一种精密锥孔精度测量方法

    公开(公告)号:CN105571461B

    公开(公告)日:2017-11-28

    申请号:CN201510968280.X

    申请日:2015-12-22

    Abstract: 一种精密锥孔精度测量方法,包括如下步骤:(1)用大理石平板校正精密锥孔精度测量装置零位(2)用标准环规校准精密锥孔精度测量装置(3)测量精密锥孔大端直径本发明的有益效果:1、精密锥孔精度测量装置实现了锥孔锥角和大端直径的同步在线测量,避免了锥孔轴向尺寸的错误,提高了锥孔加工的精度,提高了锥孔加工的效率。2、本发明的测量方法操作简单方便,降低了工人的劳动强度,简化了锥孔的加工检测流程。3、精密锥孔精度测量装置结构简单可靠,提高了产品生产的成品率,保证产品质量,降低锥孔加工的成本。

    一种半导体材料加工用自修整砂轮及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN113635228B

    公开(公告)日:2022-07-01

    申请号:CN202111031205.2

    申请日:2021-09-03

    Abstract: 本发明提出了一种半导体材料加工用自修整砂轮及其制备方法和应用,用以解决现有半导体砂轮存在的磨削稳定性低、寿命差和改善砂轮锋利性的实现难度大的技术问题。本发明的金属基扇形磨料层保证砂轮的磨削强度,起到磨削和支撑的作用;通孔内填充复合材料固化层,强度低于金属基扇形磨料层,起到类似研磨膏的作用,不仅可以起到修整金属基扇形磨料层,使其始终保持锋利状态的作用,同时还起到了对工件的辅助磨削作用,并能改善工件表面的加工质量;在两种结构层的相互作用下,砂轮在半导体材料加工过程中,能始终保持自锐,无需第三方修整工具,大大提升了工件加工质量的稳定性,最后,本发明的制备方法简单,制备效率高,易于工业生产。

    多工位超硬材料砂轮端面加工转台

    公开(公告)号:CN106625155A

    公开(公告)日:2017-05-10

    申请号:CN201611053545.4

    申请日:2016-11-25

    Abstract: 本发明属于机械加工领域,为一种多工位超硬材料砂轮端面加工转台包括箱体,箱体的上端铰接有转台,箱体内设置有中心支座,中心支座上设置有主齿轮,转台上设置有至少一个安装工件的工件台,工件台下端设置有驱动工件旋转的行星轮,行星轮与主齿轮啮合,箱体上分别安装有电机一和电机二,电机一驱动转台旋转,电机二驱动主齿轮旋转。本发明通过电机一带动转台旋转,工件台随转台公转,由于工件台下端设置有与主齿轮啮合行星轮,工件台在随转台公转时同时自转,可以用来实现多个工件的低速加工,若同时启动电机二,电机二带动主齿轮旋转,增加工件台的自转速度,实现多个工件的高速加工,若只开启电机二,只有工件台的自转,可以用来加工单个工件。

    一种超精超硬材料磨具及其制备方法

    公开(公告)号:CN117070190A

    公开(公告)日:2023-11-17

    申请号:CN202311041653.X

    申请日:2023-08-18

    Abstract: 本发明公开一种超精超硬材料磨具及其制备方法,属于超硬材料砂轮技术领域。所述超精超硬材料磨具,包括基体与磨料层,所述磨料层由以下质量百分比的原料组成:磨料10‑30%、复合结合剂70‑90%。所述超精超硬材料磨具中磨料粒径在10μm以下,所述磨料为核壳结构磨料,核壳结构磨料为金刚石微粉磨料外层包裹有均匀的碳化硅层,该碳化硅层可防止金刚石在烧结过程中碳化进而降低砂轮寿命,同时碳化硅层可参与磨削增加砂轮锋利度;使用该磨料制备的超硬材料磨具在提高使用寿命的同时可同时增加砂轮锋利度,加工效果好。

    一种复合结合剂砂轮修整装置及方法

    公开(公告)号:CN112405351A

    公开(公告)日:2021-02-26

    申请号:CN202011229246.8

    申请日:2020-11-06

    Abstract: 本发明公开了一种复合结合剂砂轮修整装置及方法,包括有高精度转台和控制系统,高精度转台两侧的上方分别设置有电火花修整模块和超声修整模块,电火花模块包括Z1直线电机、X1轴直线电机、脉冲电源、电极电机、电极、第一光栅尺和第一激光测位仪。本发明首先由脉冲电源对复合结合剂砂轮进行高温放电、碳化,但复合结合剂中的陶瓷材料、耐磨无机填料熔点高、碳化粘连,经电加工后碳化残渣粘连不易抛除;随后运用超声方式的空化现象对复合结合剂砂轮块端面的碳化粘连层进行抛除,随后再进行进一步电加工修整,电加工为非接触加工。本发明解决了复合结合剂砂轮因加工产生的砂轮掉块,产生内裂纹、加工发热破坏内部结构的问题。

