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公开(公告)号：CN109883408B
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN201910270143.7
申请日：2019-04-04
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种基于互电容原理的MEMS液体陀螺仪，包括上基板、中间基板以及下基板，中间基板与上基板通过UV胶黏剂进行封装，中间基板通过MEMS工艺与下基板封装；下基板的上表面中部设有环形电容，环形电容的外圈设有阵列柱状疏水结构，阵列柱状疏水结构的外圈设有环形阵列电容，环形阵列电容和环形电容与金属引线板相连；中间基板上设有贯通的环形沟槽通道，环形沟槽通道位于阵列柱状疏水结构上方，环形沟槽通道内设有水银液滴；通过水银液滴在环形沟槽通道内滚动，使环形阵列电容上的电容和环形电容之间的互电容发生改变，从而输出角度等信号，本发明提高了信号的准确性，结合MEMS工艺，使得传感器具有体积小、质量轻、成本低等优点。
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公开(公告)号：CN113184802B
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202110554036.4
申请日：2021-05-20
Applicant: 西安交通大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种阶梯状环形超疏水槽的制备方法，先通过清洗、匀胶、光刻、刻蚀在单晶硅片表面刻蚀出底部环形沟槽；然后通过重复匀胶、光刻在单晶硅片表面形成宽度大的上部光刻胶环形沟槽，上部光刻胶环形沟槽和底部环形沟槽形成阶梯状环形沟槽；最后通过去胶使上部光刻胶环形沟槽内壁形成粗糙的超疏水表面，得到阶梯状环形超疏水槽；可制备具有较为复杂的阶梯状环形超疏水槽，且水银液滴在阶梯状环形超疏水槽内部具有较大的接触角和较小的滚动角。
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公开(公告)号：CN111016434B
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN201911354660.9
申请日：2019-12-25
Applicant: 西安交通大学
IPC: B41J2/14
Abstract: 一种基于挤压模式的薄膜式喷墨打印头，包括上半腔室、中间薄膜以及下半腔室，中间薄膜的上下表面采用热键合的方式和上半腔室、下半腔室连接；所述的上半腔室设有上半槽以及和上半槽一端贯通的墨水入口；中间薄膜上设有墨水出口，墨水出口位于上半槽另一端，下半腔室设有下半槽以及和下半槽连接的喷头，喷头和墨水出口分别位于下半槽的两端；当墨水入口中通入一定压强的墨水时，墨水在上半腔室内从墨水入口经上半槽流入相反位置的墨水出口，产生的压强导致中间薄膜发生变形，对下半腔室内下半槽的墨水进行挤压，从而使得墨水从喷头中喷出；本发明结构简单，能够达到微型化、阵列化，并且大幅度降低了成本。
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公开(公告)号：CN111016433B
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN201911354651.X
申请日：2019-12-25
Applicant: 西安交通大学
IPC: B41J2/14
Abstract: 一种多墨水喷射及混合的MEMS压电式喷墨打印头，包括下底板和上盖板，下底板和上盖板连接后形成的双层结构设有第一腔室、第二腔室以及混合腔室，混合腔室通过微流道与第一腔室、第二腔室连通，第一腔室的结构与第二腔室相同；两个腔室的压力腔上方的振动隔板上表面贴附有PZT压电材料，混合腔室的上半混合腔上方的振动隔板上表面贴附有PZT压电材料；不同墨水可以分别从第一腔室，以及第二腔室注入到喷头内部，当喷墨要求为单墨水喷墨时，选择其中一个腔室进行工作，当喷墨要求为多墨水混合时，两个腔室进行工作；喷墨打印喷头也可达到不同墨水延时交替喷墨的效果；喷墨打印喷头结合了MEMS加工方法，能够达到微型化，阵列化并且大幅度降低了成本。
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公开(公告)号：CN110045151A
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201910304166.5
申请日：2019-04-16
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01P15/12
Abstract: 一种十字变形梁结构的高g值加速度计芯片及其制备方法，芯片包括硅基底，硅基底下方设有玻璃衬底，硅基底上面中心设有十字变形梁，十字变形梁和硅基底之间设有梁释放孔，十字变形梁的四条固支端宽度小于其中间部分宽度，十字变形梁的两条相对固支端上分别设置有两条压敏电阻，四条压敏电阻的两端布置有重掺杂的欧姆接触区，欧姆接触区通过金属引线和金属焊盘连接，四条压敏电阻连接构成惠斯通电桥输出信号；制备方法通过干法刻蚀工艺制备不同宽度的十字变形梁，同时背腔采用湿法腐蚀工艺可以制备不同厚度的十字变形梁；本发明将压阻式敏感方式和十字梁变形结构相结合，极大提高了传感器的量程、频响、灵敏度以及过载能力，其量程可达15万g。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113184802A
