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公开(公告)号：CN113635228B
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN202111031205.2
申请日：2021-09-03
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明提出了一种半导体材料加工用自修整砂轮及其制备方法和应用，用以解决现有半导体砂轮存在的磨削稳定性低、寿命差和改善砂轮锋利性的实现难度大的技术问题。本发明的金属基扇形磨料层保证砂轮的磨削强度，起到磨削和支撑的作用；通孔内填充复合材料固化层，强度低于金属基扇形磨料层，起到类似研磨膏的作用，不仅可以起到修整金属基扇形磨料层，使其始终保持锋利状态的作用，同时还起到了对工件的辅助磨削作用，并能改善工件表面的加工质量；在两种结构层的相互作用下，砂轮在半导体材料加工过程中，能始终保持自锐，无需第三方修整工具，大大提升了工件加工质量的稳定性，最后，本发明的制备方法简单，制备效率高，易于工业生产。
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公开(公告)号：CN114984824B
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN202210750943.0
申请日：2022-06-29
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: B01F31/50 , B01F35/221 , B01F35/53 , B01F101/27
Abstract: 本发明提出一种磨料和结合剂混合均匀的混料方法及混料装置，包括根据一种现有结合剂配方的要求，在混料仓体上的润湿剂储存仓中添加适量的润湿剂，然后将混料仓体固定在混料机上，接通混料机电源，混料机开始带动混料仓体进行翻转往复运动，磨料和结合剂也随混料仓体进行翻转往复运动，调整混料机的翻转频率使磨料和结合剂可以被混料仓体带动扬起并漂浮分散在混料仓体内。本发明中对粉料与润湿剂的混合方式提出根本性创新，首次创新性实现漂浮的润湿剂雾化颗粒与三维运动中的粉料在混料仓内以运动状态分散黏合，辅助机械混合，以达到混匀的目的，相比添加滴状润湿剂至结合剂表面的单一混合方式，两者混和方式发生根本性变化。
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公开(公告)号：CN113635228A
公开(公告)日：2021-11-12
申请号：CN202111031205.2
申请日：2021-09-03
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明提出了一种半导体材料加工用自修整砂轮及其制备方法和应用，用以解决现有半导体砂轮存在的磨削稳定性低、寿命差和改善砂轮锋利性的实现难度大的技术问题。本发明的金属基扇形磨料层保证砂轮的磨削强度，起到磨削和支撑的作用；通孔内填充复合材料固化层，强度低于金属基扇形磨料层，起到类似研磨膏的作用，不仅可以起到修整金属基扇形磨料层，使其始终保持锋利状态的作用，同时还起到了对工件的辅助磨削作用，并能改善工件表面的加工质量；在两种结构层的相互作用下，砂轮在半导体材料加工过程中，能始终保持自锐，无需第三方修整工具，大大提升了工件加工质量的稳定性，最后，本发明的制备方法简单，制备效率高，易于工业生产。
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公开(公告)号：CN113427409A
公开(公告)日：2021-09-24
申请号：CN202110789104.5
申请日：2021-07-13
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明提出了一种超硬材料倒角砂轮用添加剂及其制备方法和应用，用以解决现有的金属结合剂倒角砂轮刚性过大、无缓冲作用进而导致崩口过多的技术问题。本发明的超硬材料倒角砂轮用添加剂，包括以下重量份数的原料：聚氨酯5‑30份，铜粉为25‑60份，锡粉25‑60份，复合稀土5‑20份。本发明使用聚氨酯、铜粉、锡粉和复合稀土制备的超硬材料倒角砂轮用添加剂产生链状聚氨酯包裹合金晶粒的微细网状结构，兼具保形能力和自锐能力，能显著提高倒角砂轮组织强度和细化组织结晶，提高砂轮寿命及加工效率，能够提高砂轮的韧性，降低与工件接触时的刚性低，缓冲减震效果好，降低了工件的崩口率。
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公开(公告)号：CN111496699B
公开(公告)日：2021-08-20
申请号：CN202010522384.9
申请日：2020-06-10
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: B24D3/06 , B24D3/10 , B24D3/34 , B24D18/00 , C22C32/00 , C22C30/04 , C22C30/02 , C22C1/05 , C22C1/10 , B22F1/00 , B22F3/02 , B22F3/10 , B22F5/00
Abstract: 本发明属于超硬砂轮修整技术领域，具体涉及一种用于金属结合剂超硬材料倒角砂轮修整用光学曲线磨砂轮；其包括基体和磨料层，所述磨料层包括以下重量份原料：磨料30‑40份，金属结合剂60‑70份；所述金属结合剂由以下重量份数的原料组成：铜粉30‑55份、锡粉25‑50份、银粉5‑10份。本发明的砂轮配方、加工工艺简单，操作简便；可对金属结合剂超硬材料倒角砂轮进行修整，加工效果好，倒角砂轮微槽尺寸可以达到正负0.01mm精度内。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111496699A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN202010522384.9
