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公开(公告)号：CN111065968A
公开(公告)日：2020-04-24
申请号：CN201880004942.3
申请日：2018-05-22
Applicant: 苏州大学
Abstract: 公开了一种全息光栅光刻系统及其干涉光路自准直的调节方法，属于信息光学领域，为解决制作平行等间距条纹全息光栅时曝光光束平行度差的技术问题。全息光栅光刻系统中，在准直透镜(9,10)的后方放置体布拉格光栅(13,16)的布拉格角，在曝光光束入射至体布拉格光栅(13,16)后的-1级透射衍射光路上放置光电探测器(14,15)。全息光栅光刻系统干涉光路自准直的调节方法包括沿着光轴前后移动针孔滤波器(7,8)，实时观察光电探测器(14,15)的读数，当光电探测器(14,15)的读数最大时，固定针孔滤波器(7,8)并且保持第一针孔滤波器(7)与第一准直透镜(9)间距恒定。利用体布拉格光栅来检测自准直光的平行度，代替传统的莫尔条纹调节方法，操作简单，具有很强的实用价值。
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公开(公告)号：CN108318954B
公开(公告)日：2019-12-27
申请号：CN201810312061.X
申请日：2018-04-09
Applicant: 苏州大学
IPC: G02B5/18
Abstract: 本发明属于信息光学领域，涉及一种宽光束扫描曝光系统与方法，为解决制作米级光栅曝光时间过长引起的时效性差以及环境不确定性导致扫描条纹对比度下降问题，采用干涉条纹扫描技术无缝连续拼接光栅；在扫描曝光过程中，运用多维条纹锁定技术，始终以扫描曝光过的潜像光栅的潜像条纹作为锁定条纹，直至扫描曝光结束；在移动曝光中实现了实时闭环的锁定第一曝光光束与第二曝光光束的相位差，条纹周期、以及第一曝光光束与第二曝光光束夹角，从而在一个扫描周期即可获得高质量的且受环境因素影响小的无缝拼接米级光栅；光束整形压缩柱面系统的使用有效增加了光束的利用率，同时保证光束的波面质量，大大缩短了米量级光栅的制备时间。
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公开(公告)号：CN104375227B
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：CN201410731545.X
申请日：2014-12-05
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种多次曝光拼接制作大面积全息光栅的方法，基于莫尔条纹检测原理,在干涉记录光路中加入光楔进行光场位相调制，准确检测第一次曝光制作光栅与干涉记录光场之间的姿态和位相信息，最终实现第二次全息记录的光栅和第一次全息记录的光栅精确对准。为制作大面积全息光栅提供了一种有效的方法。
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公开(公告)号：CN115248488A
公开(公告)日：2022-10-28
申请号：CN202110450575.3
申请日：2021-04-25
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本申请提出一种全息透镜的拼接加工方法及装置。该方法包括：在全息透镜基板的几何中心曝光一个圆形的子光栅；调整全息透镜基板与实时干涉光场的相对位置，使得圆形子光栅与实时干涉光场的莫尔条纹为零条纹状态，插入平行平板以将光束偏折来扩大光束口径，获得参考条纹，并基于记录装置记录；曝光全息透镜基板边缘第一子光栅曝光后、旋转预设角度曝光并依次拼接全息透镜基板边缘的其它子光栅，得到大口径的全息透镜。该方法通过光束的偏折扩大光束口径，通过曝光拼接将弯曲的光栅线条进行拼接以制作大口径的全息透镜，满足大口径望远系统的高空间分辨率的要求。
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公开(公告)号：CN109521655A
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201811581256.0
申请日：2018-12-24
Applicant: 苏州大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明属于信息光学技术领域，涉及一种全息干涉光刻系统，为解决干涉条纹漂移全息光栅对比度下降问题，用第一高速光电探测器采集参考光栅表面莫尔条纹光强度信号，并将光强信号同时传输到单片机和PID控制器；第二高速光电探测器通过光束取样光栅监控激光器的光强信号，该光强信号传输到单片机，PID控制器的信号输出端传输到第一超声波发生器的频率调制输入端；当PID控制器判断出第一高速光电探测器实时探测的光强信号变化时，PID控制器输出反馈信号给第一超声波发生器，第一超声波发生器频率相应的改变，第一声光调制器的-1级衍射光的相位发生变化，从而锁定莫尔条纹的相位，实现了对干涉条纹相位的锁定。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107966276A
