公开(公告)号：CN215940476U

公开(公告)日：2022-03-04

申请号：CN202122342780.6

申请日：2021-09-27

Applicant: 西安派瑞功率半导体变流技术股份有限公司

Inventor： 马宁强 ,  王双谋 ,  陈涛 ,  何舜晗

IPC: B05C11/06 ,  B05C11/10 ,  G03F7/16 ,  B05C13/02

Abstract: 本实用新型涉及一种光刻工艺匀胶机匀胶腔结构，主要包括包括匀胶腔外腔体结构、匀胶头机构、支架机构，本实用新型背胶保护罩一方面起到机械防护的作用，另一方面通过注入氮气，在背胶保护罩与芯片之间形成微正压环境，氮气气流从背胶保护罩下面进入，从背胶保护罩与芯片之间的缝隙排出，对胶丝起到吹扫作用，做到了双重防护功能。配合匀胶头机构的取片和匀胶两个工作状态，通过芯片背面的保护罩机械保护和氮气保护双重保护功能，实现了芯片在匀光刻胶的过程中背胶保护功能，彻底解决了背胶玷污问题，摆脱了工艺返工，节约人工和材料，提高了工艺质量，本实用新型既可以实现涂甩光刻胶的基本功能，同时又能实现背胶防溅保护功能，达到工艺目的。

公开(公告)号：CN208389730U

公开(公告)日：2019-01-18

申请号：CN201820546148.9

申请日：2018-04-17

Applicant: 西安派瑞功率半导体变流技术股份有限公司

Inventor： 马宁强 ,  陈涛

IPC: B01D53/18

Abstract: 本实用新型是一种鼓泡式酸碱废气处理器，包括玻璃钢箱体、防腐引风机、钢制机架、多支管交换器、PVC风管，玻璃钢处理箱与风机组合在一起，利用鼓泡工作方式，采取溶液吸收原理，废气从入口吸入，经过多管路多孔交换器使废气从吸收液中通过，在充分的物理吸收和化学吸收双重作用下将污染物吸收在溶液中，净化过的气体经风机从排风管达标排出。本实用新型安装灵活，可独立控制运行，已应用在半导体工艺线腐蚀清洗工艺设备的废气处理系统中，经检测各项排放数据，达到优于90％的处理能力，是解决排放不稳定、间歇工作、种类多等复杂排放工况下的酸碱废气高效治理设施。