公开(公告)号：CN104025253A

公开(公告)日：2014-09-03

申请号：CN201280058156.4

申请日：2012-11-22

Applicant: 耐克西斯公司

Inventor： 斯蒂芬妮·安格尔 ,  卢多维克·帕里西

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/36

CPC classification number: H01L31/1864 ,  H01L21/02491 ,  H01L21/02568 ,  H01L21/02614 ,  H01L21/02658 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/0296 ,  H01L31/0322 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/03928 ,  H01L31/0749 ,  Y02E10/541 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明涉及一种制造具有光伏特性的I-III-VI2层的方法，包括：金属在衬底上的沉积以形成接触层，光伏层的前体在接触层上的沉积，以及添加了元素VI的前体的热处理以形成I-III-VI2层。元素VI通常在热处理过程中扩散到接触层(MO)中并且与金属结合在接触层上形成表面层(SUP)。在本发明的方法中，金属沉积包括一个步骤，在该步骤中，一种添加元素被添加到金属中以在接触层上形成一种化合物(MO-EA)，作为元素VI的扩散阻挡层，从而能够精确地控制表面层的特性，特别是其厚度。

公开(公告)号：CN104025253B

公开(公告)日：2018-07-27

申请号：CN201280058156.4

申请日：2012-11-22

Applicant: 耐克西斯公司

Inventor： 斯蒂芬妮·安格尔 ,  卢多维克·帕里西

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/36

CPC classification number: H01L31/1864 ,  H01L21/02491 ,  H01L21/02568 ,  H01L21/02614 ,  H01L21/02658 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/0296 ,  H01L31/0322 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/03928 ,  H01L31/0749 ,  Y02E10/541 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明涉及一种制造具有光伏特性的I‑III‑VI2层的方法，包括：金属在衬底上的沉积以形成接触层，光伏层的前体在接触层上的沉积，以及添加了元素VI的前体的热处理以形成I‑III‑VI2层。元素VI通常在热处理过程中扩散到接触层(MO)中并且与金属结合在接触层上形成表面层(SUP)。在本发明的方法中，金属沉积包括一个步骤，在该步骤中，一种添加元素被添加到金属中以在接触层上形成一种化合物(MO‑EA)，作为元素VI的扩散阻挡层，从而能够精确地控制表面层的特性，特别是其厚度。