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公开(公告)号：CN116313711A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310060452.8
申请日：2023-01-18
Applicant: 纳克微束(北京)有限公司
IPC: H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/28 , G01N23/2251
Abstract: 本发明涉及一种复合结构的探测系统及探测方法，属于电子显微镜技术领域，把EDS探测器置入物镜内部，在提高空间利用率的同时使EDS更靠近极靴头和样品表面，提高探测效率；该系统包括：电子源、电子加速电极、物镜、EDS探测器、样品、样品台和控制单元；所述电子源设于顶部正中，所述电子加速电极设于电子源下方，所述物镜设于电子加速电极下方，所述样品设于物镜下方；所述电子源产生的电子束依次经过电子加速电极和物镜后到达样品表面；所述EDS探测器以斜插方式设置在物镜内部，所述EDS探测器的探头位于物镜的探测口处；所述样品置于样品台上；所述样品台、所述EDS探测器、所述电子源和所述物镜均与所述控制单元连接。
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公开(公告)号：CN116183963A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202310314339.8
申请日：2023-03-28
Applicant: 纳克微束(北京)有限公司
IPC: G01Q30/02
Abstract: 本发明涉及一种自动聚焦检测系统及方法，属于电子扫描技术领域，能够测定样品与物镜之间的距离，实现自动对焦，不仅提高检测效率，而且避免了人为操作导致的微小误差；该系统包括用于产生激光束的电子源、电子加速电极、物镜、测距单元、PC端、运动控制单元和样品台；电子源、电子加速电极、物镜和样品台从上到下依次设置；运动控制单元设于样品台下方，并与样品台连接；测距单元固设在物镜下部；测距单元和运动控制单元与PC端连接；测距单元包括点光谱发射端、点光谱接收端和光谱分析仪；点光谱发射端、待检测样品上表面和点光谱接收端依次光连接；点光谱接收端、光谱分析仪和PC端依次连接。
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公开(公告)号：CN116072494A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202310060494.1
申请日：2023-01-18
Applicant: 纳克微束(北京)有限公司
IPC: H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/20 , H01J37/147
Abstract: 本发明涉及一种双内置复合结构的探测系统，属于电子显微镜技术领域，能够有效地将电子探测、EDS探测、荧光探测结合，可以达到对样品同一位置的多探测器同时探测的效果，并且高效收集信号，得到高质量图像信息；该系统包括：电子源、电子加速电极、物镜、EDS探测器、直接电子探测器、样品、样品台和控制单元；所述EDS探测器和所述直接电子探测器均以斜插方式设置在物镜内部，所述EDS探测器和所述直接电子探测器的探头均靠近物镜的探测口处；所述样品台、所述EDS探测器、所述直接电子探测器、所述电子源和所述物镜均与所述控制单元连接；物镜的内部极靴上设有打拿级，物镜探测口的内外两环壁的底端均设有反射锥。
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公开(公告)号：CN115963133A
公开(公告)日：2023-04-14
申请号：CN202211686334.X
申请日：2022-12-27
Applicant: 纳克微束(北京)有限公司
IPC: G01N23/2206 , G01N23/2254 , G01N23/203 , H01J37/28 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/06 , H01J37/10
Abstract: 本发明涉及一种光电探测器，属于光电探测器技术领域，能够实现阴极荧光信号与电子信号同时探测，且极大提高荧光信号的收集效率；该光电探测器包括电子源、加速电极、物镜、反射光栅、CL荧光探测器和BSE探测器；所述电子源设置在顶部正中产生电子束；所述加速电极设置在电子源下方；所述物镜设于加速电极的下方；所述BSE探测器设置在物镜的下方；待扫描的样品设置在最底部；所述加速电极、所述物镜和所述BSE探测器同轴设置，电子束依次穿过三者后照射在样品的表面；所述BSE探测器接收经样品反射的背散射电子；所述反射光栅和所述CL荧光探测器均设置在BSE探测器的外围，并将经样品上表面传来的光子反射到CL荧光探测器上。
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公开(公告)号：CN119852152A
公开(公告)日：2025-04-18
申请号：CN202510042717.0
申请日：2025-01-10
Applicant: 纳克微束(北京)有限公司
IPC: H01J37/244 , H01J37/28 , G01N23/2206 , G01N23/2251 , G01N23/2254 , G01N23/203
Abstract: 本发明提供了一种多成像模式的复合探测器，属于成像装置技术领域。本发明包括探测器主体安装梁、真空馈通密封法兰、探测器支撑臂、R轴往复旋转驱动机构、X2轴驱动机构、探测器A、信号放大器A及屏蔽壳、探测器B、信号放大器B及屏蔽壳、多通道信号处理器、探测器密封安装法兰、可压缩和扭转金属波纹管。本发明通过将多个探测器融合在单一附件中同步捕获BSE信号/X射线信号/阴极荧光信号和STEM信号。无需在多个设备间频繁切换，显著提升了实验效率，同时有效削减了用户的设备购置与维护成本。不同探测器集成在一个附件中，只需占据一个接口，这精简了设备的结构，也可为别的附件留出空间，使得电镜功能最大化。
