一种纳米碳化硅颗粒及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN118026180A

    公开(公告)日:2024-05-14

    申请号:CN202311391789.3

    申请日:2023-10-25

    Abstract: 本发明涉及碳化硅技术领域,公开了一种纳米碳化硅颗粒及其制备方法和应用,制备方法包括:用碳源和硅源制备前驱体,所述碳源和硅源的摩尔比为3~10:1;将前驱体压力成型后,进行微波烧结,得纳米碳化硅颗粒;微波烧结的温度变化为:以10~60℃/min的升温速率升温至800~1200℃,保温0.1~0.5h。本发明提供了纳米碳化硅颗粒制备的更多可能性,先制备前驱体、再进行微波烧结,从而得到了不同形貌的纳米碳化硅颗粒。本发明提出的纳米碳化硅颗粒的制备方法,可制备出粒径均匀、纯度高、高硬度的纳米碳化硅颗粒。该颗粒具有良好的韧性以及吸波性能,可应用于集成电路、纳米复合材料或吸波材料的制备。

Patent Agency Ranking