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公开(公告)号:CN115020288A
公开(公告)日:2022-09-06
申请号:CN202210611663.1
申请日:2022-05-31
Applicant: 西安微电子技术研究所
IPC: H01L21/67 , H01L21/603
Abstract: 本发明涉及混合集成电路表贴器件组装技术领域,适用于混合集成电路功率芯片烧结工艺,公开了一种芯片烧结模具结构及芯片固定方法,在芯片烧结模具板上设置若干芯片烧结模具,可同时实现若干个芯片在芯片烧结模具内的固定烧结工作,提高了工作效率,芯片组件包括在芯片烧结模具内的钼片和芯片,钼片和芯片之间设有焊料;增加了芯片的固定作用。该芯片烧结模具结构简单,替代传统采用夹具进行固定的方法,解决芯片表面烧结时的芯片损伤和生产效率低的问题,提升芯片烧结的生产效率和成品率。