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公开(公告)号：CN115950906A
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202211685626.1
申请日：2022-12-27
Applicant: 纳克微束(北京)有限公司
IPC: G01N23/20008 , G01N23/20025 , G01N23/203 , G01N23/20091 , G01N23/22 , G01N23/2206 , G01N23/223 , G01N23/2254
Abstract: 本发明涉及一种探测系统，属于扫描电子显微镜技术领域，能够解决当前EBSD测试时必须样品台旋转、硬件限制所导致的测试角度受限、样品容易掉落、容易碰撞的问题；该系统包括第一物镜、第二物镜、EBSD探测器、样品台和PC端；第一物镜设于样品台正上方，第二物镜设于样品台斜上方；第一物镜和第二物镜的电子束会聚在样品表面的同一位置；EBSD探测器设于样品台的斜上方、第二物镜的对侧，并与PC端连接；第一物镜的电子束在样品表面的入射角度为90゜；第二物镜的电子束在样品表面的入射角度为5゜‑20゜；所述系统还包括EDS探测器，EDS探测器设于第一物镜的侧边，并与PC端连接。
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公开(公告)号：CN115774033A
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN202211489995.3
申请日：2022-11-25
Applicant: 纳克微束(北京)有限公司
IPC: G01N23/22 , G01N23/2204
Abstract: 本发明涉及光学检测设备技术领域，尤其是一种适用于电子显微镜的多功能样品仓系统及仿真方法，该多功能样品仓系统的仿真模拟结构设置在扫描电子显微镜腔室内，且所述仿真模拟结构内部腔室与扫描电镜真空腔室隔绝，通过调节仿真模拟结构内部腔室的模拟环境，并对较大尺寸材料样品进行载荷，在不接触较大尺寸材料样品情况下对样品实时动态的原位观察和数据采集，达到较大尺寸材料样品的性质变化全过程检测。本发明的系统具有结构简单、使用方便，用以更加真实的仿真材料的应用环境，并且能够实施任何组织及情况下的全过程的微观检测。同时该结构开有较大尺寸观察窗，该观察窗允许电子束信号穿过，从而达到较大尺寸材料性质变化全过程检测的目的。
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公开(公告)号：CN115410888A
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202211131351.7
申请日：2022-09-16
Applicant: 纳克微束(北京)有限公司
IPC: H01J37/12 , H01J37/147 , H01J37/244 , H01J37/28
Abstract: 本发明涉及一种电子显微镜及其使用方法，属于电子显微镜技术领域，能够将磁透镜功能和静电透镜功能融合到一起，通过调节环形极靴的位置以及电位差实现两种透镜功能的变换，操作简单，实现方便；该电子显微镜包括：电子源；电子加速电极；物镜：设置在所述电子加速电极的下方；内极靴：设置在物镜的上壳体内端内侧面，贴合上壳体内侧面设置；外极靴：设置在物镜的下壳体内端内侧，纵向设置；运动控制装置：设置在物镜内侧且位于内极靴下方；环形极靴或偏转装置或电子探测器：设置在运动控制装置上并在运动控制装置的作用下实现上下移动；环形极靴与电压调节器电性连接；样品台：位于底部。
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公开(公告)号：CN115394622A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202211216077.3
申请日：2022-09-30
Applicant: 纳克微束(北京)有限公司
IPC: H01J37/244 , H01J37/28
Abstract: 本发明提供一种电子探测器及电子探测系统。该电子探测器包括：法拉第笼，用于收集二次电子；固定于屏蔽外筒的电子倍增器，用于基于电子倍增器输入端的第一电压和电子倍增器输出端的第二电压对二次电子进行一级倍增放大；分别与电子倍增器输入端和电子倍增器输出端连接的供电环，用于向电子倍增器输入端提供第一电压，向电子倍增器输出端提供第二电压；固定于屏蔽外筒的半导体探测器，用于对二次电子施加第三电压和偏置电压以将二次电子进行二级倍增放大后转换为电流信号；与半导体探测器连接的放大器电路，用于将电流信号转换为电压信号；信号放大处理电路，用于将电压信号进行放大后转换为图像信号，可以提高电子探测效率，增强图像信噪比。
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公开(公告)号：CN219226219U
公开(公告)日：2023-06-20
申请号：CN202320113375.3
申请日：2023-01-18
Applicant: 纳克微束(北京)有限公司
IPC: H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/20 , H01J37/147
Abstract: 本实用新型涉及一种双内置复合结构的探测系统，属于电子显微镜技术领域，能够有效地将电子探测、EDS探测、荧光探测结合，可以达到对样品同一位置的多探测器同时探测的效果，并且高效收集信号，得到高质量图像信息；该系统包括：电子源、电子加速电极、物镜、EDS探测器、直接电子探测器、样品、样品台和控制单元；所述EDS探测器和所述直接电子探测器均以斜插方式设置在物镜内部，所述EDS探测器和所述直接电子探测器的探头均靠近物镜的探测口处；所述样品台、所述EDS探测器、所述直接电子探测器、所述电子源和所述物镜均与所述控制单元连接；物镜的内部极靴上设有打拿级，物镜探测口的内外两环壁的底端均设有反射锥。
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