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN202110554036.4
申请日：2021-05-20
Applicant: 西安交通大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种阶梯状环形超疏水槽的制备方法，先通过清洗、匀胶、光刻、刻蚀在单晶硅片表面刻蚀出底部环形沟槽；然后通过重复匀胶、光刻在单晶硅片表面形成宽度大的上部光刻胶环形沟槽，上部光刻胶环形沟槽和底部环形沟槽形成阶梯状环形沟槽；最后通过去胶使上部光刻胶环形沟槽内壁形成粗糙的超疏水表面，得到阶梯状环形超疏水槽；可制备具有较为复杂的阶梯状环形超疏水槽，且水银液滴在阶梯状环形超疏水槽内部具有较大的接触角和较小的滚动角。
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公开(公告)号：CN107289919A
公开(公告)日：2017-10-24
申请号：CN201710404698.7
申请日：2017-06-01
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种环形电阻式MEMS液体角度陀螺仪，包括通过UV胶黏剂封装的上基板和下基板，上基板的下表面有环形的沟槽通道，沟槽通道的侧壁设有疏水层；下基板的上表面包括两条平行的环形电阻，环形电阻末端连接有金属引线板；环形沟槽内设有水银液滴；封装过程中，控制环形电阻处于上基板沟槽通道的内部且处于沟槽通道的中间位置，本发明通过水银液滴在不同倾角下的位置变化，来导通不同长度的环形电阻得到变化的电阻信号，实现对角度的连续测量。
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公开(公告)号：CN106840134A
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201611224143.6
申请日：2016-12-27
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种阵列电极式MEMS液体角度陀螺仪，包括通过真空键合工艺进行封装的下基板、中间基板和上基板，下基板中心有环形的第一疏水层，第一疏水层外环有环形金属电极；下基板上部的中间基板包括内圆盘和外圆盘，外圆盘的内壁和内圆盘的外壁有第二疏水层，内圆盘和外圆盘同心，内圆盘和外圆盘之间构成一个环形沟槽，环形沟槽设有水银液滴；中间基板上部的上基板中心有对应与下基板的第一疏水层位置的环形阵列电极，通过液滴在不同倾角下的位置变化而造成的阵列电极信号输出的变化，实现对角度变化的测量，具有体积小，结构简单，功耗小，不受外界环境温度和冲击影响等特点，在惯性导航，姿态测试等航空航天，兵器系统等领域具有潜在的应用前景和价值。
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公开(公告)号：CN111016434A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201911354660.9
申请日：2019-12-25
Applicant: 西安交通大学
IPC: B41J2/14
Abstract: 一种基于挤压模式的薄膜式喷墨打印头，包括上半腔室、中间薄膜以及下半腔室，中间薄膜的上下表面采用热键合的方式和上半腔室、下半腔室连接；所述的上半腔室设有上半槽以及和上半槽一端贯通的墨水入口；中间薄膜上设有墨水出口，墨水出口位于上半槽另一端，下半腔室设有下半槽以及和下半槽连接的喷头，喷头和墨水出口分别位于下半槽的两端；当墨水入口中通入一定压强的墨水时，墨水在上半腔室内从墨水入口经上半槽流入相反位置的墨水出口，产生的压强导致中间薄膜发生变形，对下半腔室内下半槽的墨水进行挤压，从而使得墨水从喷头中喷出；本发明结构简单，能够达到微型化、阵列化，并且大幅度降低了成本。
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公开(公告)号：CN111016433A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201911354651.X
申请日：2019-12-25
Applicant: 西安交通大学
IPC: B41J2/14
Abstract: 一种多墨水喷射及混合的MEMS压电式喷墨打印头，包括下底板和上盖板，下底板和上盖板连接后形成的双层结构设有第一腔室、第二腔室以及混合腔室，混合腔室通过微流道与第一腔室、第二腔室连通，第一腔室的结构与第二腔室相同；两个腔室的压力腔上方的振动隔板上表面贴附有PZT压电材料，混合腔室的上半混合腔上方的振动隔板上表面贴附有PZT压电材料；不同墨水可以分别从第一腔室，以及第二腔室注入到喷头内部，当喷墨要求为单墨水喷墨时，选择其中一个腔室进行工作，当喷墨要求为多墨水混合时，两个腔室进行工作；喷墨打印喷头也可达到不同墨水延时交替喷墨的效果；喷墨打印喷头结合了MEMS加工方法，能够达到微型化，阵列化并且大幅度降低了成本。
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