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公开(公告)号：CN108370483B
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN201680073315.6
申请日：2016-11-07
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： A.多勒
Abstract: 确定MEMS麦克风（100）的绝对灵敏度的麦克风系统和方法。麦克风系统包括扬声器（155）、MEMS麦克风（100）和控制器（205）。扬声器（155）被配置为生成声压。MEMS麦克风（100）包括电容电极（105）、背板（110）和压电电极（115）。电容电极（105）被配置为使得声压引起第一移动并生成第一机械压力。压电电极（115）耦合到电容电极（105）并被配置为基于声压来生成第一压电响应信号。压电电极（115）还被配置为基于第一机械压力来生成第二压电响应信号。控制器（205）被配置为基于第一移动来确定第一电容响应并且基于第一电容响应、第一压电响应信号和第二压电响应信号来确定电容电极（105）的绝对灵敏度。
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公开(公告)号：CN110198913B
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN201780084806.5
申请日：2017-11-27
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: MEMS换能器系统包括MEMS换能器设备，以用于感测压力信号或声信号中的至少一个。MEMS换能器设备包括第一膜片和第二膜片。在膜片之间形成间隔物、平板电容器元件和电极元件。平板电容器元件经由隔板耦合到膜片。可选的构件可以设置在间隔物内。电极元件的远端耦合到诸如绝缘体元件之类的结构。可以在平板电容器元件内形成可选的氧化物。在膜片之间形成的压力感测电极可以耦合到绝缘体元件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108781335B
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201780015917.0
申请日：2017-03-07
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 麦克风系统包括MEMS麦克风和电子控制器。MEMS麦克风包括可移动膜和背板。可移动膜包括电容式电极和压电电极。电容式电极被配置使得作用在可移动膜上的声压引起电容式电极的移动。压电电极基于控制信号而更改MEMS麦克风的机械属性。背板定位在可移动膜的第一侧上。电子控制器电气地耦合到压电电极并被配置为生成控制信号。
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公开(公告)号：CN108781335A
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201780015917.0
申请日：2017-03-07
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 麦克风系统包括MEMS麦克风和电子控制器。MEMS麦克风包括可移动膜和背板。可移动膜包括电容式电极和压电电极。电容式电极被配置使得作用在可移动膜上的声压引起电容式电极的移动。压电电极基于控制信号而更改MEMS麦克风的机械属性。背板定位在可移动膜的第一侧上。电子控制器电气地耦合到压电电极并被配置为生成控制信号。
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公开(公告)号：CN108367908A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201680073992.8
申请日：2016-12-06
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: H04R7/20 , B81B3/0051 , B81B3/0072 , B81B3/0078 , B81B2201/0257 , B81B2203/0127 , B81B2207/07 , H04R7/24 , H04R19/005 , H04R19/04 , H04R31/003 , H04R2231/003
Abstract: MEMS麦克风（101）具有背板（105）、弹簧（215）和膜（103）。在一个实施例中，该膜（103）经由支撑件（107）支撑在膜的近似中心中。该支撑件（107）连接至膜（103）的近似中心和背板（105）的近似中心。该膜（103）连接至提供电连接的弹簧（215）。该膜（103）可以经由电连接而被电偏置。在一个不同的实施例中，一个或多个超程停止件（617）固定至背板（605）并通过膜（603）的孔径（619）。该超程停止件（617）被配置成防止膜（603）在与背板（605）相对的径向方向上移动。该膜（603）包括：应力梯度、折皱、或者设置或确定膜的刚度的另一结构。
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公开(公告)号：CN110198913A
公开(公告)日：2019-09-03
申请号：CN201780084806.5
申请日：2017-11-27
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: MEMS换能器系统包括MEMS换能器设备，以用于感测压力信号或声信号中的至少一个。MEMS换能器设备包括第一膜片和第二膜片。在膜片之间形成间隔物、平板电容器元件和电极元件。平板电容器元件经由隔板耦合到膜片。可选的构件可以设置在间隔物内。电极元件的远端耦合到诸如绝缘体元件之类的结构。可以在平板电容器元件内形成可选的氧化物。在膜片之间形成的压力感测电极可以耦合到绝缘体元件。
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公开(公告)号：CN108370483A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201680073315.6
申请日：2016-11-07
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： A.多勒
Abstract: 确定MEMS麦克风（100）的绝对灵敏度的麦克风系统和方法。麦克风系统包括扬声器（155）、MEMS麦克风（100）和控制器（205）。扬声器（155）被配置为生成声压。MEMS麦克风（100）包括电容电极（105）、背板（110）和压电电极（115）。电容电极（105）被配置为使得声压引起第一移动并生成第一机械压力。压电电极（115）耦合到电容电极（105）并被配置为基于声压来生成第一压电响应信号。压电电极（115）还被配置为基于第一机械压力来生成第二压电响应信号。控制器（205）被配置为基于第一移动来确定第一电容响应并且基于第一电容响应、第一压电响应信号和第二压电响应信号来确定电容电极（105）的绝对灵敏度。
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