公开(公告)号：CN115745574B

公开(公告)日：2023-10-10

申请号：CN202211445828.9

申请日：2022-11-18

Applicant: 郑州大学 ,  中原关键金属实验室

Inventor： 陈杰 ,  熊富迪 ,  孙本双 ,  齐超 ,  刘洋 ,  何季麟

IPC: C23C14/34 ,  C04B35/01 ,  C04B35/453 ,  C04B35/622 ,  C04B35/626 ,  C04B35/64 ,  C23C14/08 ,  C23C14/35

Abstract: 本发明属于无机材料制备技术领域，涉及高致密无开裂细晶铟锡氧化物管状靶材的制备方法，包括如下步骤：以氧化铟、氧化锡为原料，加入纯水和分散剂，在球磨机中进行混合球磨后加入消泡剂，搅拌均匀，转入砂磨机中并加入粘结剂进行砂磨，得浆料；浆料用喷雾法制备造粒粉；将造粒粉填充入管状靶材模具中；采用冷等静压成型技术获得素坯；使用两步细晶烧结法对素坯进行烧结。本发明采用两步细晶烧结法得到的管状靶材致密度可以达到99.8%以上，晶粒尺寸小于5μm，有效解决了管状靶材高致密的同时晶粒不易控制的问题。

公开(公告)号：CN115745574A

公开(公告)日：2023-03-07

申请号：CN202211445828.9

申请日：2022-11-18

Applicant: 郑州大学

Inventor： 陈杰 ,  熊富迪 ,  孙本双 ,  齐超 ,  刘洋 ,  何季麟

IPC: C04B35/01 ,  C04B35/453 ,  C04B35/622 ,  C04B35/626 ,  C04B35/64 ,  C23C14/08 ,  C23C14/34 ,  C23C14/35

Abstract: 本发明属于无机材料制备技术领域，涉及高致密无开裂细晶铟锡氧化物管状靶材的制备方法，包括如下步骤：以氧化铟、氧化锡为原料，加入纯水和分散剂，在球磨机中进行混合球磨后加入消泡剂，搅拌均匀，转入砂磨机中并加入粘结剂进行砂磨，得浆料；浆料用喷雾法制备造粒粉；将造粒粉填充入管状靶材模具中；采用冷等静压成型技术获得素坯；使用两步细晶烧结法对素坯进行烧结。本发明采用两步细晶烧结法得到的管状靶材致密度可以达到99.8%以上，晶粒尺寸小于5μm，有效解决了管状靶材高致密的同时晶粒不易控制的问题。