公开(公告)号：CN102766857B

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：CN201210137245.X

申请日：2012-05-04

Applicant: 诺信公司

Inventor： 托马斯·V·博尔登 ,  艾尔玛·M·卡利卡 ,  罗伯特·S·康德拉少弗 ,  路易斯·费耶罗 ,  詹姆士·D·格蒂

IPC: C23C16/505

CPC classification number: H01J37/32082 ,  H01J37/32174 ,  H01J37/32532 ,  H01J37/32568 ,  H01J37/32577

Abstract: 本发明涉及用于在等离子体处理系统中向电极分配RF能量的等离子体处理系统和方法。该等离子体处理系统包括功率和接地母线、正相和负相初级电极母线，以及正相和负相次级电极母线。功率和接地母线被隔离变压器耦合到次级电极母线从而负相次级电极母线被提供有与被供应到正相次级电极母线的RF信号180度异相的RF信号。次级电极母线被电容器耦合到各自的正相和负相初级电极母线。初级电极母线每一个均被耦合到真空腔室中的电极。将初级电极母线耦合到RF接地的负载线圈可以与电容器配合以调节在功率母线处的输入阻抗。

公开(公告)号：CN115298797A

公开(公告)日：2022-11-04

申请号：CN202180008317.8

申请日：2021-01-07

Applicant: 诺信公司

Inventor： 赵建钢 ,  罗伯特·S·康德拉少弗 ,  詹姆斯·哈尔劳恩 ,  大卫·A·普雷斯顿

IPC: H01J37/32 ,  H01L21/673

Abstract: 一个示例中，等离子体处理腔室的工件支撑结构具有上端和下端以及在该上端和下端之间延伸的第一支撑构件和第二支撑构件。这些支撑构件彼此电气隔离，并且沿着水平方向彼此偏移，以在其间限定空腔。该第一支撑构件和第二支撑构件在空腔内支撑电极，以使得：(1)这些电极沿着竖直方向彼此偏移；(2)这些电极沿着第一水平方向在第一支撑构件与第二支撑构件之间延伸；(3)第一组电极电耦合到该第一支撑构件并且与该第二支撑构件电气隔离；以及(4)与该第一组电极不同的第二组电极电耦合到该第二支撑构件并且与该第一支撑构件电气隔离。

公开(公告)号：CN102766857A

公开(公告)日：2012-11-07

申请号：CN201210137245.X

申请日：2012-05-04

Applicant: 诺信公司

Inventor： 托马斯·V·博尔登 ,  艾尔玛·M·卡利卡 ,  罗伯特·S·康德拉少弗 ,  路易斯·费耶罗 ,  詹姆士·D·格蒂

IPC: C23C16/505

CPC classification number: H01J37/32082 ,  H01J37/32174 ,  H01J37/32532 ,  H01J37/32568 ,  H01J37/32577

Abstract: 本发明涉及用于在等离子体处理系统中向电极分配RF能量的等离子体处理系统和方法。该等离子体处理系统包括功率和接地母线、正相和负相初级电极母线，以及正相和负相次级电极母线。功率和接地母线被隔离变压器耦合到次级电极母线从而负相次级电极母线被提供有与被供应到正相次级电极母线的RF信号180度异相的RF信号。次级电极母线被电容器耦合到各自的正相和负相初级电极母线。初级电极母线每一个均被耦合到真空腔室中的电极。将初级电极母线耦合到RF接地的负载线圈可以与电容器配合以调节在功率母线处的输入阻抗。