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公开(公告)号：CN115265848B
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202210907400.5
申请日：2022-07-29
Applicant: 西安交通大学 , 中国航发控制系统研究所
IPC: G01L1/14
Abstract: 本发明公开了一种基于静电激励电容检测的硅谐振压力传感器，包括依次设置的玻璃层，谐振器层以及敏感膜层，敏感膜层包括压力敏感膜和固定在压力敏感膜层上的两个硅岛；所述谐振器层包括分别与两个硅岛连接的两个可动锚点；每个可动锚点一端两侧分别与两个谐振梁第一端连接，位于同一侧的谐振梁第二端与同一个质量块连接，两个质量块通过耦合梁连接；所述耦合梁包括四根一端连接至连接点的单梁；谐振梁外侧设置有激励结构，激励结构外设置有检测结构。本发明的耦合梁为四点接触式耦合梁，在满足对两质量块耦合并为谐振器提供刚度增大模态频率间隔的同时，也能够有效减少加速度冲击对耦合梁结构的影响，从而保证传感器工作的稳定性。
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公开(公告)号：CN119059489A
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202411202983.7
申请日：2024-08-29
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种全碳化硅加速度压力复合传感器芯片及其制备方法，属于MEMS传感器技术领域。传感器芯片主要包括垂直集成的加速度传感器芯片、压力传感器芯片，以及图形化的顶板、隔板及底板。加速度传感器芯片包括八梁‑五质量块结构，受到外部冲击后，中心质量块和外围质量块均会发生变形，中心质量块引起第一支撑梁变形，同时外围质量块引起第二支撑梁的变形作用也叠加在第一支撑梁上；压力传感器芯片包括弧形十字梁‑四圆膜结构，感受外部压力后，相邻的两个圆形的压力敏感膜片同时变形，设置在相邻敏感膜片中间梁上的压阻条获得更大的阻值变化。实现了高温环境下加速度和压力的测量，具有耐高温、灵敏度高、量程大、稳定性好等优点。
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公开(公告)号：CN117804544A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202410049347.9
申请日：2024-01-12
IPC: G01D21/02
Abstract: 本发明公开了一种柔性应变‑应力双参量传感器及其制备方法，制备方法包括以下步骤：首先在聚四氟乙烯模具内通过浇铸制备聚乙烯醇牺牲层，随后在其上浇铸CNT/GNP敏感层；配置不同比例PDMS预聚物与固化剂混合溶液，通过浇铸的方式先后制备第二应力过渡层、第一应力过渡层和基底层；通过热水浸泡的方式去除牺牲层后，将电极和导线组装到敏感层上，获得柔性应变‑应力双参量传感器，所制备的传感器可单独作为应变或应力传感器使用，也可以同时检测应变和应力信息。
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公开(公告)号：CN112822077B
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202110201231.9
申请日：2021-02-23
Applicant: 西安交通大学 , 中国电子科技集团公司第五十四研究所
IPC: H04L43/04 , H04L43/0876 , H04L69/04
Abstract: 本发明公开了一种数据中心网络中全网流量测量方法、系统及丢包检测方法，所述系统包括用于支持捕获所有流经该交换机的流量的采集器，采集器包括数据包解析模块、缓存器模块和计数表模块；数据包解析模块，用于解析收到的数据包的五元组信息和数据包大小信息；缓存器模块，用于建立并维护缓存空间以缓存流量信息，并维护缓存空间中的流量信息；缓存器模块更新流量信息的方式为递增操作；计数表模块，用于建立并维护计数表以存储流量信息，同时维护计数表中的流量信息；当缓存器模块缓存空间无空余时，缓存空间中的流量信息经压缩后，更新或添加至计数表对应位置中。本发明可保证流量信息的实时性、准确性和全面性，支持多样化的网络测量需求。
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公开(公告)号：CN114252838A
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202111595372.X
申请日：2021-12-23
Applicant: 西安交通大学 , 渭南高新区木王科技有限公司
IPC: G01R35/02
Abstract: 本发明公开了一种MEMS垂直探针综合测试平台及测试方法，测试平台主要由探针位移台及其驱动装置、测力传感器及模拟焊盘装配板、多路开关电源模块、测力传感器信号采集模块及测试平台整体支承架五个部分构成。该测试平台及方法可实现对探针载流能力、疲劳寿命、工作超程下接触力大小、能否与焊盘进行有效电接触四项性能测试，并可实现对多根探针同时测试。所诉测试平台及测试方法具有成本低、操作简单、测试结果可靠性高的特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114043957A
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN202111436738.9
申请日：2021-11-29
Applicant: 西安交通大学
IPC: B60R21/0136
Abstract: 本发明公开了一种基于PZT薄膜的传感装置、制备方法和汽车安全气囊系统，所述传感装置包括底座、柔性压电薄膜传感器和惯性球悬臂梁，所述柔性压电薄膜传感器下端固定在底座上；所述惯性球悬臂梁设置在柔性压电薄膜传感器内侧本传感器仅仅用来检测汽车在撞击时候来自于各个方向的加速度的大小，由处理器判断是否达到起爆阈值，以及何时起爆安全气囊。解决汽车遭受撞击时候由多个传感器分别检测各单一方向加速度的问题。
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公开(公告)号：CN112900080B
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN202110150382.6
申请日：2021-02-03
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种复合纳米纤维膜及柔性应变传感器的制备方法，一种复合纳米纤维膜的步骤为：先将高分子颗粒溶解于有机溶剂制备出纺丝溶液；将纺丝溶剂转移到注射器中，通过注射器将纺丝溶液挤出，调节静电纺丝相关参数使射流稳定从而在收集板上收集到纳米纤维膜；将银纳米线分散液稀释并水浴超声分散后，用真空辅助抽滤的方法在预拉伸的纳米纤维膜上沉积一层金属纳米线层；通过高温退火提高纳米线间和纳米线与弹性基底间的结合力。所制备的柔性应变传感器具有大传感范围，可用于弯曲、拉伸、扭转等变形的检测。
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公开(公告)号：CN112957030A
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN202110150393.4
申请日：2021-02-03
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种用于颈椎弯曲监测的可穿戴柔性应变智能传感系统，包括以下三个部分：能测量弯曲的柔性应变传感器，以STM32微控制器为核心的数据采集和传输集成电路，接收信号并显示输出的控制界面。柔性应变传感器编织成织物式或贴纸式紧贴颈椎部位皮肤，测得精确弯曲数据后输入到电路中，电路的测量模块接受信号并将其滤波、放大，信号经微控制器处理后，利用有线或无线传输技术输入到终端，终端界面上显示颈椎弯曲曲线，并保存历史记录以供用户参考。
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公开(公告)号：CN112900080A
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN202110150382.6
申请日：2021-02-03
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种复合纳米纤维膜及柔性应变传感器的制备方法，一种复合纳米纤维膜的步骤为：先将高分子颗粒溶解于有机溶剂制备出纺丝溶液；将纺丝溶剂转移到注射器中，通过注射器将纺丝溶液挤出，调节静电纺丝相关参数使射流稳定从而在收集板上收集到纳米纤维膜；将银纳米线分散液稀释并水浴超声分散后，用真空辅助抽滤的方法在预拉伸的纳米纤维膜上沉积一层金属纳米线层；通过高温退火提高纳米线间和纳米线与弹性基底间的结合力。所制备的柔性应变传感器具有大传感范围，可用于弯曲、拉伸、扭转等变形的检测。
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