公开(公告)号：CN119852152A

公开(公告)日：2025-04-18

申请号：CN202510042717.0

申请日：2025-01-10

Applicant: 纳克微束(北京)有限公司

Inventor： 胡继闯 ,  李小文 ,  李经纬 ,  台晓凯 ,  张景龙 ,  宋航 ,  张月新 ,  连志强 ,  袁良经

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  G01N23/2206 ,  G01N23/2251 ,  G01N23/2254 ,  G01N23/203

Abstract: 本发明提供了一种多成像模式的复合探测器，属于成像装置技术领域。本发明包括探测器主体安装梁、真空馈通密封法兰、探测器支撑臂、R轴往复旋转驱动机构、X2轴驱动机构、探测器A、信号放大器A及屏蔽壳、探测器B、信号放大器B及屏蔽壳、多通道信号处理器、探测器密封安装法兰、可压缩和扭转金属波纹管。本发明通过将多个探测器融合在单一附件中同步捕获BSE信号/X射线信号/阴极荧光信号和STEM信号。无需在多个设备间频繁切换，显著提升了实验效率，同时有效削减了用户的设备购置与维护成本。不同探测器集成在一个附件中，只需占据一个接口，这精简了设备的结构，也可为别的附件留出空间，使得电镜功能最大化。