公开(公告)号：CN102947916A

公开(公告)日：2013-02-27

申请号：CN201180026469.7

申请日：2011-05-26

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 威廉·李 ,  威廉·狄佛吉利欧 ,  史蒂夫·德拉蒙

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/166 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/20214

Abstract: 本发明公开一种工件扫描系统，具有围绕第一轴线转动的扫描臂(202)和围绕用于选择性地固定工件的第二轴线可转动地连接到扫描臂的冷冻端部效应器(206)。冷冻端部效应器具有夹板(212)和用以冷却夹板的一个或多个冷却机构。轴承沿着第二轴线设置并且将端部效应器以能够转动地连接至扫描臂，和密封件沿着第二轴线设置，以在外部环境和内部环境之间提供压力屏障。轴承和/或密封可以具有与其相关联的铁磁流体。加热器组件靠近轴承和密封件设置，其中加热器组件配置成选择性地提供预定量的热量到轴承和密封件，从而增加端部效应器围绕第二轴线转动的倾向。

公开(公告)号：CN102947916B

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：CN201180026469.7

申请日：2011-05-26

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 威廉·李 ,  威廉·狄佛吉利欧 ,  史蒂夫·德拉蒙

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/166 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/20214

Abstract: 本发明公开一种工件扫描系统，具有围绕第一轴线转动的扫描臂(202)和围绕用于选择性地固定工件的第二轴线可转动地连接到扫描臂的冷冻端部效应器(206)。冷冻端部效应器具有夹板(212)和用以冷却夹板的一个或多个冷却机构。轴承沿着第二轴线设置并且将端部效应器以能够转动地连接至扫描臂，和密封件沿着第二轴线设置，以在外部环境和内部环境之间提供压力屏障。轴承和/或密封可以具有与其相关联的铁磁流体。加热器组件靠近轴承和密封件设置，其中加热器组件配置成选择性地提供预定量的热量到轴承和密封件，从而增加端部效应器围绕第二轴线转动的倾向。