申请日：2020-06-10
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: B24D3/06 , B24D3/10 , B24D3/34 , B24D18/00 , C22C32/00 , C22C30/04 , C22C30/02 , C22C1/05 , C22C1/10 , B22F1/00 , B22F3/02 , B22F3/10 , B22F5/00
Abstract: 本发明属于超硬砂轮修整技术领域，具体涉及一种用于金属结合剂超硬材料倒角砂轮修整用光学曲线磨砂轮；其包括基体和磨料层，所述磨料层包括以下重量份原料：磨料30-40份，金属结合剂60-70份；所述金属结合剂由以下重量份数的原料组成：铜粉30-55份、锡粉25-50份、银粉5-10份。本发明的砂轮配方、加工工艺简单，操作简便；可对金属结合剂超硬材料倒角砂轮进行修整，加工效果好，倒角砂轮微槽尺寸可以达到正负0.01mm精度内。
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公开(公告)号：CN117001555A
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN202311041652.5
申请日：2023-08-18
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明公开一种多层超硬材料倒角砂轮及其制备方法，属于超硬材料砂轮技术领域，所述超硬材料倒角砂轮外圆至基体从外向内分布有三层结构：磨削层含有磨料进行衬底晶片磨削加工；增强层用于组成核心骨架把持磨削层和缓冲层，具有较高的抗折强度和拉伸强度，防止磨削层大块碎裂及脱落；缓冲层用于形成网状结构串联磨削层和增强层，具有一定弹性，可降低工件磨削中磨削力冲击；本发明的砂轮结构简单，操作简便；可对半导体衬底晶片进行低损伤加工，降低超硬材料倒角砂轮和半导体衬底晶片接触时的刚性，加工效果好，被加工后衬底晶片损伤层崩口尺寸可以达到0.02mm以内。
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公开(公告)号：CN113427409B
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN202110789104.5
申请日：2021-07-13
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明提出了一种超硬材料倒角砂轮用添加剂及其制备方法和应用，用以解决现有的金属结合剂倒角砂轮刚性过大、无缓冲作用进而导致崩口过多的技术问题。本发明的超硬材料倒角砂轮用添加剂，包括以下重量份数的原料：聚氨酯5‑30份，铜粉为25‑60份，锡粉25‑60份，复合稀土5‑20份。本发明使用聚氨酯、铜粉、锡粉和复合稀土制备的超硬材料倒角砂轮用添加剂产生链状聚氨酯包裹合金晶粒的微细网状结构，兼具保形能力和自锐能力，能显著提高倒角砂轮组织强度和细化组织结晶，提高砂轮寿命及加工效率，能够提高砂轮的韧性，降低与工件接触时的刚性低，缓冲减震效果好，降低了工件的崩口率。
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公开(公告)号：CN112254631B
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202010967366.1
申请日：2020-09-15
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 一种用于具有导电属性工件平面度的检测方法和仪器。本发明通过利用导电材料正负极间的间隙效应，极间距离和击穿电压的关系接近直线，间隙击穿电压梯度基本不变的原理，将探针和砂轮及其附属件分布做为正负两极，通过标准件设定最小击穿电压和极间距离的函数，以符合该函数的电压值调整探针与被测件的距离使空气刚好被击穿，测得此时探针的位置，从而得出该点与标准件的误差，通过多点测量得出被测件的平面度，整个测量过程无接触，实现了无损测量。
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公开(公告)号：CN112405351B
公开(公告)日：2022-01-25
申请号：CN202011229246.8
申请日：2020-11-06
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: B24B53/06 , B24B53/00 , B24B53/007 , B24B53/12 , B24B49/12
Abstract: 本发明公开了一种复合结合剂砂轮修整装置及方法，包括有高精度转台和控制系统，高精度转台两侧的上方分别设置有电火花修整模块和超声修整模块，电火花模块包括Z1直线电机、X1轴直线电机、脉冲电源、电极电机、电极、第一光栅尺和第一激光测位仪。本发明首先由脉冲电源对复合结合剂砂轮进行高温放电、碳化，但复合结合剂中的陶瓷材料、耐磨无机填料熔点高、碳化粘连，经电加工后碳化残渣粘连不易抛除；随后运用超声方式的空化现象对复合结合剂砂轮块端面的碳化粘连层进行抛除，随后再进行进一步电加工修整，电加工为非接触加工。本发明解决了复合结合剂砂轮因加工产生的砂轮掉块，产生内裂纹、加工发热破坏内部结构的问题。
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