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发明公开
天线构造体以及包括其的等离子体处理设备审中-实审

公开(公告)号：CN116315602A

公开(公告)日：2023-06-23

申请号：CN202211482422.8

申请日：2022-11-24

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 金铉镇 , 奥格森·加尔斯蒂安 , 李贞焕 , 朴东俊 , 安上赫

IPC: H01Q1/36 , H01Q1/50 , H01J37/32

Abstract: 本发明的实施例提供一种在等离子体处理工艺中可以更广泛地控制蚀刻率的天线构造体以及包括其的等离子体处理设备。根据本发明的一侧面的用于形成等离子体的天线构造体包括：馈电线，被施加RF(Radio Frequency)信号；以及线圈部件，包括隔着一定间隔在上下方向上隔开的多个单位线圈。

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