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公开(公告)号：CN104297065A
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201410584244.9
申请日：2014-10-28
Applicant: 郑州轻工业学院
IPC: G01N3/08
Abstract: 本发明涉及一种压电驱动微拉伸测试装置，属于微纳机电系统中微纳尺度下材料的力学性能测试领域。包括压电驱动单元、微型拉力传感器、微位移检测单元、位置调整单元、光学显微成像单元及底座，相对于现有技术，本发明能够同时直接测量试样的轴向变形量与轴向拉力，能够测量微尺度下试样的弹性模量、屈服强度、断裂强度力学性能参数。该装置采用模块化思想设计压电驱动单元。微拉力测试单元、微位移检测单元、位置调整单元、光学显微成像单元，其中采用商业化高精度微型拉力传感器与高精度电容式位移传感器保证试样上轴向拉力与轴向变形的测量精度，装置结构简单，费用少，精度高，平滑升级性好。
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公开(公告)号：CN109384191A
公开(公告)日：2019-02-26
申请号：CN201811126939.7
申请日：2018-09-26
Applicant: 郑州轻工业学院
Inventor： 张段芹
IPC: B81B3/00
Abstract: 本发明公开了一种抑制位移输出端温升的电热微驱动器，包括梭板梁，梭板梁两侧对称连接有驱动梁阵列，驱动梁阵列另一侧端面为锚点Ⅰ，锚点Ⅰ上沉积有驱动电极，所述梭板梁上沉积有梭板梁电极薄膜，梭板梁在水平方向上的长度大于或等于驱动梁阵列在水平方向上的长度的三分之一。所述梭板梁与位移输出终端之间设置有热阻，热阻为沿驱动位移方向的细长梁，热阻的末端两侧均连接有热沉，热沉外端连接有锚点Ⅱ，所述热沉为方波型或S型的柔性梁。与现有技术相比，本发明能够有效降低位移输出端的温升并在相同温升下增大电热驱动器的输出位移，在驱动器驱动方向刚度增幅很小的情况下使位移输出终端的温升很小。
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公开(公告)号：CN104297065B
公开(公告)日：2016-09-14
申请号：CN201410584244.9
申请日：2014-10-28
Applicant: 郑州轻工业学院
IPC: G01N3/08
Abstract: 本发明涉及一种压电驱动微拉伸测试装置，属于微纳机电系统中微纳尺度下材料的力学性能测试领域。包括压电驱动单元、微型拉力传感器、微位移检测单元、位置调整单元、光学显微成像单元及底座，相对于现有技术，本发明能够同时直接测量试样的轴向变形量与轴向拉力，能够测量微尺度下试样的弹性模量、屈服强度、断裂强度力学性能参数。该装置采用模块化思想设计压电驱动单元。微拉力测试单元、微位移检测单元、位置调整单元、光学显微成像单元，其中采用商业化高精度微型拉力传感器与高精度电容式位移传感器保证试样上轴向拉力与轴向变形的测量精度，装置结构简单，费用少，精度高，平滑升级性好。
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公开(公告)号：CN104241516B
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201410506970.9
申请日：2014-09-28
Applicant: 郑州轻工业学院
IPC: H01L41/053 , H02N2/04
Abstract: 本发明涉及一种弹性框架和一种弹性体预紧的压电叠堆驱动器，属于精密机械与微纳米级精密定位技术领域。压电叠堆驱动器设置在弹性框架中，预紧螺母安装在弹性框架的内螺纹通孔中，预紧螺母的下端面与压电叠堆驱动器的上端面接触。本发明能够使弹性体预紧的压电叠堆驱动器能够对其内部的压电叠堆驱动器施加预紧力，并且能够方便、可靠的安装压电叠堆驱动器。压电叠堆驱动器安装于弹性框架中，结构紧凑，占用空间小且方便与支座或被驱动件之间的连接。弹性体预紧的压电叠堆驱动器提高了压电叠堆驱动的可靠性、重复性与使用寿命，适用于高精度纳米驱动、高频谐振驱动和高精密定位系统中。
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公开(公告)号：CN104201931B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201410506958.8
申请日：2014-09-28
Applicant: 郑州轻工业学院
IPC: H02N2/04
Abstract: 本发明涉及基于压电叠堆的微位移驱动器，属于精密机械与微纳米级精密定位技术领域。基于压电叠堆的微位移驱动器，包括压电叠堆驱动器，它还包括位移传送杆，位移传送杆穿过端盖的轴向通孔，位移传送杆呈阶梯圆柱状，位移传送杆的阶梯面与端盖的上表面接触，弹簧套在位移传送杆上且置于端盖与锁紧螺母之间并处于压缩状态，端盖与套筒活动连接，压电叠堆驱动器的下端面置于套筒内底部的凹槽中，压电叠堆驱动器的上端面与位移传送杆的下端面接触，压电叠堆驱动器的电源线从引线孔引出。此微位移驱动器整体结构简单，可重复利用性强，适用于高精度纳米驱动、高频谐振驱动和高精密定位系统中。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108962336B
