公开(公告)号：CN117900111A

公开(公告)日：2024-04-19

申请号：CN202410262773.0

申请日：2024-03-07

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 李支康 ,  雒瑞炎 ,  袁佳炜 ,  秦和烽 ,  谭鸿强 ,  赵一鹤 ,  袁铮 ,  王小章 ,  赵立波 ,  赵子龙 ,  马琦 ,  张世旺 ,  李嘉柱 ,  李梓璇 ,  李杰 ,  秦韶辉 ,  石璇 ,  王彤

IPC: B06B1/06

Abstract: 本发明公开了一种压电式柔性MEMS超声换能器及制备工艺，其工艺步骤均采用标准的MEMS工艺进行制造。换能器的外包裹为柔性材料，电极材料均为柔性材料。本发明利用其制造按照MEMS工艺来保证制造中的高效率、大批量生产；利用柔性材料的包裹保证器件整体的柔性；利用柔性电极及蛇形电路保证其具有弯曲、扭转、拉伸等柔性功能；利用具体的制造标准保证制造中的高一致性。

公开(公告)号：CN116493234A

公开(公告)日：2023-07-28

申请号：CN202310467430.3

申请日：2023-04-26

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 赵立波 ,  马琦 ,  李支康 ,  李梓璇 ,  秦韶辉 ,  石璇 ,  袁佳炜 ,  赵一鹤 ,  袁铮 ,  罗国希 ,  杨萍 ,  王永录 ,  王久洪 ,  蒋庄德

IPC: B06B1/06 ,  G01S15/58

Abstract: 本发明公开了一种基于KNN和应力释放凹槽的TFT‑PMUTs及其制备方法和应用，该TFT‑PMUTs包括压电式微机械超声换能器和薄膜晶体管，压电式微机械超声换能器中每个单元的底电极的轴心设有单元中心支柱，每个压电式微机械超声换能器阵元的中心设置阵元中心支柱；KNN压电层在压电式微机械超声换能器阵元的中心位置空白区域设置阵元中心支柱；结构层上设有应力释放凹槽；阵元中心支柱和单元中心支柱与薄膜晶体管的电压开关一一正对连接，每个阵元中心支柱处的顶电极、以及每个单元中心支柱对应的底电极与薄膜晶体管上和他们位置相对的电压开关电连接；单元边界支柱与薄膜晶体管表面键合连接。本发明传感器能够进行触觉感知和轨迹检测，且灵敏度较高，可进行批量化制造。

公开(公告)号：CN116493234B

公开(公告)日：2025-04-15

申请号：CN202310467430.3

申请日：2023-04-26

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 赵立波 ,  马琦 ,  李支康 ,  李梓璇 ,  秦韶辉 ,  石璇 ,  袁佳炜 ,  赵一鹤 ,  袁铮 ,  罗国希 ,  杨萍 ,  王永录 ,  王久洪 ,  蒋庄德

IPC: B06B1/06 ,  G01S15/58

Abstract: 本发明公开了一种基于KNN和应力释放凹槽的TFT‑PMUTs、制备方法、应用和超声触觉感知检测设备，该TFT‑PMUTs包括压电式微机械超声换能器和薄膜晶体管，压电式微机械超声换能器中每个单元的底电极的轴心设有单元中心支柱，每个压电式微机械超声换能器阵元的中心设置阵元中心支柱；KNN压电层在压电式微机械超声换能器阵元的中心位置空白区域设置阵元中心支柱；结构层上设有应力释放凹槽；阵元中心支柱和单元中心支柱与薄膜晶体管的电压开关一一正对连接，每个阵元中心支柱处的顶电极、以及每个单元中心支柱对应的底电极与薄膜晶体管上和他们位置相对的电压开关电连接；单元边界支柱与薄膜晶体管表面键合连接。本发明传感器能够进行触觉感知和轨迹检测，且灵敏度较高，可进行批量化制造。

公开(公告)号：CN118204255A

公开(公告)日：2024-06-18

申请号：CN202410549687.8

申请日：2024-05-06

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 李支康 ,  石璇 ,  秦韶辉 ,  李嘉柱 ,  袁佳炜 ,  李梓璇 ,  袁铮 ,  马琦 ,  赵子龙 ,  张世旺 ,  赵一鹤 ,  赵立波

IPC: B06B1/06

Abstract: 本发明公开了一种借助声学超材料实现声波聚焦引导及边缘止振功能的MEMS超声换能器阵列及其制备方法，包括MEMS超声换能器阵列以及设置于MEMS超声换能器阵列表面的止振材料层和声聚焦引导材料层，所述MEMS超声换能器阵列包括多个MEMS超声换能器单元，所述止振材料层设置于MEMS超声换能器单元间的公共支柱区域的上方，止振材料层上与MEMS超声换能器单元相对的位置设为空白区域，该空白区域作为透声孔，声聚焦引导材料层设置于MEMS超声换能器单元上方。本发明通过对MEMS超声换能器阵列上表面结构层进行优化，在实现MEMS超声换能器晶圆级封装的同时，能够有效提高硅MEMS超声换能器阵列的声学性能。

公开(公告)号：CN107639620A

公开(公告)日：2018-01-30

申请号：CN201710910785.X

申请日：2017-09-29

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 郭文静 ,  段楠 ,  李述胜 ,  袁铮 ,  徐志瑞 ,  赵宁馨儿 ,  郭艳婕 ,  尹昱东

IPC: B25J3/00 ,  B25J9/16

Abstract: 本发明公开了一种机器人的控制方法、体感交互装置以及机器人，控制方法包括：体感交互装置采集目标人体肢体关节的转动角度，对采集到的角度信息进行计算，对目标人体的姿态或动作进行分析识别；根据获取到的分析识别结果产生对应的体感交互指令；将体感交互指令发送至机器人，机器人执行体感交互指令；同时机器人采集自己周围环境信息，例如指尖压力信息和周身图像信息，通过体感交互装置反馈给目标人体。通过上述方式不仅突破了传统的对机器人的控制方式，而且通过触觉反馈的方式还有3D图像的显示，在大程度的让使用者得到沉浸式的操作体验。随之而得到的不仅仅是方便的操作和大大降低的操作失误率，同时也给用户带来了更为生动的操作体验。