一种半导体材料加工用自修整砂轮及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN113635228B

    公开(公告)日:2022-07-01

    申请号:CN202111031205.2

    申请日:2021-09-03

    Abstract: 本发明提出了一种半导体材料加工用自修整砂轮及其制备方法和应用,用以解决现有半导体砂轮存在的磨削稳定性低、寿命差和改善砂轮锋利性的实现难度大的技术问题。本发明的金属基扇形磨料层保证砂轮的磨削强度,起到磨削和支撑的作用;通孔内填充复合材料固化层,强度低于金属基扇形磨料层,起到类似研磨膏的作用,不仅可以起到修整金属基扇形磨料层,使其始终保持锋利状态的作用,同时还起到了对工件的辅助磨削作用,并能改善工件表面的加工质量;在两种结构层的相互作用下,砂轮在半导体材料加工过程中,能始终保持自锐,无需第三方修整工具,大大提升了工件加工质量的稳定性,最后,本发明的制备方法简单,制备效率高,易于工业生产。

    一种碳化硅衬底倒角用砂轮及其制备方法

    公开(公告)号:CN108527174B

    公开(公告)日:2020-01-31

    申请号:CN201810389935.1

    申请日:2018-04-27

    Abstract: 本发明属于碳化硅衬底加工技术领域,具体涉及一种用于2英寸及以上规格碳化硅衬底的倒角用砂轮及其制备方法。所述碳化硅衬底倒角用砂轮,包括基体和磨料层,所述磨料层包括以下重量份的原料:磨料20‑30份,金属结合剂56‑95份,添加剂1‑7份;所述添加剂是氯化钠、氯化钾、碳酸钠、碳酸钾中的一种或几种任意比例混合物。本发明的砂轮配方、加工工艺简单,操作简便;可对2英寸及以上尺寸的碳化硅衬底进行倒角加工,加工效果好,工件在高亮白光下目测无锯齿和崩口现象。

    一种超精超硬材料磨具及其制备方法

    公开(公告)号:CN117070190A

    公开(公告)日:2023-11-17

    申请号:CN202311041653.X

    申请日:2023-08-18

    Abstract: 本发明公开一种超精超硬材料磨具及其制备方法,属于超硬材料砂轮技术领域。所述超精超硬材料磨具,包括基体与磨料层,所述磨料层由以下质量百分比的原料组成:磨料10‑30%、复合结合剂70‑90%。所述超精超硬材料磨具中磨料粒径在10μm以下,所述磨料为核壳结构磨料,核壳结构磨料为金刚石微粉磨料外层包裹有均匀的碳化硅层,该碳化硅层可防止金刚石在烧结过程中碳化进而降低砂轮寿命,同时碳化硅层可参与磨削增加砂轮锋利度;使用该磨料制备的超硬材料磨具在提高使用寿命的同时可同时增加砂轮锋利度,加工效果好。

    一种碳化硅衬底倒角用砂轮及其制备方法

    公开(公告)号:CN108527174A

    公开(公告)日:2018-09-14

    申请号:CN201810389935.1

    申请日:2018-04-27

    Abstract: 本发明属于碳化硅衬底加工技术领域,具体涉及一种用于2英寸及以上规格碳化硅衬底的倒角用砂轮及其制备方法。所述碳化硅衬底倒角用砂轮,包括基体和磨料层,所述磨料层包括以下重量份的原料:磨料20-30份,金属结合剂56-95份,添加剂1-7份;所述添加剂是氯化钠、氯化钾、碳酸钠、碳酸钾中的一种或几种任意比例混合物。本发明的砂轮配方、加工工艺简单,操作简便;可对2英寸及以上尺寸的碳化硅衬底进行倒角加工,加工效果好,工件在高亮白光下目测无锯齿和崩口现象。

