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发明公开
一种纳米棒支撑薄膜、制备方法及应用审中-实审

公开(公告)号：CN118996339A

公开(公告)日：2024-11-22

申请号：CN202411088911.4

申请日：2024-08-09

Applicant: 西南交通大学

Inventor： 欧凯 , 李昕蓉 , 夏钰东 , 倪宇翔 , 唐永亮 , 王红艳

IPC: C23C14/24 , C23C14/08 , B82Y40/00 , G01N27/12

Abstract: 本发明属于气体传感器领域，具体涉及一种纳米棒支撑薄膜、制备方法及应用，一种纳米棒支撑薄膜的制备方法，包括以下步骤：S1：采用掠射角沉积方法，以Fe2O3颗粒作为蒸发材料，在叉指电极上制备Fe2O3薄膜；S2：以Fe2O3颗粒作为蒸发材料，在S1得到的Fe2O3薄膜上制备得到Fe2O3纳米棒阵列，并放入马沸炉中退火处理；S3：以TiO2颗粒作为蒸发材料，在S2得到的Fe2O3纳米阵列上沉积TiO2纳米薄膜，得到Fe2O3支撑TiO2薄膜。本发明不但在结构上进行创新，而且在常温下对NH3表现出选择性和高灵敏度。

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