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公开(公告)号：CN111137847B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN201911358492.0
申请日：2019-12-25
Applicant: 西安交通大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种屈曲微纳结构可调控的柔性功能氧化物薄膜制备方法，其主要步骤包括在SrTiO3单晶衬底上采用脉冲激光沉积生长外延、结晶性良好的Sr3Al2O6牺牲层；在牺牲层上沉积不同厚度的外延单晶氧化物薄膜；在氧化物表面贴合PDMS弹性体；在不同温度下用去离子水溶解SAO牺牲层；氧化物薄膜剥离脱落后，取出后用去离子水清洗，并用氮气吹干。本发明采用温和的水溶解SAO牺牲层的方法制备柔性功能氧化物薄膜，方法简单、无污染、易操作。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111362309B
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN202010113818.X
申请日：2020-02-24
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种利用可溶性支撑层转移钙钛矿氧化物薄膜的方法，包括以下步骤：步骤1，清洗基底，在薄膜与基底之间生长一层水溶性牺牲层；步骤2，使用AR3510T光刻胶作为薄膜剥离时的支撑层；步骤3，将涂覆了光刻胶的薄膜脱离光刻胶，将薄膜转移至其他基底；步骤4，使用丙酮将支撑层去除。本发明根据柔性器件材料研究过程中样品制备所遇到的问题进行了一系列改进，利用铝酸锶和钙钛矿型氧化物晶格常数比较匹配且溶于水的特性，方便剥离氧化物薄膜不至于损伤薄膜。
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公开(公告)号：CN116575127A
公开(公告)日：2023-08-11
申请号：CN202310541101.9
申请日：2023-05-12
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明提供一种转移大面积无裂纹自支撑氧化物单晶薄膜的方法，包括：S1，在单晶衬底上沉积牺牲层，在牺牲层上沉积氧化物单晶薄膜；S2，在氧化物单晶薄膜上沉积金属应力缓冲层；S3，在金属应力缓冲层上涂覆有机支撑层；S4，溶解牺牲层；S5，将牺牲层溶解后得到的氧化物单晶薄膜、金属应力缓冲层以及有机支撑层构成的异质结转移至任意衬底上；S6，溶解有机支撑层；S7，去除金属应力缓冲层。本发明通过引入应力缓冲层均匀释放薄膜内应力，保证转移薄膜的完整性。
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公开(公告)号：CN111362309A
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN202010113818.X
申请日：2020-02-24
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种利用可溶性支撑层转移钙钛矿氧化物薄膜的方法，包括以下步骤：步骤1，清洗基底，在薄膜与基底之间生长一层水溶性牺牲层；步骤2，使用AR3510T光刻胶作为薄膜剥离时的支撑层；步骤3，将涂覆了光刻胶的薄膜脱离光刻胶，将薄膜转移至其他基底；步骤4，使用丙酮将支撑层去除。本发明根据柔性器件材料研究过程中样品制备所遇到的问题进行了一系列改进，利用铝酸锶和钙钛矿型氧化物晶格常数比较匹配且溶于水的特性，方便剥离氧化物薄膜不至于损伤薄膜。
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公开(公告)号：CN116735669A
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202310536436.1
申请日：2023-05-12
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明提供一种柔性T型微电极阵列及其制备方法，包括柔性支撑层和多个T型电极；多个T型电极形成电极阵列；T型电极的纵向部分定义为T型电极下端，T型电极的横向部分定义为T型电极上端；柔性支撑层上开设有通孔，T型电极下端填充在通孔中，且T型电极下端端面与柔性支撑层表面平齐；T型电极上端位于柔性支撑层表面上。本发明可实现无破坏测试，跨尺度测试，适应复杂表面，接触材料可变，以满足上述测试要求。
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公开(公告)号：CN111137847A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201911358492.0
申请日：2019-12-25
Applicant: 西安交通大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种屈曲微纳结构可调控的柔性功能氧化物薄膜制备方法，其主要步骤包括在SrTiO3单晶衬底上采用脉冲激光沉积生长外延、结晶性良好的Sr3Al2O6牺牲层；在牺牲层上沉积不同厚度的外延单晶氧化物薄膜；在氧化物表面贴合PDMS弹性体；在不同温度下用去离子水溶解SAO牺牲层；氧化物薄膜剥离脱落后，取出后用去离子水清洗，并用氮气吹干。本发明采用温和的水溶解SAO牺牲层的方法制备柔性功能氧化物薄膜，方法简单、无污染、易操作。
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