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公开(公告)号：CN102947916A
公开(公告)日：2013-02-27
申请号：CN201180026469.7
申请日：2011-05-26
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/20
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/3171 , H01J2237/166 , H01J2237/2001 , H01J2237/20214
Abstract: 本发明公开一种工件扫描系统，具有围绕第一轴线转动的扫描臂(202)和围绕用于选择性地固定工件的第二轴线可转动地连接到扫描臂的冷冻端部效应器(206)。冷冻端部效应器具有夹板(212)和用以冷却夹板的一个或多个冷却机构。轴承沿着第二轴线设置并且将端部效应器以能够转动地连接至扫描臂，和密封件沿着第二轴线设置，以在外部环境和内部环境之间提供压力屏障。轴承和/或密封可以具有与其相关联的铁磁流体。加热器组件靠近轴承和密封件设置，其中加热器组件配置成选择性地提供预定量的热量到轴承和密封件，从而增加端部效应器围绕第二轴线转动的倾向。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101379583A
公开(公告)日：2009-03-04
申请号：CN200680053147.0
申请日：2006-12-20
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/08 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/3171 , B08B7/0035 , H01J27/022 , H01J37/08 , H01J2237/022 , H01J2237/31705
Abstract: 一种用于从离子源内表面清除沉积的沉积清洁系统，包括：氟源、节流机构、以及控制器。氟源将氟作为清洁材料供至离子源。节流机构通过至少部分覆盖源孔径的方式，减少通过离子源的源孔径的氟损失。控制器控制从氟源到离子源的供氟以及流速，还控制节流机构的定位。
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公开(公告)号：CN102947916B
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201180026469.7
申请日：2011-05-26
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/20
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/3171 , H01J2237/166 , H01J2237/2001 , H01J2237/20214
Abstract: 本发明公开一种工件扫描系统，具有围绕第一轴线转动的扫描臂(202)和围绕用于选择性地固定工件的第二轴线可转动地连接到扫描臂的冷冻端部效应器(206)。冷冻端部效应器具有夹板(212)和用以冷却夹板的一个或多个冷却机构。轴承沿着第二轴线设置并且将端部效应器以能够转动地连接至扫描臂，和密封件沿着第二轴线设置，以在外部环境和内部环境之间提供压力屏障。轴承和/或密封可以具有与其相关联的铁磁流体。加热器组件靠近轴承和密封件设置，其中加热器组件配置成选择性地提供预定量的热量到轴承和密封件，从而增加端部效应器围绕第二轴线转动的倾向。
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公开(公告)号：CN101849275A
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN200880115028.2
申请日：2008-11-06
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/077 , H01J3/00 , H01J37/02 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/026 , H01J37/3171 , H01J2237/0041 , H01J2237/06366
Abstract: 一种等离子体电子流系统，包括构造为包含气体的壳体，并包括位于其中的细长引出缝、阴极和多个阳极，并且其中所述细长引出缝与离子注入机直接连通，所述阴极丝发射电子，所述电子通过所述阴极和多个阳极之间的电势差被吸引至所述多个阳极，其中所述电子通过所述细长引出缝被释放，作为电子带用于中和在离子注入机内行进的带状离子束。
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公开(公告)号：CN101379583B
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN200680053147.0
申请日：2006-12-20
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/08 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/3171 , B08B7/0035 , H01J27/022 , H01J37/08 , H01J2237/022 , H01J2237/31705
Abstract: 一种用于从离子源内表面清除沉积的沉积清洁系统，包括：氟源、节流机构、以及控制器。氟源将氟作为清洁材料供至离子源。节流机构通过至少部分覆盖源孔径的方式，减少通过离子源的源孔径的氟损失。控制器控制从氟源到离子源的供氟以及流速，还控制节流机构的定位。
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公开(公告)号：CN101849275B
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN200880115028.2
申请日：2008-11-06
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/077 , H01J3/00 , H01J37/02 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/026 , H01J37/3171 , H01J2237/0041 , H01J2237/06366
Abstract: 一种等离子体电子流系统，包括构造为包含气体的壳体，并包括位于其中的细长引出缝、阴极和多个阳极，并且其中所述细长引出缝与离子注入机直接连通，所述阴极丝发射电子，所述电子通过所述阴极和多个阳极之间的电势差被吸引至所述多个阳极，其中所述电子通过所述细长引出缝被释放，作为电子带用于中和在离子注入机内行进的带状离子束。
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