公开(公告)号：CN1102803C

公开(公告)日：2003-03-05

申请号：CN98803127.2

申请日：1998-01-21

Applicant: 纽约市哥伦比亚大学托管会

Inventor： 马启元 ,  陈名玲

IPC: H01L39/24

CPC classification number: H01L39/2496 ,  H01L39/2467 ,  Y10S505/728 ,  Y10S977/72 ,  Y10S977/832

Abstract: 本发明提供了一种用于在超导薄膜上使用选择蚀刻技术形成超导器件(232)的方法。该方法利用将离子注入与化学蚀刻结合的快速蚀刻。超导薄膜要保留的部分在离子注入处理(217)中被掩盖(215)。然后化学蚀刻处理以比没有注入的部分(223)快得多的速度去掉超导薄膜经注入的部分(225，227)，从而只保留了未注入的部分(223)。得到的超导器件可以用作超微型结构和微型的尖头、辐射热测量计、多层RF线圈、微波波导和滤波器。

公开(公告)号：CN1268924A

公开(公告)日：2000-10-04

申请号：CN98803127.2

申请日：1998-01-21

Applicant: 纽约市哥伦比亚大学托管会

Inventor： 马启元 ,  陈名玲

IPC: B44C1/22

CPC classification number: H01L39/2496 ,  H01L39/2467 ,  Y10S505/728 ,  Y10S977/72 ,  Y10S977/832

Abstract: 本发明提供了一种用于在超导薄膜上使用选择蚀刻技术形成超导器件(232)的方法。该方法利用将离子注入与化学蚀刻结合的快速蚀刻。超导薄膜要保留的部分在离子注入处理(217)中被掩盖(215)。然后化学蚀刻处理以比没有注入的部分(223)快得多的速度去掉超导薄膜经注入的部分(225,227),从而只保留了未注入的部分(223)。得到的超导器件可以用作超微型结构和微型的尖头、辐射热测量计、多层RF线圈、微波波导和滤波器。

公开(公告)号：CN1245562A

公开(公告)日：2000-02-23

申请号：CN97181555.0

申请日：1997-11-25

Applicant: 纽约市哥伦比亚大学托管会

Inventor： 张宽 ,  杰森·R·米勒 ,  穆殷吉 ,  马启元

IPC: G01V3/00

CPC classification number: G01R33/341 ,  G01R33/34007 ,  G01R33/34023 ,  G01R33/34092 ,  G01R33/3635 ,  G01R33/5604

Abstract: 一种多共振超导探测器,应用于磁共振成象、显微镜检查和分光镜检查,可以探测在不同频率下共振的多个原子核。探测器的结构包括两个或多个接近的超导线圈(101,103),每个线圈被调谐到不同的频率,并针对线圈间互感所产生的频移而进行调节。线圈可以同心地放在一平面(120)内,或者可以垂直叠放。