磁感应器设备和方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115842010A

    公开(公告)日:2023-03-24

    申请号:CN202211002826.2

    申请日:2022-08-19

    Abstract: 显示了衬底中的传输路径和相关联的方法。示例传输路径包括:具有芯的半导体衬底、固定在芯上的电介质层、延伸穿过电介质层和芯中的至少一个的至少一个第一电传输路径。第一路径包括:设置在至少一个第一电传输路径的至少芯内的磁性材料、延伸穿过磁性材料的至少一个第二电传输路径、设置在至少第二电传输路径内的磁性材料的内圆周表面上的镍层、设置在第二电传输路径内的至少镍层上的铜层。电介质间隔体或镍层将铜层与磁性材料分离。至少一个第三路径延伸穿过电介质层和芯中的至少一个,至少一个第三路径与至少一个电传输路径分离。

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