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公开(公告)号:CN119959344A
公开(公告)日:2025-05-09
申请号:CN202510435835.8
申请日:2025-04-09
Applicant: 西安航天动力试验技术研究所 , 西安交通大学
IPC: G01N29/02 , G01N29/024
Abstract: 本发明提供了一种液体推进剂管道夹气状态判定方法及装置,属于液体火箭发动机试验技术领域,其方法包括如下步骤:依次激励多个在待测管道外壁沿周向间隔固定设置的超声换能器,多个超声换能器发射超声波;根据多个超声换能器发射的超声波的反射波判定待测管道内的夹气状态,具体为:若最上端的超声换能器发射的超声波及最下端的超声换能器发射的超声波均存在反射波,则计算反射波传播的一半声程,若一半声程不等于待测管道的内径,则待测管道中的液体中存在气泡,即为夹气状态。本发明能够准确检测腐蚀性推进剂不透明管道内的夹气状态。
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公开(公告)号:CN119114405A
公开(公告)日:2024-12-13
申请号:CN202411478222.4
申请日:2024-10-22
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明属于材料以及电子器件制造领域,公开了一种基于3D打印的电容式微机械超声换能器及其制备方法,CMUTs包括自上而下依次连接的上电极、上绝缘层、振动膜、支柱层、硅基底和下电极,支柱层的振动膜、下绝缘层和支柱之间形成有空腔;方法包括:利用纳米二氧化硅复合材料,采用光固化3D打印方法,在表面进行了功能化的硅基底正面打印支柱层阵列;然后进行固化、热处理,得到第二器件;再键合振动膜;再在振动膜的正面打印上绝缘层;将再进行固化、热处理;再打印上电极;再通过湿法刻蚀工艺去除硅基底背面的二氧化;再在硅基底背面打印下电极;再去除光刻胶即可。本发明减少了所需设备和材料消耗,降低了生产成本。
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公开(公告)号:CN117900111A
公开(公告)日:2024-04-19
申请号:CN202410262773.0
申请日:2024-03-07
Applicant: 西安交通大学
Inventor: 李支康 , 雒瑞炎 , 袁佳炜 , 秦和烽 , 谭鸿强 , 赵一鹤 , 袁铮 , 王小章 , 赵立波 , 赵子龙 , 马琦 , 张世旺 , 李嘉柱 , 李梓璇 , 李杰 , 秦韶辉 , 石璇 , 王彤
IPC: B06B1/06
Abstract: 本发明公开了一种压电式柔性MEMS超声换能器及制备工艺,其工艺步骤均采用标准的MEMS工艺进行制造。换能器的外包裹为柔性材料,电极材料均为柔性材料。本发明利用其制造按照MEMS工艺来保证制造中的高效率、大批量生产;利用柔性材料的包裹保证器件整体的柔性;利用柔性电极及蛇形电路保证其具有弯曲、扭转、拉伸等柔性功能;利用具体的制造标准保证制造中的高一致性。
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