    多工位超硬材料砂轮端面加工转台

    公开(公告)号:CN106625155B

    公开(公告)日:2019-08-23

    申请号:CN201611053545.4

    申请日:2016-11-25

    Abstract: 本发明属于机械加工领域,为一种多工位超硬材料砂轮端面加工转台包括箱体,箱体的上端铰接有转台,箱体内设置有中心支座,中心支座上设置有主齿轮,转台上设置有至少一个安装工件的工件台,工件台下端设置有驱动工件旋转的行星轮,行星轮与主齿轮啮合,箱体上分别安装有电机一和电机二,电机一驱动转台旋转,电机二驱动主齿轮旋转。本发明通过电机一带动转台旋转,工件台随转台公转,由于工件台下端设置有与主齿轮啮合行星轮,工件台在随转台公转时同时自转,可以用来实现多个工件的低速加工,若同时启动电机二,电机二带动主齿轮旋转,增加工件台的自转速度,实现多个工件的高速加工,若只开启电机二,只有工件台的自转,可以用来加工单个工件。

    一种多层超硬材料倒角砂轮及其制备方法

    公开(公告)号:CN117001555A

    公开(公告)日:2023-11-07

    申请号:CN202311041652.5

    申请日:2023-08-18

    Abstract: 本发明公开一种多层超硬材料倒角砂轮及其制备方法,属于超硬材料砂轮技术领域,所述超硬材料倒角砂轮外圆至基体从外向内分布有三层结构:磨削层含有磨料进行衬底晶片磨削加工;增强层用于组成核心骨架把持磨削层和缓冲层,具有较高的抗折强度和拉伸强度,防止磨削层大块碎裂及脱落;缓冲层用于形成网状结构串联磨削层和增强层,具有一定弹性,可降低工件磨削中磨削力冲击;本发明的砂轮结构简单,操作简便;可对半导体衬底晶片进行低损伤加工,降低超硬材料倒角砂轮和半导体衬底晶片接触时的刚性,加工效果好,被加工后衬底晶片损伤层崩口尺寸可以达到0.02mm以内。

    一种超硬材料倒角砂轮用添加剂及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN113427409B

    公开(公告)日:2022-09-16

    申请号:CN202110789104.5

    申请日:2021-07-13

    Abstract: 本发明提出了一种超硬材料倒角砂轮用添加剂及其制备方法和应用,用以解决现有的金属结合剂倒角砂轮刚性过大、无缓冲作用进而导致崩口过多的技术问题。本发明的超硬材料倒角砂轮用添加剂,包括以下重量份数的原料:聚氨酯5‑30份,铜粉为25‑60份,锡粉25‑60份,复合稀土5‑20份。本发明使用聚氨酯、铜粉、锡粉和复合稀土制备的超硬材料倒角砂轮用添加剂产生链状聚氨酯包裹合金晶粒的微细网状结构,兼具保形能力和自锐能力,能显著提高倒角砂轮组织强度和细化组织结晶,提高砂轮寿命及加工效率,能够提高砂轮的韧性,降低与工件接触时的刚性低,缓冲减震效果好,降低了工件的崩口率。

    一种用于具有导电属性工件平面度的检测方法和仪器

    公开(公告)号:CN112254631B

    公开(公告)日:2022-04-12

    申请号:CN202010967366.1

    申请日:2020-09-15

    Abstract: 一种用于具有导电属性工件平面度的检测方法和仪器。本发明通过利用导电材料正负极间的间隙效应,极间距离和击穿电压的关系接近直线,间隙击穿电压梯度基本不变的原理,将探针和砂轮及其附属件分布做为正负两极,通过标准件设定最小击穿电压和极间距离的函数,以符合该函数的电压值调整探针与被测件的距离使空气刚好被击穿,测得此时探针的位置,从而得出该点与标准件的误差,通过多点测量得出被测件的平面度,整个测量过程无接触,实现了无损测量。

    一种超硬材料砂轮修整方法及装置

    公开(公告)号:CN112454171B

    公开(公告)日:2022-03-01

    申请号:CN202011404454.7

    申请日:2020-12-04

    Abstract: 本发明公开了一种超硬材料砂轮修整方法及装置,首先,通过电火花加工对加工件的槽型初步修整,得到的初步修整后的加工件记为第一加工件:对加工件通过电火花加工模块中的第一电极、第二电极和第三电极依次进行粗加工、中加工和精加工;对第一加工件通过金刚石滚轮和修整砂轮的转印配合下进行精密修整;最后,对第二加工件采用金刚石滚轮作为修整工具,更换修锐砂轮对第二加工件进行精密修锐。本发明实现金属结合剂、复合结合剂等含金属具有导电属性的超硬材料砂轮的高效精密修整修锐,解决了超硬材料砂轮修整精度差、修锐精度差、加工效率等问题,实现了超硬材料砂轮精密槽型的槽型形状精度可控高效加工、精密修锐加工。

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