具有微机械结构的转速传感器和用于运行转速传感器的方法

    公开(公告)号:CN119268662A

    公开(公告)日:2025-01-07

    申请号:CN202410892074.4

    申请日:2024-07-04

    Abstract: 提出一种转速传感器,所述转速传感器具有微机械结构并且具有质量振动器,其中,所述质量振动器能够借助驱动装置被驱动进行驱动振动,其中,所述转速传感器配置为用于保护所述微机械结构并且在探测到的自由落体状况的时间间隔期间配置成,使得实现所述驱动振动的振幅的减小,其中,借助供应给所述转速传感器的自由落体信号通过信号表示所述自由落体状况,其中,所述转速传感器还配置成,使得——紧接在接收到通过信号表示自由落体状况的终点的另外的自由落体信号之后——所述驱动装置再次驱动所述质量振动器进行所述质量振动器的运行式驱动振动,其中,所述驱动振动的振幅的减小比相应于所述质量振动器的驱动振动的单纯的衰减过程的减小更快速地实现。

    用于运行微机电陀螺仪的方法、陀螺仪

    公开(公告)号:CN113670285A

    公开(公告)日:2021-11-19

    申请号:CN202110521664.2

    申请日:2021-05-13

    Abstract: 本发明涉及一种用于运行微机电陀螺仪的方法,微机电陀螺仪具有可激励振动的至少一个质量块,用于检测测量值;驱动电路,用于激励和维持质量块的振动运动;用于所检测测量值的读取电路;其中,在陀螺仪的至少一个运行模式中脉冲地驱动质量块并且协调地读取测量值,其方式是,循环地重复下述阶段:a.起动阶段,激活并且运行驱动电路直到质量块实施具有预给定的第一目标幅度的限定振动运动;b.测量阶段,如此运行驱动电路,使得维持质量块的限定的振动运动,并且在测量阶段中检测并且由读取电路读取测量值;c.静止阶段,至少部分地停用驱动电路,其中,如此选择静止阶段的持续时间,使得质量块的振动运动的幅度不降低为零。

    用于应力传感器的微机械构件和用于应力传感器的微机械构件的制造方法

    公开(公告)号:CN113295304A

    公开(公告)日:2021-08-24

    申请号:CN202110195298.6

    申请日:2021-02-19

    Abstract: 本发明涉及一种用于应力传感器的微机械构件,该微机械构件具有带有第一衬底表面(10a)的第一衬底(10)、带有第二衬底表面(12a)的第二衬底(12)和构造在第二衬底(12)处和/或第二衬底中的分析处理电路(20),其中,第一衬底(10)借助至少一个借助金属键合方法形成的电接通部(22)固定在第二衬底(12)处,该电接通部构造在第一衬底表面(10a)与第二衬底表面(12a)之间的中间体积(14)内,其中,至少一个电极(16,16a,16b,62)和至少一个对电极(18a,18b,18c)布置在中间体积(14)内,其中,至少一个电极(16,16a,16b,62)和/或至少一个对电极(18a,18b,18c)通过至少一个借助金属键合方法形成的电接通部(22)电连接在分析处理电路(20)处。

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