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公开(公告)号：CN114955974A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210345635.X
申请日：2022-04-02
Applicant: 西安电子科技大学杭州研究院
Abstract: 本申请提供一种基于铁电辅助的微机电器件，包括：位于基底绝缘层上且共面的底栅、两对源/漏极和多个支撑电极；顶栅，所述顶栅由多个支撑柱支撑于所述多个支撑电极上方，所述支撑柱接触所述支撑电极的一侧为预设厚度的铁电材料，铁电材料的预设厚度可调；两个金属沟道，所述金属沟道通过绝缘层连接在所述顶栅的下方，一个金属沟道与一对源/漏极对应，且两者之间具有接触间隙；当所述微机电器件处于导通状态时，每个金属沟道与其对应的源/漏极接触。相较于现有技术，本申请利用铁电材料的非易失偏置特性形成的偏置电压替代了在顶栅上施加的工作电压，使底栅工作电压仅需在极低电压范围内变化，实现微机电器件低功耗和低工作电压的性能。
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