公开(公告)号：CN101404288B

公开(公告)日：2011-07-06

申请号：CN200810161457.5

申请日：2008-09-27

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 大岸裕子

IPC: H01L27/146 ,  H01L21/822 ,  H04N5/225

CPC classification number: H04N5/361 ,  H01L27/1462 ,  H01L27/14623 ,  H01L27/14625 ,  H01L27/1464 ,  H01L27/14643 ,  H01L27/14687 ,  H01L27/14806 ,  H01L27/14887 ,  H04N5/369 ,  H04N5/378

Abstract: 本发明提供了一种固态成像装置及其制造方法以及成像设备，其中，该固态成像装置包括：形成在半导体衬底中以将入射光转换为电信号的多个传感器部；形成在半导体衬底中以位于传感器部旁边的外围电路部；以及形成在传感器部的光入射侧上以在传感器部的光接收表面上形成空穴累积层的具有负固定电荷的层。

公开(公告)号：CN103700680B

公开(公告)日：2017-05-03

申请号：CN201310734014.1

申请日：2007-08-20

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 山口哲司 ,  大岸裕子 ,  安藤崇志 ,  池田晴美

IPC: H01L27/146

CPC classification number: H01L27/14636 ,  H01L27/1461 ,  H01L27/1462 ,  H01L27/14621 ,  H01L27/14623 ,  H01L27/14625 ,  H01L27/14627 ,  H01L27/14629 ,  H01L27/1464 ,  H01L27/14643 ,  H01L27/14645 ,  H01L27/14683 ,  H01L27/14818 ,  H01L27/14868

Abstract: 可以同时实现充分的空穴积聚层和暗电流的减少。固态成像装置（1）包括对入射光进行光电转换的光接收部分（12）。该固态成像装置（1）具有形成在光接收部分（12）的光接收表面（12s）上以降低界面态的膜（21），以及形成在形成为降低界面态的膜（21）上且具有固定负电荷的膜（22）。空穴积聚层（23）形成在光接收部分（12）的光接收表面（12s）上。

公开(公告)号：CN103700680A

公开(公告)日：2014-04-02

申请号：CN201310734014.1

申请日：2007-08-20

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 山口哲司 ,  大岸裕子 ,  安藤崇志 ,  池田晴美

IPC: H01L27/146

CPC classification number: H01L27/14636 ,  H01L27/1461 ,  H01L27/1462 ,  H01L27/14621 ,  H01L27/14623 ,  H01L27/14625 ,  H01L27/14627 ,  H01L27/14629 ,  H01L27/1464 ,  H01L27/14643 ,  H01L27/14645 ,  H01L27/14683 ,  H01L27/14818 ,  H01L27/14868

Abstract: 可以同时实现充分的空穴积聚层和暗电流的减少。固态成像装置（1）包括对入射光进行光电转换的光接收部分（12）。该固态成像装置（1）具有形成在光接收部分（12）的光接收表面（12s）上以降低界面态的膜（21），以及形成在形成为降低界面态的膜（21）上且具有固定负电荷的膜（22）。空穴积聚层（23）形成在光接收部分（12）的光接收表面（12s）上。

公开(公告)号：CN101669205B

公开(公告)日：2011-12-14

申请号：CN200780052901.3

申请日：2007-08-20

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 山口哲司 ,  大岸裕子 ,  安藤崇志 ,  池田晴美

IPC: H01L27/148 ,  H01L31/10

CPC classification number: H01L27/14636 ,  H01L27/1461 ,  H01L27/1462 ,  H01L27/14621 ,  H01L27/14623 ,  H01L27/14625 ,  H01L27/14627 ,  H01L27/14629 ,  H01L27/1464 ,  H01L27/14643 ,  H01L27/14645 ,  H01L27/14683 ,  H01L27/14818 ,  H01L27/14868

Abstract: 可以同时实现充分的空穴积聚层和暗电流的减少的固态成像装置(1)包括对入射光进行光电转换的光接收部分(12)。该固态成像装置(1)具有形成在光接收部分(12)的光接收表面(12s)上以降低界面态的膜(21)，以及形成在形成为降低界面态的膜(21)上且具有固定负电荷的膜(22)。空穴积聚层(23)形成在光接收部分(12)的光接收表面(12s)上。

公开(公告)号：CN102254926A

公开(公告)日：2011-11-23

申请号：CN201110226436.9

申请日：2007-08-20

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 山口哲司 ,  大岸裕子 ,  安藤崇志 ,  池田晴美

IPC: H01L27/146

CPC classification number: H01L27/14636 ,  H01L27/1461 ,  H01L27/1462 ,  H01L27/14621 ,  H01L27/14623 ,  H01L27/14625 ,  H01L27/14627 ,  H01L27/14629 ,  H01L27/1464 ,  H01L27/14643 ,  H01L27/14645 ,  H01L27/14683 ,  H01L27/14818 ,  H01L27/14868

Abstract: 可以同时实现充分的空穴积聚层和暗电流的减少。固态成像装置(1)包括对入射光进行光电转换的光接收部分(12)。该固态成像装置(1)具有形成在光接收部分(12)的光接收表面(12s)上以降低界面态的膜(21)，以及形成在形成为降低界面态的膜(21)上且具有固定负电荷的膜(22)。空穴积聚层(23)形成在光接收部分(12)的光接收表面(12s)上。

