公开(公告)号：CN116180009B

公开(公告)日：2024-07-19

申请号：CN202310320843.9

申请日：2023-03-29

Applicant: 西南交通大学

Inventor： 甘功雯 ,  尹娅琴 ,  张庆 ,  邹高杰 ,  苟国庆

IPC: C23C14/08 ,  C23C14/35 ,  C23C14/58 ,  B33Y10/00 ,  B33Y70/00 ,  B33Y80/00 ,  B33Y40/20 ,  B29C64/135 ,  B29C64/379 ,  H01Q17/00 ,  H05K9/00

Abstract: 一种基于双光子3D打印的红外宽带吸波超材料及其制备方法，制备方法步骤如下：S1、通过双光子聚合3D打印技术制备具有类金字塔型凹槽的聚合物模板；S2、通过磁控溅射技术在步骤S1获得的具有类金字塔型凹槽的聚合物模板上覆盖TCOs材料，使得TCOs材料填满聚合物模板的凹槽形成TCOs材料谐振器，并继续磁控溅射形成TCOs材料基板；S3、通过酸洗技术去除聚合物模板，即完成红外宽带吸波超材料的制备。本发明解决了现有技术所制造的宽带多层超材料吸波结构加工困难及结构复杂问题，使用3D打印技术制备模板，一次成型TCOs吸波超材料，结合材料的选择和形状的优化设计，无需多层镀膜即可实现红外波段的宽带吸波，加工成本，制备效率、结构稳定性均优于现有技术。

公开(公告)号：CN116180009A

公开(公告)日：2023-05-30

申请号：CN202310320843.9

申请日：2023-03-29

Applicant: 西南交通大学

Inventor： 甘功雯 ,  尹娅琴 ,  张庆 ,  邹高杰 ,  苟国庆

IPC: C23C14/08 ,  C23C14/35 ,  C23C14/58 ,  B33Y10/00 ,  B33Y70/00 ,  B33Y80/00 ,  B33Y40/20 ,  B29C64/135 ,  B29C64/379 ,  H01Q17/00 ,  H05K9/00

Abstract: 一种基于双光子3D打印的红外宽带吸波超材料及其制备方法，制备方法步骤如下：S1、通过双光子聚合3D打印技术制备具有类金字塔型凹槽的聚合物模板；S2、通过磁控溅射技术在步骤S1获得的具有类金字塔型凹槽的聚合物模板上覆盖TCOs材料，使得TCOs材料填满聚合物模板的凹槽形成TCOs材料谐振器，并继续磁控溅射形成TCOs材料基板；S3、通过酸洗技术去除聚合物模板，即完成红外宽带吸波超材料的制备。本发明解决了现有技术所制造的宽带多层超材料吸波结构加工困难及结构复杂问题，使用3D打印技术制备模板，一次成型TCOs吸波超材料，结合材料的选择和形状的优化设计，无需多层镀膜即可实现红外波段的宽带吸波，加工成本，制备效率、结构稳定性均优于现有技术。