研磨液组合物
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1680509B

    公开(公告)日:2010-12-15

    申请号:CN200510064805.3

    申请日:2005-04-06

    CPC classification number: C09K3/1463 C09G1/02 C09K3/1409

    Abstract: 本发明涉及一种包含平均粒径为1~30nm的研磨材料和水的研磨液组合物,其中该研磨材料的填充率为79~90重量%;涉及一种基板的制造方法,其包括将上述研磨液组合物引入到基板与研磨垫之间,使其一边与所述基板接触,一边进行研磨的工序;还涉及一种减少被研磨基板的划痕的方法,其包括使用上述研磨液组合物对被研磨基板进行研磨的工序。本发明的研磨液组合物,例如适用于磁盘、磁光盘等磁性记录介质的基板、光掩模基板、光盘、光学透镜、光学反射镜、光学棱镜、半导体基板等精密部件基板的研磨。

    研磨液组合物
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100529008C

    公开(公告)日:2009-08-19

    申请号:CN200510085991.9

    申请日:2005-07-21

    Abstract: 本发明涉及研磨液组合物及研磨粒子调配液,含有研磨材料和水,pH值为0.1~7,且满足以下条件:(1)在每1cm3的研磨液组合物或研磨粒子调配液中,大于等于0.56μm但不足1μm的研磨粒子为500000个或以下,(2)大于等于1μm的研磨粒子相对于研磨液组合物或研磨粒子调配液中的所有研磨粒子为0.001重量%或以下;涉及研磨液组合物及研磨粒子调配液的制造方法,具有以下精制工序:(I)用深层型过滤器过滤精制前的研磨液组合物或研磨粒子调配液而得到中间过滤物,(II)用褶皱型过滤器过滤中间过滤物而得到研磨液组合物或研磨粒子调配液,其中在工序I中,过滤器入口压力的波动幅度为50kPa或以下;涉及基板的制造方法,其具有使用研磨液组合物并通过研磨机研磨基板的工序。

    研磨液组合物
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1733861A

    公开(公告)日:2006-02-15

    申请号:CN200510085991.9

    申请日:2005-07-21

    Abstract: 本发明涉及研磨液组合物及研磨粒子调配液,含有研磨材料和水,pH值为0.1~7,且满足以下条件:(1)在每1cm3的研磨液组合物或研磨粒子调配液中,大于等于0.56μm但不足1μm的研磨粒子为500000个或以下,(2)大于等于1μm的研磨粒子相对于研磨液组合物或研磨粒子调配液中的所有研磨粒子为0.001重量%或以下;涉及研磨液组合物及研磨粒子调配液的制造方法,具有以下精制工序:(I)用深层型过滤器过滤精制前的研磨液组合物或研磨粒子调配液而得到中间过滤物,(II)用褶皱型过滤器过滤中间过滤物而得到研磨液组合物或研磨粒子调配液,其中在工序I中,过滤器入口压力的波动幅度为50kPa或以下;涉及基板的制造方法,其具有使用研磨液组合物并通过研磨机研磨基板的工序。

    研磨液组合物
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1680509A

    公开(公告)日:2005-10-12

    申请号:CN200510064805.3

    申请日:2005-04-06

    CPC classification number: C09K3/1463 C09G1/02 C09K3/1409

    Abstract: 本发明涉及一种包含平均粒径为1~30nm的研磨材料和水的研磨液组合物,其中该研磨材料的填充率为79~90重量%;涉及一种基板的制造方法,其包括将上述研磨液组合物引入到基板与研磨垫之间,使其一边与所述基板接触,一边进行研磨的工序;还涉及一种减少被研磨基板的划痕的方法,其包括使用上述研磨液组合物对被研磨基板进行研磨的工序。本发明的研磨液组合物,例如适用于磁盘、磁光盘等磁性记录介质的基板、光掩模基板、光盘、光学透镜、光学反射镜、光学棱镜、半导体基板等精密部件基板的研磨。

    合成润滑油
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1161693A

    公开(公告)日:1997-10-08

    申请号:CN95195775.9

    申请日:1995-02-27

    Abstract: 本发明涉及以含有从一种以上4元以上~10元以下、元数为偶数的多元醇和一种以上特定羰基化合物或其活泼衍生物缩酮或缩醛得到的环状缩酮或环状缩醛为特征的合成润滑油,含有含该环状缩酮或环状缩醛的冷冻机油和氢氟烃的冷冻机工质组合物,以及这些环状缩醛类中的新型化合物及其制法。按照本发明,提供了热稳定性、氧化稳定性优异的、不因水解而产生羧酸、吸湿性低而且廉价的合成润滑油。此外,还可以提供电绝缘性、吸湿性优异、不因水解而产生羧酸而且廉价的冷冻机工质组合物。

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