公开(公告)号：CN112723875B

公开(公告)日：2023-01-20

申请号：CN202110146360.2

申请日：2021-02-03

Applicant: 郑州大学

Inventor： 陈杰 ,  齐超 ,  孙本双 ,  淮志远 ,  何季麟

IPC: C04B35/457 ,  C04B35/622 ,  C04B35/63

Abstract: 本发明提供了一种氧化镓掺杂氧化锡陶瓷靶材及制备方法，其原料按照质量百分比，由氧化锡及氧化镓高纯纳米粉末组成，其组分比例为氧化镓2~10%，氧化锡90~98%。粉末称量混合后加入聚丙烯酸铵，聚乙烯醇及纯水，混合浆料经球磨后造粒干燥，得到混合粉末依次使用油压机、等静压机压制成型，之后使用脱脂‑多步烧结一体化烧结技术在不同烧结温度下制备了氧化镓掺杂氧化锡陶瓷靶材。本发明掺杂的氧化镓有效提高了氧化锡陶瓷的烧结性能，显著提升了氧化锡陶瓷靶材的致密度，同时通过制备工艺的有效控制，获得了组织均匀且晶粒细小的氧化镓掺杂氧化锡靶材。

公开(公告)号：CN113563063B

公开(公告)日：2022-07-26

申请号：CN202110970900.9

申请日：2021-08-23

Applicant: 郑州大学

Inventor： 陈杰 ,  淮志远 ,  孙本双 ,  何季麟

IPC: C23C14/08 ,  C04B35/457 ,  C04B35/622 ,  C04B35/638 ,  C04B35/64

Abstract: 高致密细晶粒氧化锌掺杂氧化锡基陶瓷靶材的制备方法，包括：(1)氧化锡粉体、氧化锌粉体以质量比60～65:35～40混合，加入聚丙烯酸铵作为分散剂，并加入水，形成原料混合物；(2)原料混合物在球磨机上进行球磨；(3)球磨后的混合浆体在砂磨机上进行砂磨；(4)砂磨后的混合浆体中加入粘结剂，搅拌均匀；(5)搅拌均匀的混合浆体进行喷雾干燥，得到球形混合造粒粉；(6)混合造粒粉进行模压成型，得到原始靶材素坯；(7)原始靶材素坯进行冷等静压成型，得到高强度、高密度的均匀靶材素坯；(8)均匀靶材素坯进行脱脂、烧结一体化无压烧结，得到高致密细晶粒氧化锌掺杂氧化锡陶瓷靶材。

公开(公告)号：CN113563063A

公开(公告)日：2021-10-29

申请号：CN202110970900.9

申请日：2021-08-23

Applicant: 郑州大学

Inventor： 陈杰 ,  淮志远 ,  孙本双 ,  何季麟

IPC: C04B35/457 ,  C04B35/622 ,  C04B35/638 ,  C04B35/64 ,  C23C14/08

Abstract: 高致密细晶粒氧化锌掺杂氧化锡基陶瓷靶材的制备方法，包括：(1)氧化锡粉体、氧化锌粉体以质量比60～65:35～40混合，加入聚丙烯酸铵作为分散剂，并加入水，形成原料混合物；(2)原料混合物在球磨机上进行球磨；(3)球磨后的混合浆体在砂磨机上进行砂磨；(4)砂磨后的混合浆体中加入粘结剂，搅拌均匀；(5)搅拌均匀的混合浆体进行喷雾干燥，得到球形混合造粒粉；(6)混合造粒粉进行模压成型，得到原始靶材素坯；(7)原始靶材素坯进行冷等静压成型，得到高强度、高密度的均匀靶材素坯；(8)均匀靶材素坯进行脱脂、烧结一体化无压烧结，得到高致密细晶粒氧化锌掺杂氧化锡陶瓷靶材。

公开(公告)号：CN113479928A

公开(公告)日：2021-10-08

申请号：CN202110804915.8

申请日：2021-07-16

Applicant: 郑州大学

Inventor： 陈杰 ,  滕晓朋 ,  孙本双 ,  淮志远 ,  何季麟

IPC: C01G15/00 ,  B82Y40/00

Abstract: InGaZnO4单相纳米粉体的制备方法，包括：摩尔比为1：1：1的金属铟颗粒、金属镓颗粒和金属锌颗粒放入容器中，将质量浓度为50～60％的硝酸溶液分次加入容器中，得到离子浓度为0.1～0.6mol/L的金属离子溶液；向金属离子溶液中滴加沉淀剂，溶液pH小于4时，搅拌速度控制在400～450rpm之间；溶液pH在4～4.5之间时，停止滴加沉淀剂，保持反应0.5～1小时；溶液pH在5.5～6之间时，停止滴加沉淀剂，保持反应0.5～1h；pH大于6时，搅拌速度控制在450～500rpm之间；pH大于7.5～8.8时，停止滴加沉淀剂，持续搅拌1～2h，然后在室温下老化18～24h；洗涤干燥得到粉体前驱体；将粉体前驱体两次煅烧，即得InGaZnO4单相纳米粉体。

公开(公告)号：CN112723875A

公开(公告)日：2021-04-30

申请号：CN202110146360.2

申请日：2021-02-03

Applicant: 郑州大学

Inventor： 陈杰 ,  齐超 ,  孙本双 ,  淮志远 ,  何季麟

IPC: C04B35/457 ,  C04B35/622 ,  C04B35/63

Abstract: 本发明提供了一种氧化镓掺杂氧化锡陶瓷靶材及制备方法，其原料按照质量百分比，由氧化锡及氧化镓高纯纳米粉末组成，其组分比例为氧化镓2~10%，氧化锡90~98%。粉末称量混合后加入聚丙烯酸铵，聚乙烯醇及纯水，混合浆料经球磨后造粒干燥，得到混合粉末依次使用油压机、等静压机压制成型，之后使用脱脂‑多步烧结一体化烧结技术在不同烧结温度下制备了氧化镓掺杂氧化锡陶瓷靶材。本发明掺杂的氧化镓有效提高了氧化锡陶瓷的烧结性能，显著提升了氧化锡陶瓷靶材的致密度，同时通过制备工艺的有效控制，获得了组织均匀且晶粒细小的氧化镓掺杂氧化锡靶材。