公开(公告)号：CN102822384A

公开(公告)日：2012-12-12

申请号：CN201180015756.8

申请日：2011-02-11

Applicant: 荷兰应用科学研究会(TNO)

Inventor： 阿德里安乌斯·约翰内斯·彼得鲁斯·玛丽亚·维尔默尔 ,  弗雷迪·罗泽博姆 ,  约普·范德伦

IPC: C23C16/54 ,  C23C16/455 ,  C23C16/458

CPC classification number: C23C16/45544 ,  C23C16/45551 ,  C23C16/45563 ,  C23C16/45589 ,  C23C16/458 ,  C23C16/52 ,  C23C16/545 ,  H01L21/67784

Abstract: 本发明提供了一种在衬底上沉积原子层的方法。该方法包括从可以是可旋转滚筒的一部分的沉积头的前体气体供应口供应前体气体。前体气体从前体气体供应口朝向衬底供应。该方法还包括通过旋转沉积头而沿着衬底移动前体气体供应口，衬底进而沿着可旋转滚筒移动。

公开(公告)号：CN102325644A

公开(公告)日：2012-01-18

申请号：CN200980157273.4

申请日：2009-12-18

Applicant: 荷兰应用科学研究会(TNO)

Inventor： 阿德里安乌斯·约翰内斯·彼得鲁斯·玛丽亚·维尔默尔 ,  赫曼·亨德里克斯·马尔德林克 ,  雅各布斯·许贝特斯·特奥多尔·贾马尔 ,  安德里斯·里杰费尔斯 ,  马克·赫曼·艾瑟·韦斯

IPC: B29C67/00

CPC classification number: B29C67/007 ,  B29C64/129

Abstract: 一种用于有形物体(5)的分层生产的系统及方法，本系统包括：构造成形件(6)，用于形成待与有形物体相接触的液体层；固化装置(9)，用于固化液体(3)的层(10)的预定区域，从而获得有形物体(5)的固体层(14)，固体层因此具有预定形状；分离装置(18；19’；19”)，用于将所述固体层与所述构造成形件分开；移动装置(18)，用于相对于彼此使构造成形件(6)相对于有形物体(5)移动至预定位置，以实现用于固化这种连续的液体层的预定区域的这种连续的方法循环；本系统布置成提供粘附于构造成形件的有限体积的液体，以形成没有接触有形物体的有限高度的液体层；其中，实现同时进行所述构造成形件的所述移动和所述预定区域的所述固化。

公开(公告)号：CN102325644B

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：CN200980157273.4

申请日：2009-12-18

Applicant: 荷兰应用科学研究会(TNO)

Inventor： 阿德里安乌斯·约翰内斯·彼得鲁斯·玛丽亚·维尔默尔 ,  赫曼·亨德里克斯·马尔德林克 ,  雅各布斯·许贝特斯·特奥多尔·贾马尔 ,  安德里斯·里杰费尔斯 ,  马克·赫曼·艾瑟·韦斯

IPC: B29C67/00

CPC classification number: B29C67/007 ,  B29C64/129

Abstract: 一种用于有形物体(5)的分层生产的系统及方法，本系统包括：构造成形件(6)，用于形成待与有形物体相接触的液体层；固化装置(9)，用于固化液体(3)的层(10)的预定区域，从而获得有形物体(5)的固体层(14)，固体层因此具有预定形状；分离装置(18；19’；19”)，用于将所述固体层与所述构造成形件分开；移动装置(18)，用于相对于彼此使构造成形件(6)相对于有形物体(5)移动至预定位置，以实现用于固化这种连续的液体层的预定区域的这种连续的方法循环；本系统布置成提供粘附于构造成形件的有限体积的液体，以形成没有接触有形物体的有限高度的液体层；其中，实现同时进行所述构造成形件的所述移动和所述预定区域的所述固化。

公开(公告)号：CN102822384B

公开(公告)日：2016-01-27

申请号：CN201180015756.8

申请日：2011-02-11

Applicant: 荷兰应用科学研究会(TNO)

Inventor： 阿德里安乌斯·约翰内斯·彼得鲁斯·玛丽亚·维尔默尔 ,  弗雷迪·罗泽博姆 ,  约普·范德伦

IPC: C23C16/54 ,  C23C16/455 ,  C23C16/458

CPC classification number: C23C16/45544 ,  C23C16/45551 ,  C23C16/45563 ,  C23C16/45589 ,  C23C16/458 ,  C23C16/52 ,  C23C16/545 ,  H01L21/67784

Abstract: 本发明提供了一种在衬底上沉积原子层的方法。该方法包括从可以是可旋转滚筒的一部分的沉积头的前体气体供应口供应前体气体。前体气体从前体气体供应口朝向衬底供应。该方法还包括通过旋转沉积头而沿着衬底移动前体气体供应口，衬底进而沿着可旋转滚筒移动。