磁头用悬浮装置的制造方法

    公开(公告)号:CN1135533C

    公开(公告)日:2004-01-21

    申请号:CN99122997.5

    申请日:1999-12-28

    Abstract: 在制造配线一体型磁头用悬浮装置时,可一次将构成配线的铜箔构图,且可低成本简便地形成绝缘基底,其工序如下:(a)在弹性材料层1上形成聚酰亚胺前体层2,(b)在聚酰亚胺前体层2上形成配线用金属层3,(c)用除去法将配线用金属层3构图形成配线4,(d)用光刻技术以对应聚酰亚胺绝缘基底层5的形状将聚酰亚胺前体层2构图,(e)将构图的聚酰亚胺前体层2酰亚胺化形成聚酰亚胺绝缘基底层5,(f)在配线4上形成覆盖层6。

    磁头用悬浮装置的制造方法

    公开(公告)号:CN1264108A

    公开(公告)日:2000-08-23

    申请号:CN99122997.5

    申请日:1999-12-28

    Abstract: 在制造配线一体型磁头用悬浮装置时,可一次将构成配线的铜箔构图,且可低成本简便地形成绝缘基底,其工序如下:(a)在弹性材料层1上形成聚酰亚胺前体层2,(b)在聚酰亚胺前体层2上形成配线用金属层3,(c)用除去法将配线用金属层3构图形成配线4,(d)用光刻技术以对应聚酰亚胺绝缘基底层5的形状将聚酰亚胺前体层2构图,(e)将构图的聚酰亚胺前体层2酰亚胺化形成聚酰亚胺绝缘基镀层5,(f)在配线4上形成覆盖层6。

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