一种用于电子级气体的节能提纯装置及节能提纯工艺

    公开(公告)号:CN113354508B

    公开(公告)日:2021-10-29

    申请号:CN202110916580.9

    申请日:2021-08-11

    Abstract: 本发明公开了一种用于电子级气体的节能提纯装置及工艺,所述装置包括:气液分离罐与压缩机相连,原料钢瓶与原料汽化器相连,原料汽化器与吸附塔相连,再连接缓冲罐到精馏进料冷凝器,精馏进料冷凝器与一级精馏塔相连,一、二级精馏塔相连,一级精馏塔底部设有一级再沸器,二级精馏塔底部设有二级再沸器,气液分离罐中装有制冷剂,制冷剂经压缩机增压后分别进入原料汽化器、一级、二级再沸器中进行换热,换热后制冷剂被汽化返回气液分离罐循环使用。本申请采用吸附和热泵精馏相结合的方式对电子级气体进行提纯,热泵精馏系统以同一介质作为加热制冷介质,可同时获得制冷与制热。

    一种9N电子级HF的提纯装置及提纯工艺

    公开(公告)号:CN113735063A

    公开(公告)日:2021-12-03

    申请号:CN202111127327.1

    申请日:2021-09-26

    Abstract: 本发明公开了一种9N电子级HF的提纯装置,以工业用HF作为原料,包括水吸收塔,第一精馏塔,第二精馏塔和脱轻塔。水吸收塔底部排出相互溶解的HF水溶液,第一精馏塔顶部通过增压泵与水吸收塔底部相连,第二精馏塔底部与第一精馏塔相连,第二精馏塔用于排出重组分;脱轻塔顶部与第二精馏塔相连,经脱除轻组分的气体从其底部排出,即为9N电子级HF。本申请利用第一精馏塔与第二精馏塔形成的精馏提纯系统,打破了HF与水的共沸而无法分离的特点,同时,相较于现有技术中引入第三方共沸剂来实现HF与水的分离,本申请不会引入新的杂质,从而可以获得超高纯的HF,最高可达9N。

    一种用于电子级气体的节能提纯装置及节能提纯工艺

    公开(公告)号:CN113354508A

    公开(公告)日:2021-09-07

    申请号:CN202110916580.9

    申请日:2021-08-11

    Abstract: 本发明公开了一种用于电子级气体的节能提纯装置及工艺,所述装置包括:气液分离罐与压缩机相连,原料钢瓶与原料汽化器相连,原料汽化器与吸附塔相连,再连接缓冲罐到精馏进料冷凝器,精馏进料冷凝器与一级精馏塔相连,一、二级精馏塔相连,一级精馏塔底部设有一级再沸器,二级精馏塔底部设有二级再沸器,气液分离罐中装有制冷剂,制冷剂经压缩机增压后分别进入原料汽化器、一级、二级再沸器中进行换热,换热后制冷剂被汽化返回气液分离罐循环使用。本申请采用吸附和热泵精馏相结合的方式对电子级气体进行提纯,热泵精馏系统以同一介质作为加热制冷介质,可同时获得制冷与制热。

    一种填料精馏制备超纯氨的方法

    公开(公告)号:CN112299445A

    公开(公告)日:2021-02-02

    申请号:CN202011309150.2

    申请日:2020-11-20

    Abstract: 本发明提供一种填料精馏制备超纯氨的方法,包括以下步骤:将原料氨去除固体颗粒之后,依次通入一级填料塔和二级填料塔进行精馏,得到7N级超纯氨;所述一级填料塔内和二级填料塔内均装载有复合填料;所述复合填料包括规整填料和填充在所述规整填料中的小尺寸φ环填料;所述规整填料由多块波纹金属板叠加组装得到;所述φ环填料的尺寸为2×2mm~4×4mm,所述规整填料与小尺寸φ环填料的体积比为(3~7):1。本发明能够有效降低精馏塔操作压力,比规整填料分离效率高,提纯过程不要经过吸附和催化过程,可以将水分脱除至10ppb以下,精馏操作压力较低利于氢、氧、氮、氩、一氧化碳的脱除,经过两级精馏即可得到7N级液氨。

    一种填料精馏制备超纯氨的方法

    公开(公告)号:CN112299445B

    公开(公告)日:2022-05-10

    申请号:CN202011309150.2

    申请日:2020-11-20

    Abstract: 本发明提供一种填料精馏制备超纯氨的方法,包括以下步骤:将原料氨去除固体颗粒之后,依次通入一级填料塔和二级填料塔进行精馏,得到7N级超纯氨;所述一级填料塔内和二级填料塔内均装载有复合填料;所述复合填料包括规整填料和填充在所述规整填料中的小尺寸φ环填料;所述规整填料由多块波纹金属板叠加组装得到;所述φ环填料的尺寸为2×2mm~4×4mm,所述规整填料与小尺寸φ环填料的体积比为(3~7):1。本发明能够有效降低精馏塔操作压力,比规整填料分离效率高,提纯过程不要经过吸附和催化过程,可以将水分脱除至10ppb以下,精馏操作压力较低利于氢、氧、氮、氩、一氧化碳的脱除,经过两级精馏即可得到7N级液氨。

