公开(公告)号：CN106352862A

公开(公告)日：2017-01-25

申请号：CN201610944688.8

申请日：2016-10-26

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 赵玉龙 ,  李波 ,  李村 ,  孙登强 ,  赵建华

IPC: G01C19/5621

Abstract: 一种数字式差动型微加速度计芯片，包括具有质量块-弹簧功能的硅基底和两根石英双端固定音叉，硅基底由质量块和支撑质量块的两根悬臂梁组成，质量块、悬臂梁组成质量块-弹簧系统指的是沿着微加速度计芯片敏感方向，悬臂梁具有弹性特性，悬臂梁沿着质量块的对角线方向；石英双端固定音叉沿着质量块的另外一条对角线方向，两个结构相同的石英双端固定音叉处于差动方式布置，本发明能够消除温度对传感器的影响，提高传感器的非线性度，具有响应速度快、精度高等优点。

公开(公告)号：CN106771358A

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201611079746.1

申请日：2016-11-30

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 赵玉龙 ,  李波 ,  李村 ,  孙登强 ,  赵建华 ,  蒋庄德

IPC: G01P15/097

CPC classification number: G01P15/097

Abstract: 一种微型差动式全石英谐振加速度计，包括外围的支撑框架,支撑框架与其内部的质量块通过敏感方向设置的柔性支撑弹簧连接，在质量块的敏感方向中轴线部位，开有一对完全贯通的空槽，石英振梁位于空槽内，石英振梁两端分别与支撑框架和质量块相连接，且左右对称，石英振梁上表面布有电极，电极位于质量块的敏感方向中轴线上，通电之后电极能够按照预定模态振动，通过质量块感应到加速度的输入，然后通过两个石英振梁的差动变化频率，由频率检测电路把加速度转换为电信号，完成对加速度的感应与测量，本发明具有数字信号输出、分辨率高和抗干扰性能优良等优点。

公开(公告)号：CN106443068B

公开(公告)日：2020-06-02

申请号：CN201610946670.1

申请日：2016-10-26

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 赵玉龙 ,  李波 ,  李村 ,  程荣俊 ,  赵建华

IPC: G01P15/097

Abstract: 一种扭转差动式石英谐振加速度传感器芯片，包括外围的硅基支撑框架,硅基支撑框架与质量块通过支撑转轴连接，质量块与支撑外框架之间有运动间隙，在质量块上靠近中轴线部位，开有一对完全贯通的空槽，一对双端石英音叉的谐振梁分别放置于对称的空槽内，双端石英音叉一端固定在硅基支撑框架上，另一端固定在质量块上，当加速度作用于质量块时，质量块在支撑转轴支撑下会产生一定的扭转，石英音叉发生形变，该形变导致石英音叉的谐振频率发生变化，这一变化通过频率检测电路转化为频率信号输出，从而实现传感器芯片的加速度‑频率信号转换，完成对加速度的数字化测量，本发明具有体积小，重量小，数字信号输出、分辨率高和抗干扰性能优良等优点。

公开(公告)号：CN106352862B

公开(公告)日：2019-04-09

申请号：CN201610944688.8

申请日：2016-10-26

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 赵玉龙 ,  李波 ,  李村 ,  孙登强 ,  赵建华

IPC: G01C19/5621

Abstract: 一种数字式差动型微加速度计芯片，包括具有质量块‑弹簧功能的硅基底和两根石英双端固定音叉，硅基底由质量块和支撑质量块的两根悬臂梁组成，质量块、悬臂梁组成质量块‑弹簧系统指的是沿着微加速度计芯片敏感方向，悬臂梁具有弹性特性，悬臂梁沿着质量块的对角线方向；石英双端固定音叉沿着质量块的另外一条对角线方向，两个结构相同的石英双端固定音叉处于差动方式布置，本发明能够消除温度对传感器的影响，提高传感器的非线性度，具有响应速度快、精度高等优点。

公开(公告)号：CN106771359A

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201611080437.6

申请日：2016-11-30

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 赵玉龙 ,  李波 ,  李村 ,  韩超 ,  赵建华 ,  蒋庄德

IPC: G01P15/097 ,  G01P15/09

CPC classification number: G01P15/097 ,  G01P15/09

Abstract: 一种石英一体式谐振加速度计，包括外围的支撑框架,支撑框架通过柔性铰链与两个柔性杠杆放大机构的一端相连，两个柔性杠杆放大机构的另一端通过柔性铰链和质量块连接，两个柔性杠杆放大机构位于加速度计的敏感方向SA上，两个柔性杠杆放大机构分别和两个石英振梁的一端连接，两个石英振梁的另一端和支撑框架连接，石英振梁上表面布有电极，石英振梁分别位于空槽内，石英一体式谐振加速度计成中心对称，质量块感应到加速度，通过柔性杠杆放大机构将由加速度引起的力放大，施加到石英振梁上，两个石英振梁上的频率相减求得差动频率，检测差动的频率变化值就能够得到加速度的大小，本发明具有数字信号输出、分辨率高和抗干扰性能优良等优点。

公开(公告)号：CN106443068A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201610946670.1

申请日：2016-10-26

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 赵玉龙 ,  李波 ,  李村 ,  程荣俊 ,  赵建华

IPC: G01P15/097

Abstract: 一种扭转差动式石英谐振加速度传感器芯片，包括外围的硅基支撑框架,硅基支撑框架与质量块通过支撑转轴连接，质量块与支撑外框架之间有运动间隙，在质量块上靠近中轴线部位，开有一对完全贯通的空槽，一对双端石英音叉的谐振梁分别放置于对称的空槽内，双端石英音叉一端固定在硅基支撑框架上，另一端固定在质量块上，当加速度作用于质量块时，质量块在支撑转轴支撑下会产生一定的扭转，石英音叉发生形变，该形变导致石英音叉的谐振频率发生变化，这一变化通过频率检测电路转化为频率信号输出，从而实现传感器芯片的加速度-频率信号转换，完成对加速度的数字化测量，本发明具有体积小，重量小，数字信号输出、分辨率高和抗干扰性能优良等优点。