公开(公告)日：2018-04-27
申请号：CN201711205141.7
申请日：2017-11-27
Applicant: 苏州大学
IPC: G01M11/02
CPC classification number: G01M11/00
Abstract: 本发明公开了一种大面积宽带光栅衍射效率的测量方法及装置，包括半导体激光器、斩波器、检测光系统、参考光系统和光电探测装置；该装置采用了双光路检测和斩波器将多个波长的半导体激光光源入射到宽带光栅表面，检测光系统采集-1级衍射光，并通过二维扫描大面积宽带光栅，完成整个待测大面积宽带光栅表面的衍射效率的测量，抑制激光器功率漂移和环境背景光干扰，同时大大提高了检测效率。
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公开(公告)号：CN104375227A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201410731545.X
申请日：2014-12-05
Applicant: 苏州大学
CPC classification number: G02B5/1857 , G03F7/2022
Abstract: 本发明公开了一种多次曝光拼接制作大面积全息光栅的方法，基于莫尔条纹检测原理，在干涉记录光路中加入光楔进行光场位相调制，准确检测第一次曝光制作光栅与干涉记录光场之间的姿态和位相信息，最终实现第二次全息记录的光栅和第一次全息记录的光栅精确对准。为制作大面积全息光栅提供了一种有效的方法。
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公开(公告)号：CN108761603B
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201810495948.7
申请日：2018-05-22
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明属于信息光学领域，涉及一种制作平行等间距条纹全息光栅的光刻系统，为解决制作平行等间距条纹全息光栅时曝光光束平行度差的技术问题，使用体布拉格光栅‑1级透射衍射效率作为平行光的判断标准，可以较为精确的确定针孔滤波器与准直透镜之间的距离，准确的将针孔滤波器的小孔放置在准直透镜的物方焦点上，从而实现干涉光路的准直；此外该系统有助于实现对曝光光束平行性的实时监控，配合PZT平移台还可以实现对平行光的锁定，从而提高了平行等间距条纹的全息光栅的拍摄质量。
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公开(公告)号：CN108761602A
公开(公告)日：2018-11-06
申请号：CN201810494570.9
申请日：2018-05-22
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明属于信息光学领域，涉及一种全息光栅光刻系统中干涉光路自准直的调节方法，为解决制作平行等间距条纹全息光栅时曝光光束平行度差的技术问题，在准直透镜的后方放置体布拉格光栅，曝光光束入射至体布拉格光栅的入射角等于所述体布拉格光栅的布拉格角，在曝光光束入射至体布拉格光栅后的‑1级透射衍射光路上放置光电探测器；沿着光轴前后移动针孔滤波器，实时观察光电探测器的读数，当光电探测器的读数最大时，固定针孔滤波器并且保持第一针孔滤波器与第一准直透镜间距恒定；本发明提出了一种自准直光路的调节方法，用体布拉格光栅来检测自准直光的平行度，代替传统的莫尔条纹调节方法，操作简单，具有很强的实用价值。
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公开(公告)号：CN108318954A
公开(公告)日：2018-07-24
申请号：CN201810312061.X
申请日：2018-04-09
Applicant: 苏州大学
IPC: G02B5/18
Abstract: 本发明属于信息光学领域，涉及一种宽光束扫描曝光系统与方法，为解决制作米级光栅曝光时间过长引起的时效性差以及环境不确定性导致扫描条纹对比度下降问题，采用干涉条纹扫描技术无缝连续拼接光栅；在扫描曝光过程中，运用多维条纹锁定技术，始终以扫描曝光过的潜像光栅的潜像条纹作为锁定条纹，直至扫描曝光结束；在移动曝光中实现了实时闭环的锁定第一曝光光束与第二曝光光束的相位差，条纹周期、以及第一曝光光束与第二曝光光束夹角，从而在一个扫描周期即可获得高质量的且受环境因素影响小的无缝拼接米级光栅；光束整形压缩柱面系统的使用有效增加了光束的利用率，同时保证光束的波面质量，大大缩短了米量级光栅的制备时间。
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