公开(公告)号：CN102766857B

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：CN201210137245.X

申请日：2012-05-04

Applicant: 诺信公司

Inventor： 托马斯·V·博尔登 ,  艾尔玛·M·卡利卡 ,  罗伯特·S·康德拉少弗 ,  路易斯·费耶罗 ,  詹姆士·D·格蒂

IPC: C23C16/505

CPC classification number: H01J37/32082 ,  H01J37/32174 ,  H01J37/32532 ,  H01J37/32568 ,  H01J37/32577

Abstract: 本发明涉及用于在等离子体处理系统中向电极分配RF能量的等离子体处理系统和方法。该等离子体处理系统包括功率和接地母线、正相和负相初级电极母线，以及正相和负相次级电极母线。功率和接地母线被隔离变压器耦合到次级电极母线从而负相次级电极母线被提供有与被供应到正相次级电极母线的RF信号180度异相的RF信号。次级电极母线被电容器耦合到各自的正相和负相初级电极母线。初级电极母线每一个均被耦合到真空腔室中的电极。将初级电极母线耦合到RF接地的负载线圈可以与电容器配合以调节在功率母线处的输入阻抗。

公开(公告)号：CN102766857A

公开(公告)日：2012-11-07

申请号：CN201210137245.X

申请日：2012-05-04

Applicant: 诺信公司

Inventor： 托马斯·V·博尔登 ,  艾尔玛·M·卡利卡 ,  罗伯特·S·康德拉少弗 ,  路易斯·费耶罗 ,  詹姆士·D·格蒂

IPC: C23C16/505

CPC classification number: H01J37/32082 ,  H01J37/32174 ,  H01J37/32532 ,  H01J37/32568 ,  H01J37/32577

Abstract: 本发明涉及用于在等离子体处理系统中向电极分配RF能量的等离子体处理系统和方法。该等离子体处理系统包括功率和接地母线、正相和负相初级电极母线，以及正相和负相次级电极母线。功率和接地母线被隔离变压器耦合到次级电极母线从而负相次级电极母线被提供有与被供应到正相次级电极母线的RF信号180度异相的RF信号。次级电极母线被电容器耦合到各自的正相和负相初级电极母线。初级电极母线每一个均被耦合到真空腔室中的电极。将初级电极母线耦合到RF接地的负载线圈可以与电容器配合以调节在功率母线处的输入阻抗。