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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112962075A
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN202110151100.4
申请日：2021-02-04
Applicant: 西南交通大学
Abstract: 本发明涉及高温超导材料技术领域，具体涉及一种三靶共溅射制备第二代高温超导带材的方法，采用磁控溅射进行制备前驱体预制膜，然后将前驱体预制膜进行氧化处理，得到第二代高温超导带材，在磁控溅射过程中，采用三个溅射枪同时朝向基底进行溅射，三个溅射枪处于同一平面，且溅射枪之间的连线构成正三角形，第一个溅射枪以钡作为靶材，第二溅射枪以铜作为靶材，第三个溅射枪以稀土元素作为靶材。本发明相较于现有技术，提高了靶材的利用率，降低了制备成本，提高了高温超导带材的制备效率；同时制备的前驱体预制膜元素比可控，提高了实验重复性，并且，该方法能够对稀土金属靶材进行掺杂其他金属元素，提升薄膜的钉扎效果，进而提升第二代高温超导带材在磁场下的应用。
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公开(公告)号：CN111188018A
公开(公告)日：2020-05-22
申请号：CN202010153656.2
申请日：2020-03-06
Applicant: 西南交通大学
Abstract: 本发明涉及磁控溅射技术领域，具体涉及一种第二代高温超导带材金属溅射靶材保护装置及基片薄膜制作方法，所述保护装置包括保护壳体、升降驱动装置和磁控溅射枪，保护壳体内设置有保护腔室，磁控溅射枪设置在保护腔室内，保护壳体的底部设置有闸板阀，所述闸板阀用于封闭保护腔室，所述升降驱动装置设置在保护壳体的顶部，所述磁控溅射枪通过伸缩杆与升降驱动装置连接。本发明通过保护腔室保护安装在磁控溅射枪上的靶材，让靶材处于保护腔室的真空保护状态，在更换基片或基带的过程中避免靶材氧化，减少换取基片样品过程中靶材氧化的相关影响，对促进易氧化靶材的连续制备研究，特别是第二代高温超导带材金属靶的高质量制备研究具有重要意义。
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公开(公告)号：CN112962076B
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202110153748.5
申请日：2021-02-04
Applicant: 西南交通大学
Abstract: 本发明涉及高温超导材料技术领域，具体涉及一种二代高温超导带材金属前驱膜的制备方法，采用磁控溅射方法制备金属前驱膜，在进行磁控溅射过程中，使用叠成靶作为溅射靶材，叠成靶包括自上而下依次叠加设置的钡靶层、稀土元素靶层和铜靶层。本发明采用的叠成靶由稀土元素(Re，可以是Y，Gd，Sm，Dy)、钡(Ba)和铜(Cu)三种不同金属、不同形状的靶材叠加而成，不需要对易氧化难加工的钡进行精加工，直接将靶材叠通过直流磁控溅射方式就能够制备得到用于制备二代高温超导带材的金属前驱膜，制备成本低，制备薄膜效率高，相比于其他方法制备YBCO薄膜具有更高的性价比，对促进二代高温超导带材的发展和研究具有重要意义。
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公开(公告)号：CN112962076A
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN202110153748.5
申请日：2021-02-04
Applicant: 西南交通大学
Abstract: 本发明涉及高温超导材料技术领域，具体涉及一种二代高温超导带材金属前驱膜的制备方法，采用磁控溅射方法制备金属前驱膜，在进行磁控溅射过程中，使用叠成靶作为溅射靶材，叠成靶包括自上而下依次叠加设置的钡靶层、稀土元素靶层和铜靶层。本发明采用的叠成靶由稀土元素(Re，可以是Y，Gd，Sm，Dy)、钡(Ba)和铜(Cu)三种不同金属、不同形状的靶材叠加而成，不需要对易氧化难加工的钡进行精加工，直接将靶材叠通过直流磁控溅射方式就能够制备得到用于制备二代高温超导带材的金属前驱膜，制备成本低，制备薄膜效率高，相比于其他方法制备YBCO薄膜具有更高的性价比，对促进二代高温超导带材的发展和研究具有重要意义。
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公开(公告)号：CN211595781U
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN202020275308.8
申请日：2020-03-06
Applicant: 西南交通大学
Abstract: 本实用新型涉及磁控溅射技术领域，具体涉及一种第二代高温超导带材金属溅射靶材保护装置，所述保护装置包括保护壳体、升降驱动装置和磁控溅射枪，保护壳体内设置有保护腔室，磁控溅射枪设置在保护腔室内，保护壳体的底部设置有闸板阀，所述闸板阀用于封闭保护腔室，所述升降驱动装置设置在保护壳体的顶部，所述磁控溅射枪通过伸缩杆与升降驱动装置连接。本实用新型通过保护腔室保护安装在磁控溅射枪上的靶材，让靶材处于保护腔室的真空保护状态，在更换基片或基带的过程中避免靶材氧化，减少换取基片样品过程中靶材氧化的相关影响，对促进易氧化靶材的连续制备研究，特别是第二代高温超导带材金属靶的高质量制备研究具有重要意义。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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