自限反应沉积设备及自限反应沉积方法

    公开(公告)号:CN103031538A

    公开(公告)日:2013-04-10

    申请号:CN201210376946.9

    申请日:2012-09-29

    Applicant: 索尼公司

    CPC classification number: C23C16/45551 C23C16/545

    Abstract: 本发明提供了一种自限反应沉积设备及自限反应沉积方法。该自限反应沉积设备包括第一导向辊、第二导向辊、以及至少一个第一头部。第一导向辊在支撑通过辊对辊工艺输送的基材的第一表面的同时将基材的输送方向从第一方向变成不与第一方向平行的第二方向。第二导向辊在支撑基材的第一表面的同时将基材的输送方向从第二方向变成不与第二方向平行的第三方向。至少一个第一头部布置在第一导向辊与第二导向辊之间,面向与基材的第一表面相对的第二表面,并朝向第二表面排放用于自限反应沉积的原料气体。

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