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公开(公告)号：CN107454978B
公开(公告)日：2019-05-14
申请号：CN201680009034.4
申请日：2016-01-26
Applicant: 通快许廷格有限公司
Abstract: 一种电弧处理设备(14)包括：a.电弧检测设备(21)，其检测等离子体腔(30)中是否存在电弧；b.电弧能量确定设备(22)，其用于确定电弧能量值，所述电弧能量值是对应于当所述等离子体腔(30)中存在所述电弧时被供应到所述等离子体腔(30)的能量的值；c.切断时间确定设备(24)，其用于根据所确定的电弧能量值确定切断时间。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107466419B
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201580073917.7
申请日：2015-12-15
Applicant: 通快许廷格有限公司
IPC: H01J37/32
Abstract: 一种用于为等离子体室(30)中的等离子体过程供电的等离子体电源(10)，包括：a、DC源(15)；b、输出信号发生器(16)，该输出信号发生器(16)连接到DC源(15)；c、第一信号序列测量设备(20)，该第一信号序列测量设备(20)用于测量存在于DC源(15)与输出信号发生器(16)之间的信号序列；d、第二信号序列测量设备(18、19)，该第二信号序列测量设备(18、19)用于测量存在于输出信号发生器(16)的输出端处的信号序列；e、控制单元(14)，该控制单元(14)连接到第一和第二信号序列测量设备(18、19、20)。
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公开(公告)号：CN107466419A
公开(公告)日：2017-12-12
申请号：CN201580073917.7
申请日：2015-12-15
Applicant: 通快许廷格有限公司
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/32944
Abstract: 一种用于为等离子体室(30)中的等离子体过程供电的等离子体电源(10)，包括：a、DC源(15)；b、输出信号发生器(16)，该输出信号发生器(16)连接到DC源(15)；c、第一信号序列测量设备(20)，该第一信号序列测量设备(20)用于测量存在于DC源(15)与输出信号发生器(16)之间的信号序列；d、第二信号序列测量设备(18、19)，该第二信号序列测量设备(18、19)用于测量存在于输出信号发生器(16)的输出端处的信号序列；e、控制单元(14)，该控制单元(14)连接到第一和第二信号序列测量设备(18、19、20)。
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公开(公告)号：CN106256012B
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：CN201580007623.4
申请日：2015-02-06
Applicant: 通快许廷格有限公司
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/32944 , G01R19/165 , H01J37/32128 , H01J37/32917 , H01J37/32926 , H01J37/32935
Abstract: 一种监测等离子体过程中的放电的方法，包括以下步骤：a.将周期性电源信号(71a)提供给等离子体过程；b.确定电源信号的第一时段内的第一时间间隔(Δt)内的第一电源信号波形；c.确定电源信号的第二时段内的第二时间间隔(Δt)内的第二电源信号波形(31，51)，其中，第二时间间隔(Δt)在第二时段中的位置与第一时间间隔(Δt)在第一时段内的位置相对应；d.将第二时间间隔的第二电源信号波形(31，51)与第一时间间隔的第一电源信号波形或参考信号波形(50，60)进行比较，并确定第一比较结果；e.如果第一比较结果与给定第一比较结果相对应，则对第二时间间隔(Δt)中的第二电源信号波形(31，51)、第一时间间隔(Δt)中的第一电源波形、或参考信号波形(50，60)中的一个信号波形进行时间偏移，并且将经时间偏移的信号与未进行时间偏移的信号波形中的一个信号波形进行比较，从而获得第二比较结果。
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公开(公告)号：CN107454978A
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：CN201680009034.4
申请日：2016-01-26
Applicant: 通快许廷格有限公司
CPC classification number: H01J37/3476 , G01R31/1254 , H01J37/241 , H01J37/244 , H01J37/32944 , H01J37/3444 , H01J2237/0206 , H01J2237/24564 , H01J2237/3322
Abstract: 一种电弧处理设备(14)包括：a.电弧检测设备(21)，其检测等离子体腔(30)中是否存在电弧；b.电弧能量确定设备(22)，其用于确定电弧能量值，所述电弧能量值是对应于当所述等离子体腔(30)中存在所述电弧时被供应到所述等离子体腔(30)的能量的值；c.切断时间确定设备(24)，其用于根据所确定的电弧能量值确定切断时间。
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公开(公告)号：CN106256012A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201580007623.4
申请日：2015-02-06
Applicant: 通快许廷格有限公司
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/32944 , G01R19/165 , H01J37/32128 , H01J37/32917 , H01J37/32926 , H01J37/32935
Abstract: 一种监测等离子体过程中的放电的方法，包括以下步骤：a.将周期性电源信号(71a)提供给等离子体过程；b.确定电源信号的第一时段内的第一时间间隔(Δt)内的第一电源信号波形；c.确定电源信号的第二时段内的第二时间间隔(Δt)内的第二电源信号波形(31，51)，其中，第二时间间隔(Δt)在第二时段中的位置与第一时间间隔(Δt)在第一时段内的位置相对应；d.将第二时间间隔的第二电源信号波形(31，51)与第一时间间隔的第一电源信号波形或参考信号波形(50，60)进行比较，并确定第一比较结果；e.如果第一比较结果与给定第一比较结果相对应，则对第二时间间隔(Δt)中的第二电源信号波形(31，51)、第一时间间隔(Δt)中的第一电源波形、或参考信号波形(50，60)中的一个信号波形进行时间偏移，并且将经时间偏移的信号与未进行时间偏移的信号波形中的一个信号波形进行比较，从
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