    一种半导体材料加工用自修整砂轮及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN113635228A

    公开(公告)日:2021-11-12

    申请号:CN202111031205.2

    申请日:2021-09-03

    Abstract: 本发明提出了一种半导体材料加工用自修整砂轮及其制备方法和应用,用以解决现有半导体砂轮存在的磨削稳定性低、寿命差和改善砂轮锋利性的实现难度大的技术问题。本发明的金属基扇形磨料层保证砂轮的磨削强度,起到磨削和支撑的作用;通孔内填充复合材料固化层,强度低于金属基扇形磨料层,起到类似研磨膏的作用,不仅可以起到修整金属基扇形磨料层,使其始终保持锋利状态的作用,同时还起到了对工件的辅助磨削作用,并能改善工件表面的加工质量;在两种结构层的相互作用下,砂轮在半导体材料加工过程中,能始终保持自锐,无需第三方修整工具,大大提升了工件加工质量的稳定性,最后,本发明的制备方法简单,制备效率高,易于工业生产。

    一种超硬材料倒角砂轮用添加剂及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN113427409A

    公开(公告)日:2021-09-24

    申请号:CN202110789104.5

    申请日:2021-07-13

    Abstract: 本发明提出了一种超硬材料倒角砂轮用添加剂及其制备方法和应用,用以解决现有的金属结合剂倒角砂轮刚性过大、无缓冲作用进而导致崩口过多的技术问题。本发明的超硬材料倒角砂轮用添加剂,包括以下重量份数的原料:聚氨酯5‑30份,铜粉为25‑60份,锡粉25‑60份,复合稀土5‑20份。本发明使用聚氨酯、铜粉、锡粉和复合稀土制备的超硬材料倒角砂轮用添加剂产生链状聚氨酯包裹合金晶粒的微细网状结构,兼具保形能力和自锐能力,能显著提高倒角砂轮组织强度和细化组织结晶,提高砂轮寿命及加工效率,能够提高砂轮的韧性,降低与工件接触时的刚性低,缓冲减震效果好,降低了工件的崩口率。

    一种多层超硬材料倒角砂轮及其制备方法

    公开(公告)号:CN117001555A

    公开(公告)日:2023-11-07

    申请号:CN202311041652.5

    申请日:2023-08-18

    Abstract: 本发明公开一种多层超硬材料倒角砂轮及其制备方法,属于超硬材料砂轮技术领域,所述超硬材料倒角砂轮外圆至基体从外向内分布有三层结构:磨削层含有磨料进行衬底晶片磨削加工;增强层用于组成核心骨架把持磨削层和缓冲层,具有较高的抗折强度和拉伸强度,防止磨削层大块碎裂及脱落;缓冲层用于形成网状结构串联磨削层和增强层,具有一定弹性,可降低工件磨削中磨削力冲击;本发明的砂轮结构简单,操作简便;可对半导体衬底晶片进行低损伤加工,降低超硬材料倒角砂轮和半导体衬底晶片接触时的刚性,加工效果好,被加工后衬底晶片损伤层崩口尺寸可以达到0.02mm以内。

    一种超硬材料倒角砂轮用添加剂及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN113427409B

    公开(公告)日:2022-09-16

    申请号:CN202110789104.5

    申请日:2021-07-13

    Abstract: 本发明提出了一种超硬材料倒角砂轮用添加剂及其制备方法和应用,用以解决现有的金属结合剂倒角砂轮刚性过大、无缓冲作用进而导致崩口过多的技术问题。本发明的超硬材料倒角砂轮用添加剂,包括以下重量份数的原料:聚氨酯5‑30份,铜粉为25‑60份,锡粉25‑60份,复合稀土5‑20份。本发明使用聚氨酯、铜粉、锡粉和复合稀土制备的超硬材料倒角砂轮用添加剂产生链状聚氨酯包裹合金晶粒的微细网状结构,兼具保形能力和自锐能力,能显著提高倒角砂轮组织强度和细化组织结晶,提高砂轮寿命及加工效率,能够提高砂轮的韧性,降低与工件接触时的刚性低,缓冲减震效果好,降低了工件的崩口率。

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