    一种三氟化氯的提纯方法及提纯系统

    公开(公告)号:CN112390230A

    公开(公告)日:2021-02-23

    申请号:CN202011309109.5

    申请日:2020-11-20

    Abstract: 本发明提供了一种三氟化氯的提纯方法,包括:S1)将三氟化氯粗品增压汽化后通过吸附剂进行吸附处理,得到脱除氟化氢的三氟化氯气体;所述吸附剂为氟化盐;S2)将所述脱出氟化氢的三氟化氯气体冷凝,得到冷凝后的三氟化氯液体;S3)将所述冷凝后的三氟化氯液体进行两级精馏,得到高纯三氟化氯。与现有技术相比,本发明采用吸附冷凝与两级精馏相结合,三氟化氯粗品先经吸附脱除部分氟化氢,再经两级连续精馏,能够将氟化氢、氧气、氮气及金属离子脱除到很高的纯度,通过能够对于金属离子杂质脱除的控制进一步增加,能够连续进行,操作平稳,得到满足半导体行业使用的3N纯度三氟化氯产品。

    一种六氟-1,3-丁二烯气体的酸度分析方法

    公开(公告)号:CN113984949A

    公开(公告)日:2022-01-28

    申请号:CN202111305185.3

    申请日:2021-11-05

    Abstract: 本发明公开了一种六氟‑1,3‑丁二烯气体的酸度分析方法,以测定氟离子的浓度作为其酸度的分析依据,氟离子、氯离子、溴离子的浓度之和作为总酸度的分析依据,包括取卤离子标准溶液分别进行离子色谱分析,以卤离子的出峰峰面积为横坐标,浓度为纵坐标作图,得卤离子的标准曲线和标准曲线回归方程;将待分析的六氟‑1,3‑丁二烯气体进行离子色谱分析,得到各卤离子的峰面积,从而得到样品吸收液中氟离子的浓度。本发明采用离子色谱分析法,采用设置程序梯度淋洗法,无需加入有机溶剂,并将产品中的氟离子、氯离子和溴离子等分离分别出峰,从而计算各自的酸度值及总酸度值,来评价原产品体系中的杂质含量、有效酸度及总酸度,从而对生产工艺的优化提供指导依据。

    一种催化氧化法脱除工业级笑气中烃类的方法及装置

    公开(公告)号:CN113617181A

    公开(公告)日:2021-11-09

    申请号:CN202110949548.0

    申请日:2021-08-18

    Abstract: 本发明公开了一种催化氧化法脱除工业级笑气中烃类的装置,其特征在于,包括依次通过管道串联的气化系统、回热系统和脱烃系统,所述回热系统与所述冷却系统连接,所述脱烃系统与所述回热系统连接;其中,所述脱烃系统包括加热装置和脱烃装置,笑气经回热系统预热后,再经所述加热装置加热进入所述脱烃装置内,所述脱烃装置内设有催化剂;所述脱烃装置内反应后的笑气循环回流至所述回热系统中回收热量,最终经所述冷却系统冷却。本发明采用贵金属‑过渡金属氮化物催化剂复合使用,高温条件下将笑气中的烃类催化氧化脱除,同时抑制笑气的分解率,两种催化剂协同作用,互相促进,具有催化增效作用,从而将笑气中的烃类降低至0.01ppm以下。

    一种4N电子级乙炔提纯装置及提纯工艺

    公开(公告)号:CN113563151A

    公开(公告)日:2021-10-29

    申请号:CN202110965466.5

    申请日:2021-08-23

    Abstract: 本发明公开了一种本发明提供了一种4N电子级乙炔提纯装置及提纯工艺,提纯装置包括吸附塔、低压压缩机、吸收塔和解析塔,吸附塔下侧设有输入端,上侧设有输出端,低压压缩机连接吸附塔与吸收塔,吸收塔上方具有一可通入吸收溶剂的通入口,吸收塔顶部用于排出溶解度较小的轻组分杂质并将其排出,吸收塔底部为吸收乙炔及重组分杂质的吸收溶剂且其通过吸收塔釜泵进入解析塔中,解析塔,用于从进入其中的吸收溶剂中将乙炔解析出来。本申请根据乙炔与部分杂质的吸附特性不同采用吸附分离方法分离提纯乙炔,并根据乙炔中轻组分和重组分杂质组分与乙炔在溶剂中溶解度的不同采用吸收解析的方法进行分离提纯乙炔,可以得到4N电子级乙炔产品。

    一种电子级纯度乙炔的提纯系统

    公开(公告)号:CN214937122U

    公开(公告)日:2021-11-30

    申请号:CN202121623506.X

    申请日:2021-07-16

    Abstract: 本实用新型公开了一种电子级纯度乙炔的提纯系统,属于特种气体生产技术领域,包括依次相连的吸附塔、吸收塔、解析塔、高压干燥塔和气体充装装置,根据乙炔与部分杂质的吸附特性不同采用吸附分离方法分离提纯乙炔,通过吸附、吸收和解析过程,对乙炔进行提纯,采用该提纯系统进行乙炔提纯时,废液产生量少,不会对设备造成腐蚀,且吸收溶剂可循环利用。采用该提纯系统可得到4N电子级乙炔产品,经济效益高、设备投入成本低。

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