基于压电叠堆的微位移驱动器

    公开(公告)号:CN104201931A

    公开(公告)日:2014-12-10

    申请号:CN201410506958.8

    申请日:2014-09-28

    Abstract: 本发明涉及基于压电叠堆的微位移驱动器,属于精密机械与微纳米级精密定位技术领域。基于压电叠堆的微位移驱动器,包括压电叠堆驱动器,它还包括位移传送杆,位移传送杆穿过端盖的轴向通孔,位移传送杆呈阶梯圆柱状,位移传送杆的阶梯面与端盖的上表面接触,弹簧套在位移传送杆上且置于端盖与锁紧螺母之间并处于压缩状态,端盖与套筒活动连接,压电叠堆驱动器的下端面置于套筒内底部的凹槽中,压电叠堆驱动器的上端面与位移传送杆的下端面接触,压电叠堆驱动器的电源线从引线孔引出。此微位移驱动器整体结构简单,可重复利用性强,适用于高精度纳米驱动、高频谐振驱动和高精密定位系统中。

    一种弹性体预紧的压电叠堆驱动器

    公开(公告)号:CN104241516A

    公开(公告)日:2014-12-24

    申请号:CN201410506970.9

    申请日:2014-09-28

    Abstract: 本发明涉及一种弹性体预紧的压电叠堆驱动器,属于精密机械与微纳米级精密定位技术领域。压电叠堆驱动器设置在弹性框架中,预紧螺母安装在弹性框架的内螺纹通孔中,预紧螺母的下端面与压电叠堆驱动器的上端面接触。本发明能够使弹性体预紧的压电叠堆驱动器能够对其内部的压电叠堆驱动器施加预紧力,并且能够方便、可靠的安装压电叠堆驱动器。压电叠堆驱动器安装于弹性框架中,结构紧凑,占用空间小且方便与支座或被驱动件之间的连接。弹性体预紧的压电叠堆驱动器提高了压电叠堆驱动的可靠性、重复性与使用寿命,适用于高精度纳米驱动、高频谐振驱动和高精密定位系统中。

    一种压电驱动微拉伸测试装置

    公开(公告)号:CN104297065B

    公开(公告)日:2016-09-14

    申请号:CN201410584244.9

    申请日:2014-10-28

    Abstract: 本发明涉及一种压电驱动微拉伸测试装置,属于微纳机电系统中微纳尺度下材料的力学性能测试领域。包括压电驱动单元、微型拉力传感器、微位移检测单元、位置调整单元、光学显微成像单元及底座,相对于现有技术,本发明能够同时直接测量试样的轴向变形量与轴向拉力,能够测量微尺度下试样的弹性模量、屈服强度、断裂强度力学性能参数。该装置采用模块化思想设计压电驱动单元。微拉力测试单元、微位移检测单元、位置调整单元、光学显微成像单元,其中采用商业化高精度微型拉力传感器与高精度电容式位移传感器保证试样上轴向拉力与轴向变形的测量精度,装置结构简单,费用少,精度高,平滑升级性好。

    一种压电驱动微拉伸测试装置

    公开(公告)号:CN104297065A

    公开(公告)日:2015-01-21

    申请号:CN201410584244.9

    申请日:2014-10-28

    Abstract: 本发明涉及一种压电驱动微拉伸测试装置,属于微纳机电系统中微纳尺度下材料的力学性能测试领域。包括压电驱动单元、微型拉力传感器、微位移检测单元、位置调整单元、光学显微成像单元及底座,相对于现有技术,本发明能够同时直接测量试样的轴向变形量与轴向拉力,能够测量微尺度下试样的弹性模量、屈服强度、断裂强度力学性能参数。该装置采用模块化思想设计压电驱动单元。微拉力测试单元、微位移检测单元、位置调整单元、光学显微成像单元,其中采用商业化高精度微型拉力传感器与高精度电容式位移传感器保证试样上轴向拉力与轴向变形的测量精度,装置结构简单,费用少,精度高,平滑升级性好。

    一种弹性框架和一种弹性体预紧的压电叠堆驱动器

    公开(公告)号:CN104241516B

    公开(公告)日:2017-03-08

    申请号:CN201410506970.9

    申请日:2014-09-28

    Abstract: 本发明涉及一种弹性框架和一种弹性体预紧的压电叠堆驱动器,属于精密机械与微纳米级精密定位技术领域。压电叠堆驱动器设置在弹性框架中,预紧螺母安装在弹性框架的内螺纹通孔中,预紧螺母的下端面与压电叠堆驱动器的上端面接触。本发明能够使弹性体预紧的压电叠堆驱动器能够对其内部的压电叠堆驱动器施加预紧力,并且能够方便、可靠的安装压电叠堆驱动器。压电叠堆驱动器安装于弹性框架中,结构紧凑,占用空间小且方便与支座或被驱动件之间的连接。弹性体预紧的压电叠堆驱动器提高了压电叠堆驱动的可靠性、重复性与使用寿命,适用于高精度纳米驱动、高频谐振驱动和高精密定位系统中。

    基于压电叠堆的微位移驱动器

    公开(公告)号:CN104201931B

    公开(公告)日:2016-08-24

    申请号:CN201410506958.8

    申请日:2014-09-28

    Abstract: 本发明涉及基于压电叠堆的微位移驱动器,属于精密机械与微纳米级精密定位技术领域。基于压电叠堆的微位移驱动器,包括压电叠堆驱动器,它还包括位移传送杆,位移传送杆穿过端盖的轴向通孔,位移传送杆呈阶梯圆柱状,位移传送杆的阶梯面与端盖的上表面接触,弹簧套在位移传送杆上且置于端盖与锁紧螺母之间并处于压缩状态,端盖与套筒活动连接,压电叠堆驱动器的下端面置于套筒内底部的凹槽中,压电叠堆驱动器的上端面与位移传送杆的下端面接触,压电叠堆驱动器的电源线从引线孔引出。此微位移驱动器整体结构简单,可重复利用性强,适用于高精度纳米驱动、高频谐振驱动和高精密定位系统中。

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