)日:2021-03-23

    申请号:CN201810290195.6

    申请日:2018-04-03

    Abstract: 本发明涉及一种基于长程等离子波导的表面增强拉曼光流体芯片,耦合光栅(1)、介质波导、表面等离子波导、微流体结构和硅基底(2);介质波导由波导上包层(3)、波导下包层(4)和波导芯层(5)组成;波导上包层(3)设置在波导芯层(5)的上表面,耦合光栅(1)分布在波导芯层(5)的上表面,且耦合光栅(1)未与波导上包层(3)接触;硅基底(2)、波导下包层(4)和波导芯层(5)的外表面齐平,波导上包层(3)、表面等离子波导芯层(9)和微流体通道(8)的外表面齐平。本发明的基于长程等离子波导的表面增强拉曼光流体芯片,结构简单、尺寸很小,可在单一芯片上制作阵列式结构,提高检测灵敏度。

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