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公开(公告)号：CN117135991A
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202311279231.6
申请日：2023-09-28
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种转角结合磁电单晶异质结的制备方法及磁电异质结，包括：在衬底上依次外延生长的单晶牺牲层和铁磁单晶层，得到单晶薄膜；将单晶薄膜粘合在长有电极的压电单晶基片上，测量外延衬底边沿与压电单晶基片边沿夹角，并扭转薄膜调整至所需角度；使用去离子水溶解单晶牺牲层以将外延衬底与目标薄膜分离，得到转角磁电异质结。本发明提供了一种转角磁电单晶异质结异质结构的制备工艺，可经由外延生长、薄膜转角结合与牺牲层溶解等步骤制备新型氧化物异质层状复合结构，以实现可编辑应力模式对目标薄膜磁性能的调控。
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公开(公告)号：CN116575127A
公开(公告)日：2023-08-11
申请号：CN202310541101.9
申请日：2023-05-12
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明提供一种转移大面积无裂纹自支撑氧化物单晶薄膜的方法，包括：S1，在单晶衬底上沉积牺牲层，在牺牲层上沉积氧化物单晶薄膜；S2，在氧化物单晶薄膜上沉积金属应力缓冲层；S3，在金属应力缓冲层上涂覆有机支撑层；S4，溶解牺牲层；S5，将牺牲层溶解后得到的氧化物单晶薄膜、金属应力缓冲层以及有机支撑层构成的异质结转移至任意衬底上；S6，溶解有机支撑层；S7，去除金属应力缓冲层。本发明通过引入应力缓冲层均匀释放薄膜内应力，保证转移薄膜的完整性。
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公开(公告)号：CN111362309A
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN202010113818.X
申请日：2020-02-24
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种利用可溶性支撑层转移钙钛矿氧化物薄膜的方法，包括以下步骤：步骤1，清洗基底，在薄膜与基底之间生长一层水溶性牺牲层；步骤2，使用AR3510T光刻胶作为薄膜剥离时的支撑层；步骤3，将涂覆了光刻胶的薄膜脱离光刻胶，将薄膜转移至其他基底；步骤4，使用丙酮将支撑层去除。本发明根据柔性器件材料研究过程中样品制备所遇到的问题进行了一系列改进，利用铝酸锶和钙钛矿型氧化物晶格常数比较匹配且溶于水的特性，方便剥离氧化物薄膜不至于损伤薄膜。
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公开(公告)号：CN117098446A
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202310552079.8
申请日：2023-05-16
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 制备超大尺寸低损耗功耗柔性微波器件的方法及系统，包括：步骤1，选用氟晶云母片作为基底；步骤2，将步骤1中固定了柔性基底的托盘传送至磁控溅射氧化物室中，进行了YIG材料的沉积，得到大尺度柔性YIG薄膜；步骤3，将大尺度柔性YIG薄膜转送至金属室，在表面沉积金属层，得到柔性金属氧体薄膜；步骤4，将得到的柔性金属氧体薄膜进行光刻，制备得到柔性微波霍尔器件，并进行二次光刻，生长测试电极。本发明提供的柔性YIG材料及制作方法解决了YIG材料的只能在硬质基底上生长的困境。使其具有优异微波特性，在传统调控方式外还可以使用应力调控。解决了制备高质量YIG薄膜的制备困难的问题。
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公开(公告)号：CN111137847B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN201911358492.0
申请日：2019-12-25
Applicant: 西安交通大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种屈曲微纳结构可调控的柔性功能氧化物薄膜制备方法，其主要步骤包括在SrTiO3单晶衬底上采用脉冲激光沉积生长外延、结晶性良好的Sr3Al2O6牺牲层；在牺牲层上沉积不同厚度的外延单晶氧化物薄膜；在氧化物表面贴合PDMS弹性体；在不同温度下用去离子水溶解SAO牺牲层；氧化物薄膜剥离脱落后，取出后用去离子水清洗，并用氮气吹干。本发明采用温和的水溶解SAO牺牲层的方法制备柔性功能氧化物薄膜，方法简单、无污染、易操作。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119681803A