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN201810493167.4
申请日：2018-05-22
Applicant: 郑州轻工业学院
IPC: G12B5/00
Abstract: 本发明公开一种基于压电驱动的二维并联柔性微动平台，包括固定框架和工作台，工作台设在固定框架的中部，工作台的四周均设有结构相同的T形位移解耦柔性机构，各个相邻的T形位移解耦柔性机构均互相垂直，其中两个相邻的T形位移解耦柔性机构的外侧均设置结构相同的对称式位移放大柔性机构，固定框架上靠近对称式位移放大柔性机构的两个侧面的内侧面上均设有凹槽，凹槽内设有压电叠堆驱动器，压电叠堆驱动器的位移驱动端与对称式位移放大柔性机构相接触。本发明能够实现消除XY轴向的交叉耦合位移，定位精度高且行程达100µm或以上，能够满足纳米级精度的要求，此外，该微动平台结构紧凑、抗干扰能力强、加工成本低。
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公开(公告)号：CN109384191B
公开(公告)日：2020-09-08
申请号：CN201811126939.7
申请日：2018-09-26
Applicant: 郑州轻工业学院
Inventor： 张段芹
IPC: B81B3/00
Abstract: 本发明公开了一种抑制位移输出端温升的电热微驱动器，包括梭板梁，梭板梁两侧对称连接有驱动梁阵列，驱动梁阵列另一侧端面为锚点Ⅰ，锚点Ⅰ上沉积有驱动电极，所述梭板梁上沉积有梭板梁电极薄膜，梭板梁在水平方向上的长度大于或等于驱动梁阵列在水平方向上的长度的三分之一。所述梭板梁与位移输出终端之间设置有热阻，热阻为沿驱动位移方向的细长梁，热阻的末端两侧均连接有热沉，热沉外端连接有锚点Ⅱ，所述热沉为方波型或S型的柔性梁。与现有技术相比，本发明能够有效降低位移输出端的温升并在相同温升下增大电热驱动器的输出位移，在驱动器驱动方向刚度增幅很小的情况下使位移输出终端的温升很小。
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公开(公告)号：CN108962336A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201810493167.4
申请日：2018-05-22
Applicant: 郑州轻工业学院
IPC: G12B5/00
CPC classification number: G12B5/00
Abstract: 本发明公开一种基于压电驱动的二维并联柔性微动平台，包括固定框架和工作台，工作台设在固定框架的中部，工作台的四周均设有结构相同的T形位移解耦柔性机构，各个相邻的T形位移解耦柔性机构均互相垂直，其中两个相邻的T形位移解耦柔性机构的外侧均设置结构相同的对称式位移放大柔性机构，固定框架上靠近对称式位移放大柔性机构的两个侧面的内侧面上均设有凹槽，凹槽内设有压电叠堆驱动器，压电叠堆驱动器的位移驱动端与对称式位移放大柔性机构相接触。本发明能够实现消除XY轴向的交叉耦合位移，定位精度高且行程达100µm或以上，能够满足纳米级精度的要求，此外，该微动平台结构紧凑、抗干扰能力强、加工成本低。
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公开(公告)号：CN104241516A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201410506970.9
申请日：2014-09-28
Applicant: 郑州轻工业学院
IPC: H01L41/053 , H02N2/04
Abstract: 本发明涉及一种弹性体预紧的压电叠堆驱动器，属于精密机械与微纳米级精密定位技术领域。压电叠堆驱动器设置在弹性框架中，预紧螺母安装在弹性框架的内螺纹通孔中，预紧螺母的下端面与压电叠堆驱动器的上端面接触。本发明能够使弹性体预紧的压电叠堆驱动器能够对其内部的压电叠堆驱动器施加预紧力，并且能够方便、可靠的安装压电叠堆驱动器。压电叠堆驱动器安装于弹性框架中，结构紧凑，占用空间小且方便与支座或被驱动件之间的连接。弹性体预紧的压电叠堆驱动器提高了压电叠堆驱动的可靠性、重复性与使用寿命，适用于高精度纳米驱动、高频谐振驱动和高精密定位系统中。
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公开(公告)号：CN104201931A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201410506958.8
申请日：2014-09-28
Applicant: 郑州轻工业学院
IPC: H02N2/04
Abstract: 本发明涉及基于压电叠堆的微位移驱动器，属于精密机械与微纳米级精密定位技术领域。基于压电叠堆的微位移驱动器，包括压电叠堆驱动器，它还包括位移传送杆，位移传送杆穿过端盖的轴向通孔，位移传送杆呈阶梯圆柱状，位移传送杆的阶梯面与端盖的上表面接触，弹簧套在位移传送杆上且置于端盖与锁紧螺母之间并处于压缩状态，端盖与套筒活动连接，压电叠堆驱动器的下端面置于套筒内底部的凹槽中，压电叠堆驱动器的上端面与位移传送杆的下端面接触，压电叠堆驱动器的电源线从引线孔引出。此微位移驱动器整体结构简单，可重复利用性强，适用于高精度纳米驱动、高频谐振驱动和高精密定位系统中。
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