公开(公告)号：CN108802881B

公开(公告)日：2022-03-08

申请号：CN201810491052.1

申请日：2018-05-21

Applicant: 苏州大学

Inventor： 李朝明 ,  陈新荣 ,  李晓阳 ,  虞健 ,  程于水 ,  王锐 ,  吴建宏

IPC: G02B5/18

Abstract: 本发明公开了一种高衍射效率光栅结构，在一维光栅的栅齿和栅谷上分别进行微纳结构图形调控，获得多维层叠光栅结构。本发明提出在现有的光栅栅齿和栅谷制作微纳结构，形成多维层叠结构光栅，能够对入射到光栅上的光场振幅和相位进一步的调控，增加了光栅的衍射效率控制参数，利用电磁场理论优化设计微纳结构参数，可以进一步提高光栅的衍射效率。

公开(公告)号：CN109521655B

公开(公告)日：2020-10-09

申请号：CN201811581256.0

申请日：2018-12-24

Applicant: 苏州大学

Inventor： 邹文龙 ,  蔡志坚 ,  李朝明 ,  陈新荣 ,  吴建宏 ,  刘全

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明属于信息光学技术领域，涉及一种全息干涉光刻系统，为解决干涉条纹漂移全息光栅对比度下降问题，用第一高速光电探测器采集参考光栅表面莫尔条纹光强度信号，并将光强信号同时传输到单片机和PID控制器；第二高速光电探测器通过光束取样光栅监控激光器的光强信号，该光强信号传输到单片机，PID控制器的信号输出端传输到第一超声波发生器的频率调制输入端；当PID控制器判断出第一高速光电探测器实时探测的光强信号变化时，PID控制器输出反馈信号给第一超声波发生器，第一超声波发生器频率相应的改变，第一声光调制器的‑1级衍射光的相位发生变化，从而锁定莫尔条纹的相位，实现了对干涉条纹相位的锁定。

公开(公告)号：CN108761602B

公开(公告)日：2020-06-16

申请号：CN201810494570.9

申请日：2018-05-22

Applicant: 苏州大学

Inventor： 邹文龙 ,  李朝明 ,  吴建宏 ,  陈新荣 ,  蔡志坚 ,  刘全

IPC: G02B5/18 ,  G02B5/32 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明属于信息光学领域，涉及一种全息光栅光刻系统中干涉光路自准直的调节方法，为解决制作平行等间距条纹全息光栅时曝光光束平行度差的技术问题，在准直透镜的后方放置体布拉格光栅，曝光光束入射至体布拉格光栅的入射角等于所述体布拉格光栅的布拉格角，在曝光光束入射至体布拉格光栅后的‑1级透射衍射光路上放置光电探测器；沿着光轴前后移动针孔滤波器，实时观察光电探测器的读数，当光电探测器的读数最大时，固定针孔滤波器并且保持第一针孔滤波器与第一准直透镜间距恒定；本发明提出了一种自准直光路的调节方法，用体布拉格光栅来检测自准直光的平行度，代替传统的莫尔条纹调节方法，操作简单，具有很强的实用价值。

公开(公告)号：CN108761603A

公开(公告)日：2018-11-06

申请号：CN201810495948.7

申请日：2018-05-22

Applicant: 苏州大学

Inventor： 邹文龙 ,  李朝明 ,  吴建宏 ,  陈新荣 ,  蔡志坚 ,  刘全

IPC: G02B5/18 ,  G02B5/32 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明属于信息光学领域，涉及一种制作平行等间距条纹全息光栅的光刻系统，为解决制作平行等间距条纹全息光栅时曝光光束平行度差的技术问题，使用体布拉格光栅‑1级透射衍射效率作为平行光的判断标准，可以较为精确的确定针孔滤波器与准直透镜之间的距离，准确的将针孔滤波器的小孔放置在准直透镜的物方焦点上，从而实现干涉光路的准直；此外该系统有助于实现对曝光光束平行性的实时监控，配合PZT平移台还可以实现对平行光的锁定，从而提高了平行等间距条纹的全息光栅的拍摄质量。

公开(公告)号：CN102279429B

公开(公告)日：2014-11-05

申请号：CN201110210161.X

申请日：2011-07-26

Applicant: 苏州大学

Inventor： 陈新荣 ,  李朝明 ,  吴建宏

IPC: G02B5/18 ,  B24B19/00

Abstract: 本发明提供了一种取样光栅的制作方法，包括：提供基板，并在所述基板上制作取样光栅；测量所述取样光栅上各个区域的衍射效率；当所述取样光栅上某区域的衍射效率大于预设的衍射效率范围时，对该区域进行研磨，直至该区域的衍射效率在预设的衍射效率范围内。本发明的制作方法可以制作出的均匀性较好的取样光栅。