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202411941115.0
申请日：2024-12-26
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种多层磨料砂轮及其制备方法，采用孔模板作为磨料间隔排布模板，在焊片上排布磨料制备得到单层毛坯工作层；在单层毛坯工作层上设置焊片，然后在焊片上排布造孔剂再次制备单层毛坯工作层，重复上述步骤制备得到多层超硬磨料砂轮毛坯通过磨料的规则排布使得砂轮工作层中的磨料分布呈规则化、有序化形式，在砂轮磨削加工过程中，磨料规则排布可以保证每个磨料具有足够的容屑空间，从而有效避免砂轮表面磨屑粘附；同时每个磨料受力较均匀，磨损也一致，从而提高砂轮的使用寿命。
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公开(公告)号：CN111362309B
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN202010113818.X
申请日：2020-02-24
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种利用可溶性支撑层转移钙钛矿氧化物薄膜的方法，包括以下步骤：步骤1，清洗基底，在薄膜与基底之间生长一层水溶性牺牲层；步骤2，使用AR3510T光刻胶作为薄膜剥离时的支撑层；步骤3，将涂覆了光刻胶的薄膜脱离光刻胶，将薄膜转移至其他基底；步骤4，使用丙酮将支撑层去除。本发明根据柔性器件材料研究过程中样品制备所遇到的问题进行了一系列改进，利用铝酸锶和钙钛矿型氧化物晶格常数比较匹配且溶于水的特性，方便剥离氧化物薄膜不至于损伤薄膜。
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公开(公告)号：CN116471917A
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202310536437.6
申请日：2023-05-12
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明一种长条形薄膜的可控自组装方法及器件，包括：在衬底上沉积一层牺牲层；在牺牲层上沉积薄膜层；对薄膜层进行刻蚀，形成长条形自组装图案；长条形自组装图案包括长条形薄膜以及对称连接在长条形薄膜两个长边上的多个锚点；长条形薄膜的短边长度为W0，长条形薄膜的至少一个短边距离与其最近的锚点之间的距离为L1，L1≤W0；对牺牲层进行湿法刻蚀，随着湿法刻蚀的进行，长条形薄膜从至少一个短边开始沿着长边的方向卷曲，卷曲过程中，锚点与长条形薄膜的连接处依次断裂。本发明通过构建锚点，从衬底上逐段释放薄膜，控制薄膜卷曲方向，得到微管结构的器件。
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公开(公告)号：CN109880137A
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201910156240.3
申请日：2019-03-01
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种用于柔性磁电器件基底的生物相容丝素膜的制备方法，包括以下步骤：步骤1，使用天然蚕丝作为原材料得到纯净的丝素蛋白水溶液，作为基底制作材料；步骤2，清洁刚性基板；步骤3，洁净的刚性基板上涂覆丝素蛋白水溶液；步骤4，将溶液涂覆完成的刚性基板进行自然风干、对流风干或烘干；步骤5，将水分完全蒸发之后的丝素膜从刚性基板表面剥离，形成独立支撑的生物相容柔性丝素膜；本发明所述的方法，使用天然蚕丝作为柔性磁电器件基底的制备原材料，制备过程简单快速，成功率高，能够提供一种具备较大应用价值的健康监测柔性磁电器件的基底。
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公开(公告)号：CN118754065A
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202411033841.2
申请日：2024-07-30
Applicant: 西安交通大学
IPC: C01B21/072
Abstract: 一种制备公斤级氮化铝纳米片的方法及氮化铝纳米片，包括以下步骤：研磨原粉和溶剂搅拌至形成均匀的悬浊混合物；利用压力将悬浊混合物打入砂磨腔体；利用砂磨腔体的剪切力减薄研磨原粉，对砂磨完成的浆料进行溶剂和粉体分离；将分离出的粉体干燥处理后研磨收集。该技术方案针对公斤级氮化铝纳米片的制备提出了一种创新且高效的物理方法，该方法能够实现公斤级别的氮化铝纳米片生产，满足了工业应用中对于大量、高质量纳米材料的需求。利用砂磨腔体的剪切力和介质球的高能碰撞，显著提高了研磨效率，使得制备过程更加快速和可控。
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