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公开(公告)号:CN118390022A
公开(公告)日:2024-07-26
申请号:CN202310326068.8
申请日:2023-03-30
Applicant: 辽宁科技大学
Abstract: 本发明涉及薄膜制备领域,具体是一种利用PECVD技术在球墨铸铁表面实现低温制备DLC薄膜的方法,主要是利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术在球墨铸铁表面实现低温制备类金刚石(DLC)薄膜的方法。利用PECVD装置,使用乙炔作为主要碳源,通过改变氩气和乙炔的流量比(FAr/FC2H2)以及四甲基硅烷的流量、沉积时间、沉积偏压及压强,在球墨铸铁表面制备含有硅过渡层的超厚DLC薄膜。此方法制膜工艺简单,并可实现低温下制膜。在保证球墨铸铁自身强度的同时提高了球墨铸铁表面的耐磨性及耐蚀性,并且DLC薄膜与球墨铸铁基体结合良好,可以为球墨铸铁表面改性工艺提供重要的参考依据。
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公开(公告)号:CN110551992A
公开(公告)日:2019-12-10
申请号:CN201910942611.0
申请日:2019-09-30
Applicant: 辽宁科技大学
Abstract: 本发明涉及一种在超级马氏体不锈钢表面制备DLC薄膜的方法,用13Cr超级马氏体不锈钢作为基体进行镀膜;在真空腔体内设金属网笼,带有防爆口的空心玻璃砖放设在真空腔体内,在绝缘玻璃砖上放置金属网笼,所述的金属网笼前后左右四面开口,使电子逃逸形成回路;将基体打磨后超声清洗,再放置于真空腔体的金属网笼内部进行高压清洗,基体的待镀膜面向上;在镀膜前制备Si/Si-C过渡层,提高膜基结合力;使用等离子体增强化学气相沉积技术制备DLC薄膜。优点是:基体的高模量解决了DLC薄膜制备过程中应力过大的问题。在超级马氏体不锈钢表面制备的DLC薄膜,结构致密、明显提高了基体硬度以及减摩耐蚀等性能。
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公开(公告)号:CN105925946B
公开(公告)日:2018-11-06
申请号:CN201610294033.0
申请日:2016-05-06
Applicant: 辽宁科技大学
Abstract: 一种利用磁控溅射法在铝合金表面制备TiN或CrN薄膜的方法。本发明涉及利用等离子体增强平衡磁控溅射装置,使用Ti、Cr金属靶,在铝合金表面分别制备含Ti和Cr原子过渡层的TiN和CrN薄膜。此方法不仅保证了铝合金基体的自身强度,同时也提高了铝合金表面的硬度及耐蚀性,并且薄膜与基体结合力良好,可以为铝合金表面改性工艺提供重要的参考依据。
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公开(公告)号:CN105925946A
公开(公告)日:2016-09-07
申请号:CN201610294033.0
申请日:2016-05-06
Applicant: 辽宁科技大学
CPC classification number: C23C14/352 , C23C14/0617 , C23C14/0641
Abstract: 一种利用磁控溅射法在铝合金表面制备TiN或CrN薄膜的方法。本发明涉及利用等离子体增强平衡磁控溅射装置,使用Ti、Cr金属靶,在铝合金表面分别制备含Ti和Cr原子过渡层的TiN和CrN薄膜。此方法不仅保证了铝合金基体的自身强度,同时也提高了铝合金表面的硬度及耐蚀性,并且薄膜与基体结合力良好,可以为铝合金表面改性工艺提供重要的参考依据。
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公开(公告)号:CN210506520U
公开(公告)日:2020-05-12
申请号:CN201921658204.9
申请日:2019-09-30
Applicant: 辽宁科技大学
Abstract: 本实用新型涉及一种在超级马氏体不锈钢表面制备DLC薄膜的装置,包括真空腔体、金属网笼、样品架、分子泵、机械泵,密封结构的真空腔体内固定有带有开口的空心玻璃砖,空心玻璃砖上放置金属网笼,所述的金属网笼是由金属丝编织成空心矩形结构,金属网笼前后左右均设有开口,使电子逃逸形成回路;样品架用于支撑基体置于金属网笼中央,样品架穿过金属网笼,样品架两端设置在金属网笼外部,底部支撑在真空腔体上;真空腔体上设有进气口;真空腔体通过带有阀门的管道与气瓶连接。优点是:结构合理,方便使用,利用本装置沉积的DLC膜,提高了膜基结合力,以延长其作为油管钢的使用寿命。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN215480276U
公开(公告)日:2022-01-11
申请号:CN202120799028.1
申请日:2021-04-19
Applicant: 辽宁科技大学
IPC: C02F9/06
Abstract: 本实用新型公开了一种电化学水处理用过滤装置,包括净化箱,所述净化箱的正面嵌设有玻璃,所述净化箱底部的两侧均固定安装有支撑腿,所述净化箱的底部连通有排水管,所述净化箱顶部的两侧均固定安装有气缸,所述净化箱的顶部且位于气缸之间固定安装有两个电极。本实用新型通过设置玻璃方便观察内部的处理进度,通过设置支撑腿用于对净化箱进行支撑,通过设置进水管用于将电化学水送至净化箱的内部,通过设置排水管用于将处理完毕的水排出,通过设置电极用于对水中的离子进行还原,同时解决了电化学在生产制造完毕后往往会产生较多的污水,若不对其进行清理则会导致环境污染的问题。
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公开(公告)号:CN219815745U
公开(公告)日:2023-10-13
申请号:CN202320758287.9
申请日:2023-04-08
Applicant: 辽宁科技大学
IPC: B01D50/60 , B01D46/10 , B01D46/681
Abstract: 本实用新型公开了一种可以过滤收集联体结构悬浮炉烟尘的净化装置,包括箱体,箱体的一侧贯穿连接有进气管,箱体的内壁固定连接有横板,横板的内壁贯穿有导管,横板的内壁内嵌有过滤网,横板的底部固定连接有竖管,竖管的内壁活动连接有齿板。本实用新型涉及悬浮炉技术领域,该可以过滤收集联体结构悬浮炉烟尘的净化装置通过箱体、横板、挡板、第一弹簧、齿杆、齿板、限位杆、浮球和过滤网的配合,可以有效对烟尘进行收集处理,并且可以实时的检测该可以过滤收集联体结构悬浮炉烟尘的净化装置内部水的多少,当水量低于一定程度时,可以自动的进行补水作业,可以有效保证该可以过滤收集联体结构悬浮炉烟尘的净化装置的工作质量。
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