公开(公告)号：CN103955128A

公开(公告)日：2014-07-30

申请号：CN201410176749.1

申请日：2014-04-29

Applicant: 苏州大学

Inventor： 李朝明 ,  吴建宏 ,  陈新荣

IPC: G03H1/12 ,  G02B5/18

Abstract: 本发明公开了一种全息光栅三维主动稳定控制记录方法，具体为：（1）制备两个参考光栅；（2）获得两个参考光栅的莫尔条纹；（3）在全息记录光路中放置主光栅干板，打开干涉记录光，记录记录光场与两参考光栅形成的莫尔条纹图像，获得参考图像；（4）实时记录记录光场与两参考光栅形成的莫尔条纹图像；（5）与参考图像比较，获得莫尔条纹图像移动信息，实时调节控制补偿装置，实现实时莫尔条纹图像与参考图像一致；（6）达到设定曝光时间，经显影获得主光栅。本发明通过三维主动稳定控制干涉光场，使得当记录光场相对光栅基板发生变化时，能在长时间曝光过程中实现实时动态补偿，提高大口径光栅全息记录的稳定性。

公开(公告)号：CN101546001A

公开(公告)日：2009-09-30

申请号：CN200910031556.6

申请日：2009-04-23

Applicant: 苏州大学

Inventor： 李朝明 ,  吴建宏 ,  陈新荣 ,  胡祖元

IPC: G02B5/18

Abstract: 本发明公开了一种无缝拼接大面积全息光栅的制备方法，利用第一参考光栅在干涉记录光场中的光学特性实时检测干涉记录光场与已记录主光栅部分之间位相和倾斜，利用第二参考光栅实时检测主光栅的位置，以实现光栅准确的无缝拼接。本发明创造性地提出了设置两个参考光栅的技术方案，通过第一参考光栅实现左、右两侧的调整，通过第二参考光栅解决移除第一参考光栅时造成的影响，从而实现了大面积全息光栅的无缝拼接，保证了衍射光栅线条的等距和平直性精度要求。

公开(公告)号：CN1845017A

公开(公告)日：2006-10-11

申请号：CN200610039967.6

申请日：2006-04-24

Applicant: 苏州大学

Inventor： 李朝明 ,  吴建宏 ,  朱亚一 ,  居戬之 ,  胡祖元 ,  陈新荣 ,  刘全 ,  韦小茹

IPC: G03H1/04 ,  G02B5/32

Abstract: 一种用控制装置稳定全息干涉条纹的方法及装置，外界的扰动常造成干涉条纹的随机漂移，从而使拍摄的全息光栅质量下降，利用线阵CCD采集干涉条纹图像信息并传送给控制装置，控制装置计算条纹漂移量，控制装置控制与反射镜连接在一起的压电陶瓷移动进行位相补偿，可使干涉条纹的漂移大大的减小，达到稳定曝光区域干涉条纹，曝光时间将允许大大延长。

公开(公告)号：CN109521655A

公开(公告)日：2019-03-26

申请号：CN201811581256.0

申请日：2018-12-24

Applicant: 苏州大学

Inventor： 邹文龙 ,  蔡志坚 ,  李朝明 ,  陈新荣 ,  吴建宏 ,  刘全

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明属于信息光学技术领域，涉及一种全息干涉光刻系统，为解决干涉条纹漂移全息光栅对比度下降问题，用第一高速光电探测器采集参考光栅表面莫尔条纹光强度信号，并将光强信号同时传输到单片机和PID控制器；第二高速光电探测器通过光束取样光栅监控激光器的光强信号，该光强信号传输到单片机，PID控制器的信号输出端传输到第一超声波发生器的频率调制输入端；当PID控制器判断出第一高速光电探测器实时探测的光强信号变化时，PID控制器输出反馈信号给第一超声波发生器，第一超声波发生器频率相应的改变，第一声光调制器的-1级衍射光的相位发生变化，从而锁定莫尔条纹的相位，实现了对干涉条纹相位的锁定。

公开(公告)号：CN107966276A

公开(公告)日：2018-04-27

申请号：CN201711205141.7

申请日：2017-11-27

Applicant: 苏州大学

Inventor： 邹文龙 ,  李朝明 ,  陈新荣 ,  蔡志坚 ,  吴建宏

IPC: G01M11/02

CPC classification number: G01M11/00

Abstract: 本发明公开了一种大面积宽带光栅衍射效率的测量方法及装置，包括半导体激光器、斩波器、检测光系统、参考光系统和光电探测装置；该装置采用了双光路检测和斩波器将多个波长的半导体激光光源入射到宽带光栅表面，检测光系统采集-1级衍射光，并通过二维扫描大面积宽带光栅，完成整个待测大面积宽带光栅表面的衍射效率的测量，抑制激光器功率漂移和环境背景光干扰，同时大大提高了检测效率。