公开(公告)号：CN101471368A

公开(公告)日：2009-07-01

申请号：CN200810187316.0

申请日：2008-12-26

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 池田晴美 ,  桧山晋 ,  安藤崇志 ,  田渕清隆 ,  山口哲司 ,  大岸裕子

IPC: H01L27/146 ,  H01L21/822 ,  H04N5/225 ,  H04N5/335

CPC classification number: H01L27/14636 ,  H01L27/1461 ,  H01L27/1462 ,  H01L27/14621 ,  H01L27/14623 ,  H01L27/14625 ,  H01L27/14627 ,  H01L27/14629 ,  H01L27/1464 ,  H01L27/14643 ,  H01L27/14645 ,  H01L27/14683 ,  H01L27/14818 ,  H01L27/14868

Abstract: 一种具有光电转换入射光的光接收部的固态成像装置，包括：在光接收部的光接收面上形成的绝缘膜；及在绝缘膜上形成的具有负固定电荷的膜。在光接收部的光接收面侧形成空穴聚集层。在光接收部的一侧设置形成了外围电路的外围电路部。绝缘膜在外围电路部的表面与具有负固定电荷的膜之间形成，使得外围电路部的表面与具有负固定电荷的膜之间的距离大于光接收部的表面与具有负固定电荷的膜之间的距离。

公开(公告)号：CN103050501B

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：CN201210551421.4

申请日：2007-02-25

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 丸山康 ,  山口哲司 ,  安藤崇志 ,  桧山晋 ,  大岸裕子

IPC: H01L27/146 ,  H01L31/0224 ,  H04N5/374 ,  H04N5/225

CPC classification number: H01L27/14609 ,  H01L27/1464 ,  H01L27/14643 ,  H01L27/14685 ,  H01L31/022466 ,  H01L31/022475

Abstract: 本发明提供一种固态成像装置，包括具有第一表面和第二表面的衬底，光入射在第二表面侧；设置在第一表面侧的布线层；形成在衬底中且包括第一导电类型的第一区的光电检测器；设置在衬底的第一表面上且邻近光电检测器的转移栅极，转移栅极传输积累在光电检测器中的信号电荷；设置在衬底的第一表面且叠置在光电检测器上的至少一个控制栅极，控制栅极控制第一表面附近该光电检测器的电势。

公开(公告)号：CN102201424B

公开(公告)日：2014-01-08

申请号：CN201110121898.4

申请日：2008-09-27

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 大岸裕子

IPC: H01L27/146

CPC classification number: H04N5/361 ,  H01L27/1462 ,  H01L27/14623 ,  H01L27/14625 ,  H01L27/1464 ,  H01L27/14643 ,  H01L27/14687 ,  H01L27/14806 ,  H01L27/14887 ,  H04N5/369 ,  H04N5/378

Abstract: 本发明提供了一种固态成像装置及其制造方法以及成像设备，其中，该固态成像装置包括：形成在半导体衬底中以将入射光转换为电信号的多个传感器部；形成在半导体衬底中以位于传感器部旁边的外围电路部；以及形成在传感器部的光入射侧上以在传感器部的光接收表面上形成空穴累积层的具有负固定电荷的层，其中，所述具有负固定电荷的层形成在背部照明成像装置的光电二极管之上。

公开(公告)号：CN101609837B

公开(公告)日：2013-09-25

申请号：CN200910151044.3

申请日：2009-06-09

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 渡部泰一郎 ,  山田明大 ,  城户英男 ,  西藤洋将 ,  马渕圭司 ,  大岸裕子

IPC: H01L27/146

Abstract: 本发明公开了一种固体摄像器件、它的驱动方法以及使用它的电子装置。这种固体摄像器件包括：在基板的单位像素区域中在不同深度处形成的多个光电二极管；以及从所述基板的一个表面侧在深度方向上形成的多个纵向晶体管，所述多个纵向晶体管的栅极部被形成在与各个所述光电二极管对应的深度处，所述栅极部用于读出通过在所述多个光电二极管中进行光电转换而获得的信号电荷。采用本发明的固体摄像器件，饱和电荷量(Qs)得以增大，灵敏度得以提高且易于使像素尺寸减小。本发明的使用该固体摄像器件的电子装置具有较高图像质量。根据本发明的固体摄像器件的驱动方法，能够减小伪色、残像、噪声和混色且能够提高灵敏度。

公开(公告)号：CN102184932A

公开(公告)日：2011-09-14

申请号：CN201110121438.1

申请日：2008-12-26

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 池田晴美 ,  桧山晋 ,  安藤崇志 ,  田渕清隆 ,  山口哲司 ,  大岸裕子

IPC: H01L27/146 ,  H01L27/148 ,  H04N5/361

Abstract: 本发明涉及固态成像装置、其制造方法及成像设备。一种具有光电转换入射光的光接收部的固态成像装置，包括：在光接收部的光接收面上形成的绝缘膜；及在绝缘膜上形成的具有负固定电荷的膜。在光接收部的光接收面侧形成空穴聚集层。在光接收部的一侧设置形成了外围电路的外围电路部。绝缘膜在外围电路部的表面与具有负固定电荷的膜之间形成，使得外围电路部的表面与具有负固定电荷的膜之间的距离大于光接收部的表面与具有负固定电荷的膜之间的距离，其中，具有负固定电荷的膜形成在背面照射的成像装置的光电传感器的表面之上。