公开(公告)号：CN117740208A

公开(公告)日：2024-03-22

申请号：CN202311761861.7

申请日：2023-12-20

Applicant: 苏州大学

Inventor： 王可军 ,  陈思远 ,  鲍冠宇 ,  马铭晨 ,  关宇昂 ,  张子豪 ,  王倩

IPC: G01L1/18

Abstract: 发明涉及一种微悬臂梁触觉传感器及其制备方法，包括：基座，基座的上表面向上凸起形成皱缩结构，皱缩结构的横截面沿皱缩结构的轴线方向自上至下先减小再增大；基座绕皱缩结构沿其周向设有多个沟槽，沟槽包括沟槽本体以及自沟槽本体延伸至皱缩结构顶端的沟槽连接部；感应元件，填充在多个沟槽中；触杆，同轴连接在皱缩结构的顶端，触杆的弹性模量大于基座的弹性模量。本发明能够本申请在检测的过程中发生偏转而非弯曲，将应力信号高效的转化为电信号，可以为外电路提供一个更加明显的电信号，具有检测阈值低，精度高、响应速度高的特点，成本低，且能够实现小型化。

公开(公告)号：CN117490889A

公开(公告)日：2024-02-02

申请号：CN202311585857.X

申请日：2023-11-24

Applicant: 苏州大学

Inventor： 陈思远 ,  王可军 ,  马铭晨 ,  张子豪 ,  关宇昂 ,  鲍冠宇 ,  王倩 ,  李松键

IPC: G01L1/22 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明提供一种压阻式微触碰检测探针及其制备方法，其包括：基底，基底包括传导部以及至少一个安装槽，传导部沿基底高度方向延伸设置，安装槽延伸至传导部；至少一个压阻件，至少一个压阻件对应设置于至少一个安装槽中；探头，探头的弹性模量大于压阻件的弹性模量，探头连接于传导部且通过传导部挤压压阻件。本发明中的探头不会发生较大程度的弯折，而是仅仅会发生微小偏转，由此能够大大降低传统接触式探头在弯曲过程中出现压力损耗，进而使测量结果与实际数值发生偏差的问题，尤其是对于微米级/纳米级工件来说，本申请能够显著提高测量精度，因此，本压阻式微触碰检测探针及其制备方法在本行业内具有显著优势。

公开(公告)号：CN221055929U

公开(公告)日：2024-05-31

申请号：CN202323191125.0

申请日：2023-11-24

Applicant: 苏州大学

Inventor： 陈思远 ,  王可军 ,  马铭晨 ,  张子豪 ,  关宇昂 ,  鲍冠宇 ,  王倩 ,  李松键

IPC: G01L1/22 ,  B81C1/00

Abstract: 本实用新型提供一种压阻式微触碰检测探针及检测装置，其包括：基底，基底包括传导部以及至少一个安装槽，传导部沿基底高度方向延伸设置，安装槽延伸至传导部；至少一个压阻件，至少一个压阻件对应设置于至少一个安装槽中；探头，探头的弹性模量大于压阻件的弹性模量，探头连接于传导部且通过传导部挤压压阻件。本实用新型中的探头不会发生较大程度的弯折，而是仅仅会发生微小偏转，由此能够大大降低传统接触式探头在弯曲过程中出现压力损耗，进而使测量结果与实际数值发生偏差的问题，尤其是对于微米级/纳米级工件来说，本申请能够显著提高测量精度，因此，本压阻式微触碰检测探针及检测装置在本行业内具有显著优势。